[發明專利]一種排氣控制裝置

在審

• 申請號: 202010740047.7
• 申請日: 2020-07-28
• 公開（公告）號: CN112038262A
• 公開（公告）日: 2020-12-04
• 發明（設計）人: 汪鋒
• 申請（專利權）人: 廈門通富微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京志霖恒遠知識產權代理事務所(普通合伙) 11435
• 代理人: 郭棟梁

本申請公開了一種排氣控制裝置，應用于刻蝕設備或顯影設備，其包括：排氣管；氣壓檢測裝置，所述氣壓檢測裝置包括氣壓傳感器，所述氣壓傳感器安裝于所述排氣管上，用于檢測所述排氣管內氣體壓強；電動流量調節閥，所述電動流量調節閥安裝于所述排氣管上；控制系統，所述控制系統與所述電動流量調節閥和所述氣壓傳感器電連接，用于根據所述氣體壓強調節所述電動流量調節閥的開度。本申請的電動流量調節閥根據氣體壓強，自動控制閥門開度，實現智能化控制由刻蝕機臺或顯影設備的排氣管道排出的氣體流量。

技術領域

本申請涉及芯片技術領域，尤其涉及一種排氣控制裝置。

背景技術

芯片，又稱集成電路，是指內含集成電路的硅片，體積很小，常常是計算機或其他電子設備的一部分。

芯片的制造包含刻蝕過程，即在晶圓上涂光刻膠層，通過刻蝕設備或顯影設備將電路結構烙印在光刻膠層上，被曝光的光刻膠層成為水溶性物質，最后用氣體吹掉水溶性物質。攜帶水溶性物質的氣體經刻蝕設備或顯影設備的排氣管道導入與該排氣管道連接的廠務設備管道，最后從廠務設備管道排出。目前在廠務設備管道上安裝蝴蝶閥或氣動閥，用于控制氣體流通。蝴蝶閥可以控制氣體的流量，但需要人工控制蝴蝶閥的排氣量；氣動閥可以自動控制，但僅能控制氣體通斷，無法控制排氣量。

發明內容

因此，本發明提供一種排氣控制裝置，至少部分地解決上面提到的問題。

本發明提供了一種排氣控制裝置，應用于刻蝕設備或顯影設備，其包括：

排氣管；

氣壓檢測裝置，所述氣壓檢測裝置包括氣壓傳感器，所述氣壓傳感器安裝于所述排氣管上，用于檢測所述排氣管內氣體壓強；

電動流量調節閥，所述電動流量調節閥安裝于所述排氣管上；

控制系統，所述控制系統與所述電動流量調節閥和所述氣壓傳感器電連接，用于根據所述氣體壓強調節所述電動流量調節閥的開度。

作為可實現的優選方式，所述電動流量調節閥上設有開度檢測裝置，所述開度檢測裝置與所述控制系統電連接，用于檢測所述電動流量調節閥的開度大小。

作為可實現的優選方式，還包括報警裝置，所述報警裝置與所述控制系統電連接，

所述電動流量調節閥的開度超過預設值時，所述控制系統控制所述報警裝置報警。

作為可實現的優選方式，所述排氣管底部開設有排液孔。

作為可實現的優選方式，還包括連接管及儲液罐，所述連接管連接所述排液孔與所述儲液罐。

作為可實現的優選方式，所述排氣管包括沿排氣方向設置的第一段、第二段及第三段，

所述第一段與所述第二段呈鈍角，所述第二段與所述第三段呈鈍角。

作為可實現的優選方式，所述第一段與所述第二段夾角為135°，所述第二段與所述第三段夾角為135°，所述第一段與所述第三段的夾角為90°。

作為可實現的優選方式，所述氣壓傳感器設置于所述第一段內。

作為可實現的優選方式，所述電動流量調節閥設置于所述第二段上。

作為可實現的優選方式，所述電動流量調節閥為蝴蝶閥。