[發明專利]一種排氣控制裝置

在審

• 申請號: 202010740047.7
• 申請日: 2020-07-28
• 公開（公告）號: CN112038262A
• 公開（公告）日: 2020-12-04
• 發明（設計）人: 汪鋒
• 申請（專利權）人: 廈門通富微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京志霖恒遠知識產權代理事務所(普通合伙) 11435
• 代理人: 郭棟梁

1.一種排氣控制裝置，應用于刻蝕設備或顯影設備，其特征在于，包括：

排氣管；

氣壓檢測裝置，所述氣壓檢測裝置包括氣壓傳感器，所述氣壓傳感器安裝于所述排氣管上，用于檢測所述排氣管內氣體壓強；

電動流量調節閥，所述電動流量調節閥安裝于所述排氣管上；

控制系統，所述控制系統與所述電動流量調節閥和所述氣壓傳感器電連接，用于根據所述氣體壓強調節所述電動流量調節閥的開度。

2.根據權利要求1所述的排氣控制裝置，其特征在于，所述電動流量調節閥上設有開度檢測裝置，

所述開度檢測裝置與所述控制系統電連接，用于檢測所述電動流量調節閥的開度大小。

3.根據權利要求2所述的排氣控制裝置，其特征在于，還包括報警裝置，所述報警裝置與所述控制系統電連接，

所述電動流量調節閥的開度超過預設值時，所述控制系統控制所述報警裝置報警。

4.根據權利要求1所述的排氣控制裝置，其特征在于，所述排氣管底部開設有排液孔。

5.根據權利要求4所述的排氣控制裝置，其特征在于，還包括連接管及儲液罐，

所述連接管連接所述排液孔與所述儲液罐。

6.根據權利要求1所述的排氣控制裝置，其特征在于，所述排氣管包括沿排氣方向設置的第一段、第二段及第三段，

所述第一段與所述第二段呈鈍角，所述第二段與所述第三段呈鈍角。

7.根據權利要求6所述的排氣控制裝置，其特征在于，所述第一段與所述第二段夾角為135°，所述第二段與所述第三段夾角為135°，所述第一段與所述第三段的夾角為90°。

8.根據權利要求7所述的排氣控制裝置，其特征在于，所述氣壓傳感器設置于所述第一段內。

9.根據權利要求7所述的排氣控制裝置，其特征在于，所述電動流量調節閥設置于所述第二段上。

10.根據權利要求1～9中任一項所述的排氣控制裝置，其特征在于，所述電動流量調節閥為蝴蝶閥。