[發明專利]一種晶圓自動裝盤裝置

有效

• 申請號: 202010740781.3
• 申請日: 2020-07-29
• 公開（公告）號: CN111627792B
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發明（設計）人: 李凱杰;趙成浩;郭明燦;王子龍;曹智
• 申請（專利權）人: 山東元旭光電股份有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 濟南誠智商標專利事務所有限公司 37105
• 代理人: 殷盛江

1.一種晶圓自動裝盤裝置，其特征在于：包括工作臺，所述工作臺上滑動安裝有驅動裝置驅動的定位托板，所述定位托板的上表面設有若干用以實現上片載具定位放置的定位銷，所述定位托板的一端底部固定安裝有插桿；

所述工作臺上沿所述定位托板的滑動方向還依次設有載具抬升機構、料盤取蓋機構、自動上螺絲機構、螺絲供料器和放片機械臂，所述載具抬升機構位于所述定位托板行程的一端，所述料盤取蓋機構和所述自動上螺絲機構均位于所述定位托板的上方，且所述料盤取蓋機構與所述載具抬升機構對應設置，所述螺絲供料器位于所述定位托板一側，且與所述自動上螺絲機構對應設置，所述放片機械臂位于所述定位托板行程的另一端，且所述放片機械臂末端設有晶圓取放機構；

所述工作臺上還開設有攝片孔，所述攝片孔靠近所述放片機械臂設置，所述工作臺的下方固定安裝有與所述攝片孔對應設置的拍攝機構。

2.如權利要求1所述的晶圓自動裝盤裝置，其特征在于：所述驅動裝置包括固定安裝于所述工作臺上的第一電缸，所述工作臺上還固定安裝有與所述第一電缸平行設置的導軌，所述導軌上滑動安裝有滑塊，所述定位托板與所述滑塊、所述第一電缸的滑板固定連接。

3.如權利要求2所述的晶圓自動裝盤裝置，其特征在于：所述載具抬升機構包括抬升氣缸，所述工作臺上固定安裝有兩個第一安裝座，兩所述第一安裝座分別于所述定位托板的兩側對應設置，所述抬升氣缸分別固定安裝于所述第一安裝座的相對一側，所述抬升氣缸的滑臺上固定安裝有T形安裝板，所述T形安裝板的頂部固定安裝有載具托桿，兩所述載具托桿對應設置。

4.如權利要求3所述的晶圓自動裝盤裝置，其特征在于：所述料盤取蓋機構包括第二電缸，所述工作臺上固定安裝有一安裝架，所述第二電缸豎直固定安裝于所述安裝架的橫梁上，且于所述安裝架朝向所述第一安裝座的一側設置，所述第二電缸的滑板固定安裝有第一吸盤安裝板，所述第一吸盤安裝板的底端固定安裝有蓋板吸盤，所述蓋板吸盤的底面沿周向均勻設有若干吸嘴。

5.如權利要求4所述的晶圓自動裝盤裝置，其特征在于：所述第二電缸的兩側還分別設有拉伸彈簧，所述安裝架上固定安裝有用以實現所述拉伸彈簧掛裝的第一掛桿，所述蓋板吸盤上固定安裝有用以實現所述拉伸彈簧掛裝的第二掛桿，所述第一掛桿和所述第二掛桿的掛裝端對應設置，所述拉伸彈簧分別位于對應設置的所述第一掛桿和所述第二掛桿間，且所述拉伸彈簧的兩端分別掛裝于所述第一掛桿和所述第二掛桿的掛裝端。

6.如權利要求5所述的晶圓自動裝盤裝置，其特征在于：所述載具抬升機構與所述料盤取蓋機構之間還設有用以防止料盤蓋板掉落的蓋板防掉機構，所述蓋板防掉機構包括分別固定安裝于所述第一安裝座頂部的伸縮氣缸，且兩所述伸縮氣缸分別于所述第一安裝座相對的一側設置，所述伸縮氣缸的活塞軸末端固定安裝有蓋板托板，兩所述蓋板托板對應設置，且處于上片狀態時，兩所述蓋板托板的間距與料盤蓋板的外徑相適配。

7.如權利要求6所述的晶圓自動裝盤裝置，其特征在于：所述自動上螺絲機構包括水平固定安裝于所述安裝架橫梁另一側的第三電缸，所述第三電缸的滑板上豎直固定安裝有第四電缸，所述第四電缸的滑板上固定安裝有電批，所述電批與所述螺絲供料器對應設置。

8.如權利要求1-7任一項所述的晶圓自動裝盤裝置，其特征在于：所述晶圓取放機構包括固定安裝于所述放片機械臂轉桿底端的固定座，所述固定座的一側固定安裝有光電傳感器，所述固定座的另一側固定安裝有側板，所述側板上沿豎直方向滑動安裝有第二吸盤安裝板，所述第二吸盤安裝板的底部固定安裝有伯努利吸盤，且所述第二吸盤安裝板與所述固定座間設有壓縮彈簧，所述壓縮彈簧的兩端分別與所述第二吸盤安裝板、所述固定座相連。

9.如權利要求8所述的晶圓自動裝盤裝置，其特征在于：所述拍攝機構包括相機，所述工作臺的下方固定安裝有第二安裝座，所述相機固定安裝于所述第二安裝座上，且與所述攝片孔對應設置。

10.如權利要求9所述的晶圓自動裝盤裝置，其特征在于：所述第二安裝座上還固定安裝有光源，所述光源位于所述相機與所述攝片孔之間，且與所述攝片孔對應設置；

所述固定座上還固定安裝有反光板，且所述反光板位于所述固定座上方。