[發明專利]針測卡異常判斷方法及裝置

在審

• 申請號: 202010735661.4
• 申請日: 2020-07-28
• 公開（公告）號: CN114002576A
• 公開（公告）日: 2022-02-01
• 發明（設計）人: 楊正杰
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 史治法

1.一種針測卡異常判斷方法，其特征在于，包括：

選取量測單元，分別獲取各量測單元中在相同測試位置的芯片的單元失效率；

判斷所述各量測單元在所述相同測試位置的芯片的單元失效率是否分別滿足第一異常條件；

若所述各量測單元在所述相同測試位置的芯片的單元失效率滿足所述第一異常條件，則判斷滿足所述第一異常條件的各量測單元之間的測試順序是否滿足第二異常條件；

若滿足所述第一異常條件的各量測單元之間的測試順序滿足所述第二異常條件，則判定針測卡異常。

2.根據權利要求1所述的針測卡異常判斷方法，其特征在于，所述選取量測單元，分別獲取各量測單元中在相同測試位置的芯片的單元失效率包括：

選取所述量測單元，分別檢測所述各量測單元中的失效芯片；

獲取所述各量測單元中在所述相同測試位置的所述失效芯片的數量；

根據所述各量測單元中在所述相同測試位置的所述失效芯片的數量以及所述相同測試位置的全部已測試芯片的數量，計算所述各量測單元中在所述相同測試位置的芯片的單元失效率。

3.根據權利要求1所述的針測卡異常判斷方法，其特征在于，所述判斷所述各量測單元在相同測試位置的芯片的單元失效率是否分別滿足第一異常條件包括：

判斷所述各量測單元在所述相同測試位置的芯片的單元失效率是否大于或等于預設失效率閾值；

若所述各量測單元在所述相同測試位置的芯片的單元失效率大于或等于所述預設失效率閾值，則判定所述各量測單元在所述相同測試位置的芯片的單元失效率滿足所述第一異常條件。

4.根據權利要求1所述的針測卡異常判斷方法，其特征在于，所述第二異常條件包括所述各量測單元之間的測試順序是連續的。

5.根據權利要求4所述的針測卡異常判斷方法，其特征在于，判斷滿足所述第一異常條件的各量測單元之間的測試順序是否滿足第二異常條件包括：

獲取滿足所述第一異常條件的各量測單元的量測單元數量；

判斷所述量測單元數量是否大于或等于預設量測單元數量閾值；

若所述量測單元數量大于或等于所述預設量測單元數量閾值，則判定滿足所述第一異常條件的各量測單元之間的測試順序滿足所述第二異常條件。

6.根據權利要求1所述的針測卡異常判斷方法，其特征在于，所述判斷所述各量測單元在所述相同測試位置的芯片的單元失效率是否分別滿足第一異常條件之后，還包括：

若所述各量測單元在所述相同測試位置的芯片的單元失效率滿足所述第一異常條件，則將所述相同測試位置記為芯片失效位置。

7.一種針測卡異常判斷裝置，其特征在于，包括：

單元失效率獲取單元，用于選取量測單元，分別獲取各量測單元中在相同測試位置的芯片的單元失效率；

第一異常條件判斷單元，用于判斷所述各量測單元在所述相同測試位置的芯片的單元失效率是否分別滿足第一異常條件；

第二異常條件判斷單元，用于在所述各量測單元在所述相同測試位置的芯片的單元失效率滿足所述第一異常條件時，判斷滿足所述第一異常條件的各量測單元之間的測試順序是否滿足第二異常條件；

針測卡異常判斷單元，用于在滿足所述第一異常條件的各量測單元之間的測試順序滿足所述第二異常條件時，判定針測卡異常。

8.根據權利要求7所述的針測卡異常判斷裝置，其特征在于，所述單元失效率獲取單元包括：

失效芯片檢測子單元，用于選取所述量測單元，分別檢測所述各量測單元中的失效芯片；

失效芯片數量統計子單元，用于獲取所述各量測單元中在所述相同測試位置的所述失效芯片的數量；

單元失效率計算子單元，用于根據所述各量測單元中在所述相同測試位置的所述失效芯片的數量以及所述相同測試位置的全部已測試芯片的數量，計算所述各量測單元中在所述相同測試位置的芯片的單元失效率。