[發(fā)明專利]一種晶圓自動裝盤裝置

有效

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• 申請日: 2020-07-29
• 公開（公告）號: CN111627792B
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發(fā)明（設計）人: 李凱杰;趙成浩;郭明燦;王子龍;曹智
• 申請（專利權）人: 山東元旭光電股份有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 濟南誠智商標專利事務所有限公司 37105
• 代理人: 殷盛江

本發(fā)明屬于晶圓上片技術領域，提供了一種晶圓自動裝盤裝置，包括工作臺，工作臺上滑動安裝有驅(qū)動裝置驅(qū)動的定位托板，定位托板上表面設有若干定位銷，一端底部固定安裝有插桿；工作臺沿定位托板的滑動方向還依次設有載具抬升機構、料盤取蓋機構、自動上螺絲機構、螺絲供料器和放片機械臂，料盤取蓋機構和自動上螺絲機構均位于定位托板的上方，且料盤取蓋機構與載具抬升機構對應設置，螺絲供料器與自動上螺絲機構對應設置，放片機械臂末端設有晶圓取放機構；工作臺上還開設有攝片孔，工作臺的下方固定安裝有拍攝機構。本發(fā)明不但能夠確保晶圓于料盤內(nèi)精準角度、位置的放置，裝盤效率大大提高，且有效避免了在裝盤過程中意外劃傷晶圓現(xiàn)象的發(fā)生。

技術領域

本發(fā)明涉及晶圓上片技術領域，尤其涉及一種晶圓自動裝盤裝置。

背景技術

晶圓是指制作硅半導體積體電路所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓。晶圓在生產(chǎn)加工過程中，依據(jù)加工工藝需求，需要進行晶圓的ICP刻蝕加工，ICP刻蝕工藝前，通常需要將晶圓排列放置到料盤內(nèi)，此過程稱為晶圓的上片，以便于在刻蝕加工時，將承載有晶圓的整個料盤放入等離子刻蝕機中進行刻蝕加工。

目前，晶圓于料盤內(nèi)的裝盤操作，通常由人工完成，上片工人需要將花籃內(nèi)的晶圓一片片的放置到料盤內(nèi)，且于料盤內(nèi)放置時，需滿足特定的放置角度的需求，否則無法將晶圓精確的放置到料盤的晶圓放置槽內(nèi)，從而大大增加了工人的上片難度，不但勞動強度大，上片效率低，且在上片過程中，由于上片人員操作不細心等各種主觀原因，易劃傷晶圓，導致晶圓直接報廢或降級處理，直接影響晶圓的生產(chǎn)質(zhì)量及產(chǎn)品合格率。因此，開發(fā)一種晶圓自動裝盤裝置，不但具有迫切的研究價值，也具有良好的經(jīng)濟效益和工業(yè)應用潛力，這正是本發(fā)明得以完成的動力所在和基礎。

發(fā)明內(nèi)容

為了克服上述所指出的現(xiàn)有技術的缺陷，本發(fā)明人對此進行了深入研究，在付出了大量創(chuàng)造性勞動后，從而完成了本發(fā)明。

具體而言，本發(fā)明所要解決的技術問題是：提供一種晶圓自動裝盤裝置，以解決目前人工進行晶圓裝盤效率低，且易劃傷晶圓、影響晶圓質(zhì)量的技術問題。

為解決上述技術問題，本發(fā)明的技術方案是：

一種晶圓自動裝盤裝置，包括工作臺，所述工作臺上滑動安裝有驅(qū)動裝置驅(qū)動的定位托板，所述定位托板的上表面設有若干用以實現(xiàn)上片載具定位放置的定位銷，所述定位托板的一端底部固定安裝有插桿；

所述工作臺上沿所述定位托板的滑動方向還依次設有載具抬升機構、料盤取蓋機構、自動上螺絲機構、螺絲供料器和放片機械臂，所述載具抬升機構位于所述定位托板行程的一端，所述料盤取蓋機構和所述自動上螺絲機構均位于所述定位托板的上方，且所述料盤取蓋機構與所述載具抬升機構對應設置，所述螺絲供料器位于所述定位托板一側，且與所述自動上螺絲機構對應設置，所述放片機械臂位于所述定位托板行程的另一端，且所述放片機械臂末端設有晶圓取放機構；

所述工作臺上還開設有攝片孔，所述攝片孔靠近所述放片機械臂設置，所述工作臺的下方固定安裝有與所述攝片孔對應設置的拍攝機構。

作為一種改進的技術方案，所述驅(qū)動裝置包括固定安裝于所述工作臺上的第一電缸，所述工作臺上還固定安裝有與所述第一電缸平行設置的導軌，所述導軌上滑動安裝有滑塊，所述定位托板與所述滑塊、所述第一電缸的滑板固定連接。

作為一種改進的技術方案，所述工作臺上還設有用以實現(xiàn)所述導軌平行調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)機構，所述調(diào)節(jié)機構包括固定塊和調(diào)節(jié)螺栓，所述固定塊設有三個，且均固定安裝于所述工作臺上，其中兩所述固定塊分別位于所述導軌的一側兩端，另外一所述固定塊位于所述導軌的另一側中間位置，所述調(diào)節(jié)螺栓分別螺紋配合安裝于所述固定塊上，且所述調(diào)節(jié)螺栓的螺紋端抵靠所述導軌設置。

作為一種改進的技術方案，所述第一電缸的一側還設有若干U型光電開關，所述定位托板的底部固定安裝有便于所述U型光電開關檢測的到位檢測片。