[發明專利]一種五軸聯動高精密檢測平臺

在審

• 申請號: 202010741436.1
• 申請日: 2020-07-29
• 公開（公告）號: CN111735412A
• 公開（公告）日: 2020-10-02
• 發明（設計）人: 孫孟祥;羅永紅;蔡東;許錦銘
• 申請（專利權）人: 蘇州泰科貝爾直驅電機有限公司
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種五軸聯動高精密檢測平臺，其特征在于，包括底座、位于所述底座上的第一驅動模組、能夠沿所述第一驅動模組長度方向進行運動的第二驅動模組、能夠沿所述第二驅動模組長度方向進行運動的第一轉動模組、位于所述第一轉動模組轉動端的第二轉動模組、用于檢測的檢測模組以及驅動所述檢測模組進行運動的第三驅動模組；所述第一驅動模組與所述第二驅動模組均為直線電機驅動模組，所述第一轉動模組與所述第二轉動模組均為力矩電機驅動模組，所述第三驅動模組為伺服電機驅動雙軸模組，所述第二轉動模組的轉動端設置有載臺，所述載臺上設有氣孔。

2.根據權利要求1所述的一種五軸聯動高精密檢測平臺，其特征在于，所述第一驅動模組沿所述底座長度方向設置。

3.根據權利要求1所述的一種五軸聯動高精密檢測平臺，其特征在于，所述第二驅動模組通過第一滑動座與所述第一驅動模組連接。

4.根據權利要求1所述的一種五軸聯動高精密檢測平臺，其特征在于，所述第一轉動模組通過第二滑動座與所述第二驅動模組連接。

5.根據權利要求4所述的一種五軸聯動高精密檢測平臺，其特征在于，所述第一轉動模組包括支撐架、用于驅動的第一力矩電機以及位于所述第一力矩電機轉軸端的第一轉動軸，所述支撐架位于所述第二滑動座上，所述第一力矩電機與所述第一轉動軸均安裝于所述支撐架上。

6.根據權利要求5所述的一種五軸聯動高精密檢測平臺，其特征在于，所述第二轉動模組包括第二力矩電機與位于所述第二力矩電機轉軸端的轉動塊，所述第二力矩電機通過安裝塊安裝于所述第一轉動軸上，所述載臺位于所述轉動塊上。

7.根據權利要求1所述的一種五軸聯動高精密檢測平臺，其特征在于，所述第三驅動模組通過支座與所述底座連接。

8.根據權利要求1所述的一種五軸聯動高精密檢測平臺，其特征在于，所述第三驅動模組包括Y軸驅動模組與能夠沿所述Y軸驅動模組長度方向進行運動的X軸驅動模組，所述X軸驅動模組通過連接座與所述Y軸驅動模組連接。

9.根據權利要求8所述的一種五軸聯動高精密檢測平臺，其特征在于，所述檢測模組包括檢測相機與光源，所述檢測相機通過安裝座與所述X軸驅動模組連接。

10.根據權利要求1所述的一種五軸聯動高精密檢測平臺，其特征在于，還包括機架，所述底座位于所述機架上。