[發(fā)明專利]一種五軸聯(lián)動高精密檢測平臺

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010741436.1
• 申請日: 2020-07-29
• 公開（公告）號: CN111735412A
• 公開（公告）日: 2020-10-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫孟祥;羅永紅;蔡東;許錦銘
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州泰科貝爾直驅(qū)電機有限公司
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種五軸聯(lián)動高精密檢測平臺，其特征在于，包括底座、位于所述底座上的第一驅(qū)動模組、能夠沿所述第一驅(qū)動模組長度方向進行運動的第二驅(qū)動模組、能夠沿所述第二驅(qū)動模組長度方向進行運動的第一轉(zhuǎn)動模組、位于所述第一轉(zhuǎn)動模組轉(zhuǎn)動端的第二轉(zhuǎn)動模組、用于檢測的檢測模組以及驅(qū)動所述檢測模組進行運動的第三驅(qū)動模組；所述第一驅(qū)動模組與所述第二驅(qū)動模組均為直線電機驅(qū)動模組，所述第一轉(zhuǎn)動模組與所述第二轉(zhuǎn)動模組均為力矩電機驅(qū)動模組，所述第三驅(qū)動模組為伺服電機驅(qū)動雙軸模組，所述第二轉(zhuǎn)動模組的轉(zhuǎn)動端設(shè)置有載臺，所述載臺上設(shè)有氣孔。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種五軸聯(lián)動高精密檢測平臺，其特征在于，所述第一驅(qū)動模組沿所述底座長度方向設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種五軸聯(lián)動高精密檢測平臺，其特征在于，所述第二驅(qū)動模組通過第一滑動座與所述第一驅(qū)動模組連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種五軸聯(lián)動高精密檢測平臺，其特征在于，所述第一轉(zhuǎn)動模組通過第二滑動座與所述第二驅(qū)動模組連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種五軸聯(lián)動高精密檢測平臺，其特征在于，所述第一轉(zhuǎn)動模組包括支撐架、用于驅(qū)動的第一力矩電機以及位于所述第一力矩電機轉(zhuǎn)軸端的第一轉(zhuǎn)動軸，所述支撐架位于所述第二滑動座上，所述第一力矩電機與所述第一轉(zhuǎn)動軸均安裝于所述支撐架上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種五軸聯(lián)動高精密檢測平臺，其特征在于，所述第二轉(zhuǎn)動模組包括第二力矩電機與位于所述第二力矩電機轉(zhuǎn)軸端的轉(zhuǎn)動塊，所述第二力矩電機通過安裝塊安裝于所述第一轉(zhuǎn)動軸上，所述載臺位于所述轉(zhuǎn)動塊上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種五軸聯(lián)動高精密檢測平臺，其特征在于，所述第三驅(qū)動模組通過支座與所述底座連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種五軸聯(lián)動高精密檢測平臺，其特征在于，所述第三驅(qū)動模組包括Y軸驅(qū)動模組與能夠沿所述Y軸驅(qū)動模組長度方向進行運動的X軸驅(qū)動模組，所述X軸驅(qū)動模組通過連接座與所述Y軸驅(qū)動模組連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種五軸聯(lián)動高精密檢測平臺，其特征在于，所述檢測模組包括檢測相機與光源，所述檢測相機通過安裝座與所述X軸驅(qū)動模組連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種五軸聯(lián)動高精密檢測平臺，其特征在于，還包括機架，所述底座位于所述機架上。