[發(fā)明專(zhuān)利]處理基板的方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010727443.6
• 申請(qǐng)日: 2020-07-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112309906A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-02-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 卡爾·海因茲·普里瓦瑟
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67;H01L21/683;H01L21/78
• 代理公司: 北京中博世達(dá)專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 11274
• 代理人: 張洋

1.一種處理基板(2)的方法，所述基板(2)具有第一側(cè)面(4)、和與所述第一側(cè)面(4)相反的第二側(cè)面(6)，所述方法包括：

設(shè)置具有前表面(12)、和與所述前表面(12)相反的后表面(14)的保護(hù)膜(8)；

設(shè)置用于保持所述基板(2)的保持框架(10)，其中，所述保持框架(10)具有中心開(kāi)口(16)；

將所述保持框架(10)附接到所述保護(hù)膜(8)的所述后表面(14)，以通過(guò)所述保護(hù)膜(8)閉合所述保持框架(10)的所述中心開(kāi)口(16)；

將所述基板(2)的所述第一側(cè)面(4)或所述基板(2)的所述第二側(cè)面(6)附接至所述保護(hù)膜(8)的所述前表面(12)；和

從所述基板(2)的、與所述基板(2)的附接至所述保護(hù)膜(8)的所述前表面(12)的側(cè)面相反的側(cè)面來(lái)處理所述基板(2)，和/或從所述基板(2)的附接到所述保護(hù)膜(8)的所述前表面(12)的側(cè)面來(lái)處理所述基板(2)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，將所述基板(2)的所述第一側(cè)面(4)或所述基板(2)的所述第二側(cè)面(6)附接至所述保護(hù)膜(8)的所述前表面(12)包括：

將所述保護(hù)膜(8)施加到所述基板(2)的所述第一側(cè)面(4)或所述基板(2)的所述第二側(cè)面(6)，使得至少所述保護(hù)膜(8)的所述前表面(12)的中心區(qū)域與所述基板(2)的所述第一側(cè)面(4)或所述基板(2)的所述第二側(cè)面(6)直接接觸。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中，將所述基板(2)的所述第一側(cè)面(4)或所述基板(2)的所述第二側(cè)面(6)附接至所述保護(hù)膜(8)的所述前表面(12)還包括：

在將所述保護(hù)膜(8)施加到所述基板(2)的所述第一側(cè)面(4)、或所述基板(2)的所述第二側(cè)面(6)期間和/或之后，將外部刺激施加到所述保護(hù)膜(8)，使得所述基板(2)的所述第一側(cè)面(4)或所述基板(2)的所述第二側(cè)面(6)附接到所述保護(hù)膜(8)的所述前表面(12)。

4.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中，將所述保持框架(10)附接到所述保護(hù)膜(8)的所述后表面(14)包括：

將所述保護(hù)膜(8)施加到所述保持框架(10)，使得所述保護(hù)膜(8)的所述后表面(14)與所述保持框架(10)直接接觸，以及

在將所述保護(hù)膜(8)施加到所述保持框架(10)期間和/或之后，將外部刺激施加到所述保護(hù)膜(8)，使得所述保持框架(10)附接到所述保護(hù)膜(8)的所述后表面(14)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的方法，其中，將所述外部刺激施加到所述保護(hù)膜(8)包括：加熱所述保護(hù)膜(8)、和/或冷卻所述保護(hù)膜(8)、和/或?qū)⒄婵帐┘拥剿霰Ｗo(hù)膜(8)、和/或用光照射所述保護(hù)膜(8)。

6.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其中，

在所述基板(2)的所述第一側(cè)面(4)上形成至少一條分割線(xiàn)，和

所述基板(2)的所述第一側(cè)面(4)附接到所述保護(hù)膜(8)的所述前表面(12)。

7.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其還包括：

設(shè)置具有支承表面(20)的支承構(gòu)件(18)，和

將附接至所述保護(hù)膜(8)的所述前表面(12)的所述基板(2)放置在所述支承構(gòu)件(18)的所述支承表面(20)上，使得所述保護(hù)膜(8)的所述后表面(14)與所述支承表面(20)接觸。

8.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的方法，其還包括：

設(shè)置檢查設(shè)備(22)，以及

借助于所述檢查設(shè)備(22)、穿過(guò)所述保護(hù)膜(8)，檢查所述基板(2)的附接到所述保護(hù)膜(8)的所述前表面(12)的側(cè)面。