[發(fā)明專利]一種去除塑封模具中模盒型腔殘留物的方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202010732992.2
• 申請日: 2020-07-27
• 公開（公告）號: CN111923293A
• 公開（公告）日: 2020-11-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 方兆國;陳中洲
• 申請（專利權(quán)）人: 西安微電子技術(shù)研究所
• 主分類號: B29C33/72
• 分類號: B29C33/72;H01L21/56
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 61200
• 代理人: 朱海臨

1.一種去除塑封模具中模盒型腔殘留物的方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟1，先將塑封模具中模盒型腔加熱，使所述的殘留物分解、軟化和焦化，得到焦化后的殘留物；

步驟2，將焦化后的殘留物進(jìn)行清掃，完成塑封模具中模盒型腔殘留物的去除。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的去除塑封模具中模盒型腔殘留物的方法，其特征在于，步驟1將所述的模盒型腔加熱到270～330℃。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的去除塑封模具中模盒型腔殘留物的方法，其特征在于，模盒型腔在所述溫度下加熱50～60s。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的去除塑封模具中模盒型腔殘留物的方法，其特征在于，步驟1中通過電磁、紅外、激光或氣熱的方式對所述的模盒型腔進(jìn)行加熱。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的去除塑封模具中模盒型腔殘留物的方法，其特征在于，步驟2采用熱風(fēng)槍將焦化后的殘留物進(jìn)行清掃。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的去除塑封模具中模盒型腔殘留物的方法，其特征在于，熱風(fēng)槍的清掃溫度為270～330℃。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的去除塑封模具中模盒型腔殘留物的方法，其特征在于，熱風(fēng)槍的氣源為空氣、氮?dú)夂拖∮袣怏w中的一種或多種。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的去除塑封模具中模盒型腔殘留物的方法，其特征在于，熱風(fēng)槍的出風(fēng)口氣壓為0.5～0.7MPa。