[發(fā)明專利]一種帶磁芯的微型化三維電感制作方法和結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010731103.0
• 申請(qǐng)日: 2020-07-27
• 公開（公告）號(hào): CN112086282B
• 公開（公告）日: 2022-05-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 薛愷;鐘智勇;鄭宗森;葉根祥;林志濱;王康
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 電子科技大學(xué);廈門云天半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): H01F41/04
• 分類號(hào): H01F41/04;H01F41/02;H01F27/28;H01F27/24
• 代理公司: 廈門市首創(chuàng)君合專利事務(wù)所有限公司 35204
• 代理人: 連耀忠;林燕玲

1.一種帶磁芯的微型化三維電感的制作方法，其特征在于，包括如下步驟：

1)在磁性襯底上制作至少兩微槽結(jié)構(gòu),微槽結(jié)構(gòu)為通孔且微槽之外構(gòu)成磁芯；

2)在隱性框架襯底上制作若干通孔，并往通孔內(nèi)填充金屬材料；

3)對(duì)隱性框架襯底進(jìn)行切割構(gòu)成若干具有的金屬材料的隱性框架，將隱性框架嵌入微槽結(jié)構(gòu)內(nèi)并固定，每個(gè)隱性框架設(shè)有多個(gè)填充有金屬材料的通孔；

4)在磁性襯底的正面和背面分別制作第一平面互聯(lián)結(jié)構(gòu)和第二平面互聯(lián)結(jié)構(gòu)，該第一平面互聯(lián)結(jié)構(gòu)和第二平面互聯(lián)結(jié)構(gòu)分別與兩隱性框架的金屬材料電性連接構(gòu)成至少一電感繞組。

2.如權(quán)利要求1所述的一種帶磁芯的微型化三維電感的制作方法，其特征在于，采用激光刻蝕、等離子體轟擊、噴砂或超聲波刻蝕制作所述微槽結(jié)構(gòu)。

3.如權(quán)利要求1所述的一種帶磁芯的微型化三維電感的制作方法，其特征在于，所述微槽結(jié)構(gòu)的邊長為0.05-3mm。

4.如權(quán)利要求1所述的一種帶磁芯的微型化三維電感的制作方法，其特征在于，所述隱性框架襯底為硅、玻璃、陶瓷或有機(jī)基板，其厚度為0.05-3mm。

5.如權(quán)利要求1所述的一種帶磁芯的微型化三維電感的制作方法，其特征在于，步驟2)中，采用涂膠、光刻、曝光、顯影、刻蝕和去膠制作所述通孔。

6.如權(quán)利要求1所述的一種帶磁芯的微型化三維電感的制作方法，其特征在于，步驟2)中，往通孔內(nèi)填充金屬材料具體包括：先在隱性框架襯底的正面和背面制作金屬薄膜，利用電鍍工藝填充通孔。

7.如權(quán)利要求1所述的一種帶磁芯的微型化三維電感的制作方法，其特征在于，所述隱性框架的長度和寬度分別小于微槽結(jié)構(gòu)的長度和寬度；所述隱性框架的長度和寬度與微槽結(jié)構(gòu)的長度和寬度的差值在1um-400um之間。

8.如權(quán)利要求1所述的一種帶磁芯的微型化三維電感的制作方法，其特征在于，所述隱性框架的高度和通孔的高度的差值在-50um至+50um之間；采用膠類物質(zhì)將所述隱性框架固定于所述微槽結(jié)構(gòu)內(nèi)。

9.一種帶磁芯的微型化三維電感結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括磁性襯底、兩隱性框架、第一平面互聯(lián)結(jié)構(gòu)和第二平面互聯(lián)結(jié)構(gòu)；該磁性襯底開設(shè)有至少兩微槽結(jié)構(gòu)，微槽為通孔且微槽結(jié)構(gòu)之外構(gòu)成磁芯；該兩隱性框架嵌于微槽結(jié)構(gòu)內(nèi)并填充有金屬材料，該第一平面互聯(lián)結(jié)構(gòu)位于磁性襯底正面且與金屬材料電性相連；該第二平面互聯(lián)結(jié)構(gòu)位于磁性襯底背面且與金屬材料電性連接。

10.如權(quán)利要求9所述的一種帶磁芯的微型化三維電感結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述磁性襯底設(shè)有至少兩隱性框架，每個(gè)隱性框架設(shè)有多個(gè)填充有金屬材料的通孔；第一平面互聯(lián)結(jié)構(gòu)和第二平面互聯(lián)結(jié)構(gòu)分別設(shè)有多個(gè)金屬線路，第一平面互聯(lián)結(jié)構(gòu)的金屬線路連接于兩隱性框架正面的兩對(duì)應(yīng)的通孔之間，第二平面互聯(lián)結(jié)構(gòu)的金屬線路連接于兩隱性框架背面的兩對(duì)應(yīng)的通孔之間，從而構(gòu)成以一電感繞組。