[發(fā)明專利]一種紅外熱電堆傳感器的測試裝置及其測試方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010745182.0 | 申請日： | 2020-07-29 |
| 公開（公告）號： | CN111928957A | 公開（公告）日： | 2020-11-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 劉堯;凌方舟;蔣樂躍;儲莉玲;蘇云鵬 | 申請（專利權(quán)）人： | 美新半導(dǎo)體（天津）有限公司 |
| 主分類號： | G01J5/12 | 分類號： | G01J5/12;G01J5/52 |
| 代理公司： | 蘇州簡理知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32371 | 代理人： | 朱亦倩 |
| 地址： | 300450 天津市濱海新區(qū)臨港經(jīng)濟(jì)區(qū)*** | 國省代碼： | 天津;12 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 紅外 熱電 傳感器 測試 裝置 及其 方法 | ||
本發(fā)明提供一種紅外熱電堆傳感器的測試裝置及其測試方法。所述測試裝置包括黑體，其作為標(biāo)準(zhǔn)輻射源為測試提供標(biāo)準(zhǔn)物體溫度Tobj；由隔熱材料制成的隔熱體，其具有貫穿所述隔熱體的空腔，所述空腔包括靠近所述黑體的第一端口和遠(yuǎn)離所述黑體的第二端口；熱載體，其內(nèi)放置有紅外熱電堆傳感器，所述熱載體可進(jìn)入和退出所述隔熱體的空腔，當(dāng)所述熱載體位于標(biāo)準(zhǔn)測試位置時，放置有紅外熱電堆傳感器的所述熱載體位于所述隔熱體的空腔。這樣，可以對熱電堆輸出電壓?環(huán)境溫度?物體溫度矩陣表進(jìn)行高效率的測量，并得到高精度的測量結(jié)果。
【技術(shù)領(lǐng)域】
本發(fā)明屬于MEMS(Micro-Electro-Mechanical System，微機電系統(tǒng))器件測試領(lǐng)域，尤其涉及一種熱電堆輸出電壓-環(huán)境溫度-物體溫度矩陣表的測試裝置及其測試方法。
【背景技術(shù)】
在熱電堆輸出電壓-環(huán)境溫度-物體溫度矩陣表測試中，要求物體(標(biāo)準(zhǔn)黑體)溫度從零下幾十度變化至100度以上，環(huán)境溫度從-20～100度附近變化。而絕大多數(shù)黑體的工作溫度介于0～40度之間，無法滿足測試要求，一些能在-20～100度環(huán)境下工作的黑體，價格都非常的昂貴，價值幾十萬元。并且為測試設(shè)備提供環(huán)境溫度的高低溫實驗箱，溫度穩(wěn)定需要時間較長，一般單點溫度穩(wěn)定時間少則需要30分鐘，非常不利于密集環(huán)境溫度點的測試。現(xiàn)有測試中實測矩陣表量不足，大多數(shù)據(jù)采用插值得到，也不利于客戶端高精度的應(yīng)用。
因此，有必要提出一種技術(shù)方案來克服上述問題。
【發(fā)明內(nèi)容】
本發(fā)明的目的之一在于提供一種紅外熱電堆傳感器的測試裝置及其測試方法，其在熱電堆輸出電壓-環(huán)境溫度-物體溫度矩陣表測試中，可以實現(xiàn)低成本，高精度，高效率。
根據(jù)本發(fā)明的一個方面，本發(fā)明提供一種紅外熱電堆傳感器的測試裝置，其包括：黑體，其作為標(biāo)準(zhǔn)輻射源為測試提供標(biāo)準(zhǔn)物體溫度Tobj；由隔熱材料制成的隔熱體，其具有貫穿所述隔熱體的空腔，所述空腔包括靠近所述黑體的第一端口和遠(yuǎn)離所述黑體的第二端口；熱載體，其內(nèi)放置有紅外熱電堆傳感器，所述熱載體可進(jìn)入和退出所述隔熱體的空腔，當(dāng)所述熱載體位于標(biāo)準(zhǔn)測試位置時，放置有紅外熱電堆傳感器的所述熱載體進(jìn)入所述隔熱體的空腔。
根據(jù)本發(fā)明的另一個方面，本發(fā)明提供一種紅外熱電堆傳感器的測試裝置的測試方法，其包括：設(shè)置黑體的溫度以提供標(biāo)準(zhǔn)物體溫度Tobj,加熱熱載體至最高溫度點或/和冷卻熱載體至最低溫度點；將熱載體移動至標(biāo)準(zhǔn)測試位置開始測試，在測試過程中，每隔預(yù)定時間采樣紅外熱電堆傳感器的溫度檢測單元的輸出得到環(huán)境溫度以及紅外熱電堆傳感器的熱電堆芯片的輸出獲取到熱電堆輸出電壓，并將得到的環(huán)境溫度以及熱電堆輸出電壓存儲形成輸出電壓-環(huán)境溫度-物體溫度矩陣表。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明通過控制測試裝置中熱流流向、溫度場的分布，以對熱電堆輸出電壓-環(huán)境溫度-物體溫度矩陣表進(jìn)行高效率的測量，并得到高精度的測量結(jié)果。
【附圖說明】
為了更清楚地說明本發(fā)明實施例的技術(shù)方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其它的附圖。其中：
圖1為本發(fā)明在一個實施例中的紅外熱電堆傳感器的測試裝置處于初始狀態(tài)時的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2為本發(fā)明在一個實施例中的紅外熱電堆傳感器的測試裝置處于工作狀態(tài)時的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖3為圖1和圖2中的熱載體在一個實施例中的爆炸圖；
圖4為圖3所示的紅外熱電堆傳感器在一個實施例中的剖片示意圖；
圖5為本發(fā)明的圖1和圖2所示的紅外熱電堆傳感器的測試裝置的測試方法在一個實施例中的流程圖；
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