[發明專利]微機電系統麥克風

有效

• 申請號: 202010744147.7
• 申請日: 2020-07-29
• 公開（公告）號: CN112312294B
• 公開（公告）日: 2022-02-01
• 發明（設計）人: 陳建銘;許豐家;林文山;李新立;郭乃豪
• 申請（專利權）人: 美商富迪科技股份有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04;H04R19/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 陳小雯

1.一種微機電系統麥克風，其特征在于，包括：

基板；

背板，設置在該基板的一側；

振膜，活動地設置在該基板的該側，且在該振膜與該背板之間形成有氣隙，其中該振膜包括多個摻雜部，且該些摻雜部具有不同的平均摻雜濃度，

其中，多個外側孔以及多個內側孔以同心圓的方式排列設置于該振膜的一環狀區域內，并且環繞該振膜的中心，該多個外側孔以及該多個內側孔相對于該振膜的該中心交錯排列，該多個外側孔以及該多個內側孔每個具有C形形狀，且該多個外側孔的C形形狀的開口方向相反于該多個內側孔的C形形狀的開口方向。

2.如權利要求1所述的微機電系統麥克風，其中該些摻雜部具有不同的摻雜濃度-深度分布曲線。

3.如權利要求1所述的微機電系統麥克風，其中該振膜定義有坐標系統，且該些摻雜部對稱于該坐標系統的一原點。

4.如權利要求3所述的微機電系統麥克風，其中該坐標系統為圓柱坐標系統或直角坐標系統。

5.如權利要求1所述的微機電系統麥克風，其中該些摻雜部的摻雜濃度介于1E16cm^-3至1E23cm^-3之間。

6.如權利要求1所述的微機電系統麥克風，其中該些摻雜部的摻雜濃度分別具有一峰值，且該些峰值間的差異超過0.1E16cm^-3。

7.如權利要求1所述的微機電系統麥克風，其中該些摻雜部具有p-型或n-型摻雜物。

8.如權利要求1所述的微機電系統麥克風，其中該微機電系統麥克風還包括附加絕緣層，連接在該背板與該振膜之間。

9.如權利要求1所述的微機電系統麥克風，其中該些摻雜部包括第一摻雜部以及第二摻雜部，該第二摻雜部圍繞該第一摻雜部，且該第二摻雜部的摻雜濃度高于該第一摻雜部的摻雜濃度。

10.如權利要求9所述的微機電系統麥克風，其中該些摻雜部包括兩個第一摻雜部，該第二摻雜部位于該些第一摻雜部之間，且該第二摻雜部的摻雜濃度高于該第一摻雜部的摻雜濃度。

11.如權利要求1所述的微機電系統麥克風，其中該些摻雜部包括以同心圓方式設置的多個第一摻雜部以及多個第二摻雜部，且該些第二摻雜部的摻雜濃度高于該些第一摻雜部的摻雜濃度。

12.如權利要求11所述的微機電系統麥克風，其中該些第一摻雜部的其中之一設置于該振膜的該中心。

13.如權利要求11所述的微機電系統麥克風，其中該些第二摻雜部的摻雜濃度彼此不同。

14.如權利要求1所述的微機電系統麥克風，其中該些摻雜部包括第一摻雜部以及多個第二摻雜部，且該些第二摻雜部以放射狀的方式相對于該振膜的該中心排列。

15.如權利要求14所述的微機電系統麥克風，其中該第一摻雜部包圍該些第二摻雜部。

16.如權利要求15所述的微機電系統麥克風，其中該些第二摻雜部分別具有扇形結構。

17.如權利要求14所述的微機電系統麥克風，其中該些第二摻雜部延伸至該振膜的邊緣。

18.一種制造如權利要求1所述的微機電系統麥克風的方法，其中該些摻雜部包含第一摻雜部以及第二摻雜部，該方法包括：

提供犧牲層；

在該犧牲層上形成感測層；

在該感測層定義第一摻雜區，并且在該第一摻雜區內摻入第一摻雜物以構成該第一摻雜部；

在該感測層定義第二摻雜區，并且在該第二摻雜區內摻入第二摻雜物以構成該第二摻雜部，其中該第一摻雜部中的該第一摻雜物的摻雜濃度不同于該第二摻雜部中的該第二摻雜物的摻雜濃度；以及

移除該犧牲層的一部分以形成開口，從而使該感測層形成該振膜，其中該振膜橫越該開口。