[發明專利]適于化學汽相沉積裝置擴散器的吹掃設備

在審

• 申請號: 202010738521.2
• 申請日: 2020-07-28
• 公開（公告）號: CN111854410A
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 金衛明;朱傳兵;亓露;宋微;張翔
• 申請（專利權）人: 蕪湖通潮精密機械股份有限公司
• 主分類號: F26B21/00
• 分類號: F26B21/00
• 代理公司: 蕪湖安匯知識產權代理有限公司 34107
• 代理人: 朱順利

1.適于化學汽相沉積裝置擴散器的吹掃設備，其特征在于，包括相對布置的兩個吹掃機器人，吹掃機器人包括用于對擴散器進行吹掃的噴嘴和用于控制噴嘴進行移動的位置調節裝置。

2.根據權利要求1所述的適于化學汽相沉積裝置擴散器的吹掃設備，其特征在于，所述位置調節裝置包括用于帶動所述噴嘴沿Z軸方向進行移動的Z軸執行機構、與Z軸執行機構連接且用于帶動Z軸執行機構沿Y軸方向進行移動的Y軸執行機構和與Y軸執行機構連接且用于帶動Y軸執行機構沿X軸方向進行移動的X軸執行機構，噴嘴設置于Z軸執行機構上，X軸方向、Y軸方向和Z軸方向相互垂直。

3.根據權利要求2所述的適于化學汽相沉積裝置擴散器的吹掃設備，其特征在于，所述X軸執行機構包括X軸執行器、X軸滑軌、與所述Y軸執行機構連接且設置于X軸滑軌上的X軸齒條和與X軸執行器連接且與X軸齒條相嚙合的X軸齒輪，X軸齒條的長度方向與X軸方向相平行。

4.根據權利要求3所述的適于化學汽相沉積裝置擴散器的吹掃設備，其特征在于，所述Y軸執行機構包括與所述X軸齒條連接的Y軸滑軌、Y軸執行器、與所述Z軸執行機構連接且設置于Y軸滑軌上的Y軸齒條和與Y軸執行器連接且與Y軸齒條相嚙合的Y軸齒輪，Y軸齒條的長度方向與Y軸方向相平行。

5.根據權利要求4所述的適于化學汽相沉積裝置擴散器的吹掃設備，其特征在于，所述Y軸方向為豎直方向，所述Y軸執行器為伺服電機且Y軸執行器具有自鎖功能。

6.根據權利要求4或5所述的適于化學汽相沉積裝置擴散器的吹掃設備，其特征在于，所述位置調節裝置還包括X軸負限位塊、X軸正限位塊和X軸零位感應開關，X軸負限位塊、X軸正限位塊和X軸零位感應開關處于與X軸方向相平行的同一直線上，所述Y軸滑軌位于X軸負限位塊和X軸零位感應開關之間。

7.根據權利要求4至6任一所述的適于化學汽相沉積裝置擴散器的吹掃設備，其特征在于，所述位置調節裝置Y軸負限位塊、Y軸正限位塊和Y軸零位感應開關，Y軸負限位塊、Y軸正限位塊和Y軸零位感應開關處于與Y軸方向相平行的同一直線上，所述X軸滑軌位于Y軸負限位塊和Y軸零位感應開關之間。

8.根據權利要求4至7任一所述的適于化學汽相沉積裝置擴散器的吹掃設備，其特征在于，所述Z軸執行機構包括與所述噴嘴連接的Z軸執行器，Z軸執行器為氣缸，Z軸執行器設置于所述Y軸齒條上。

9.根據權利要求1至8任一所述的適于化學汽相沉積裝置擴散器的吹掃設備，其特征在于，所述擴散器放置在掛具上，掛具位于所述兩個吹掃機器人之間，所述吹掃機器人還包括用于對掛具施加壓力的壓緊機構，掛具由兩個吹掃機器人的壓緊機構夾緊，使擴散器處于豎直狀態。

10.根據權利要求9所述的適于化學汽相沉積裝置擴散器的吹掃設備，其特征在于，所述壓緊機構包括夾緊座、設置于夾緊座上且用于與所述掛具接觸的夾緊桿和與夾緊座連接且用于控制夾緊座沿Z軸方向進行移動的對夾氣缸。