[發(fā)明專利]一種五軸聯(lián)動高精密檢測平臺在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010741436.1 | 申請日: | 2020-07-29 |
| 公開(公告)號: | CN111735412A | 公開(公告)日: | 2020-10-02 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 孫孟祥;羅永紅;蔡東;許錦銘 | 申請(專利權(quán))人: | 蘇州泰科貝爾直驅(qū)電機有限公司 |
| 主分類號: | G01B11/24 | 分類號: | G01B11/24 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 215000 江蘇省蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 聯(lián)動 精密 檢測 平臺 | ||
1.一種五軸聯(lián)動高精密檢測平臺,其特征在于,包括底座、位于所述底座上的第一驅(qū)動模組、能夠沿所述第一驅(qū)動模組長度方向進行運動的第二驅(qū)動模組、能夠沿所述第二驅(qū)動模組長度方向進行運動的第一轉(zhuǎn)動模組、位于所述第一轉(zhuǎn)動模組轉(zhuǎn)動端的第二轉(zhuǎn)動模組、用于檢測的檢測模組以及驅(qū)動所述檢測模組進行運動的第三驅(qū)動模組;所述第一驅(qū)動模組與所述第二驅(qū)動模組均為直線電機驅(qū)動模組,所述第一轉(zhuǎn)動模組與所述第二轉(zhuǎn)動模組均為力矩電機驅(qū)動模組,所述第三驅(qū)動模組為伺服電機驅(qū)動雙軸模組,所述第二轉(zhuǎn)動模組的轉(zhuǎn)動端設(shè)置有載臺,所述載臺上設(shè)有氣孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種五軸聯(lián)動高精密檢測平臺,其特征在于,所述第一驅(qū)動模組沿所述底座長度方向設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種五軸聯(lián)動高精密檢測平臺,其特征在于,所述第二驅(qū)動模組通過第一滑動座與所述第一驅(qū)動模組連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種五軸聯(lián)動高精密檢測平臺,其特征在于,所述第一轉(zhuǎn)動模組通過第二滑動座與所述第二驅(qū)動模組連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種五軸聯(lián)動高精密檢測平臺,其特征在于,所述第一轉(zhuǎn)動模組包括支撐架、用于驅(qū)動的第一力矩電機以及位于所述第一力矩電機轉(zhuǎn)軸端的第一轉(zhuǎn)動軸,所述支撐架位于所述第二滑動座上,所述第一力矩電機與所述第一轉(zhuǎn)動軸均安裝于所述支撐架上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種五軸聯(lián)動高精密檢測平臺,其特征在于,所述第二轉(zhuǎn)動模組包括第二力矩電機與位于所述第二力矩電機轉(zhuǎn)軸端的轉(zhuǎn)動塊,所述第二力矩電機通過安裝塊安裝于所述第一轉(zhuǎn)動軸上,所述載臺位于所述轉(zhuǎn)動塊上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種五軸聯(lián)動高精密檢測平臺,其特征在于,所述第三驅(qū)動模組通過支座與所述底座連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種五軸聯(lián)動高精密檢測平臺,其特征在于,所述第三驅(qū)動模組包括Y軸驅(qū)動模組與能夠沿所述Y軸驅(qū)動模組長度方向進行運動的X軸驅(qū)動模組,所述X軸驅(qū)動模組通過連接座與所述Y軸驅(qū)動模組連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種五軸聯(lián)動高精密檢測平臺,其特征在于,所述檢測模組包括檢測相機與光源,所述檢測相機通過安裝座與所述X軸驅(qū)動模組連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種五軸聯(lián)動高精密檢測平臺,其特征在于,還包括機架,所述底座位于所述機架上。
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