[發明專利]大型觸控感應圖案的制造方法

在審

• 申請號: 202010724506.2
• 申請日: 2020-07-24
• 公開（公告）號: CN113970978A
• 公開（公告）日: 2022-01-25
• 發明（設計）人: 白志強;林孟癸;劉榮漢
• 申請（專利權）人: 洋華光電股份有限公司
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041;G06F3/042;H01L21/027
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 關宇辰

本發明提供一種大型觸控感應圖案的制造方法，其包含以下步驟：將一擬制作的大型觸控感應圖案劃分設置成多個分圖并分別制成具有相映圖案的光罩；提供一具有導電層的基材；在導電層上設置一感光阻劑層；第一曝光工藝，在感光阻劑層形成一曝光分圖及多個靶標；接序曝光工藝，在該感光阻劑層形成一接序的曝光分圖及多個靶標，該接序的曝光分圖與前述原有的曝光分圖彼此相鄰地連接在一起；重復地實施所述接序曝光工藝，以在感光阻劑層上形成多個接序并接的曝光分圖，直到并接組成一個整體曝光圖案為止；對感光阻劑層上的該整體曝光圖案進行顯影；以及蝕刻該導電層以形成一個大型觸控感應圖案。

技術領域

本發明涉及一種大型觸控感應圖案的制造方法，特別涉及一種將多個較小面積的曝光分圖案并接組合成為一個大面積的整體曝光圖案，再以該整體曝光圖案蝕刻制成大型觸控感應圖案的制造方法。

背景技術

觸摸板已被廣泛地應用于各式電子產品上，而搭配使用在具有大尺寸屏幕的觸摸板，例如ATM提款機、機關場所的互助導覽系統、百貨公司的電子白板、車載觸控裝置以及其他各種工商業機具，在過去因受限于觸摸板的產制技術及貼合良率等因素，這些需要觸控應用的裝置大都采成本低廉的是電阻式或成本高的聲波式、外掛光學式的設計；然而由于人們已習慣智能手機、平板計算機的多點觸控(Multitouch)功能的體驗下，因此近來業者也積極研發中、大型屏幕的多點觸控應用方案；目前應用10吋以上的中、大型的多點觸控產品是以電容式觸控技術為主，電容式觸摸板通常包括一個基材、形成于基材上的導電層、形成于基材上并圍繞導電層的遮光層及軟性電路板。所述導電層通常使采用氧化銦錫(ITO)導電膜，通過黃光工藝(Photo Process)后蝕刻在所述導電層形成多數排的電容感應串行，并使用傳輸導線將多個電容感應串行分別與軟性電路板連接。

前述黃光工藝包含在所述ITO導電層上面設置一光阻層，以一具有電容感應串行圖案化的光罩對該光阻層進行曝光，使光阻材料通過紫外線的照射后產生聚合反應而固化，再以顯影劑去除該光阻層上未曝光固化部分的光阻材料，因此在ITO上面形成一個與光罩圖案相應的固化光阻層。

由于觸摸板的尺寸需求越來越大，經常有超過業者現有黃光工藝機臺能直接承作工件的最大尺寸范疇的情形，導致無法在一次黃光工藝中將整體觸控感應圖案形成在光阻層上，造成重大產制難題；然而增購大型黃光工藝機臺所費不貲，會導致生產成本大增。

目前也有業者嘗試將觸控感應圖案以分段曝光再合并方式進行產制，亦即將整體觸控感應圖案劃分成多個部分圖案，再分別進行曝光操作，以便在該光阻層形成相應圖案的固化光阻材料，據此使多個部分圖案在該光阻層上合并成一個完整的觸控感應圖案；前述多個部分圖案的合并過程需經準確定位，才不會造成合并組成后的整體觸控感應圖案發生誤差；現有曝光工藝機臺是使用CCD觀測裝置作為定位調整系統，CCD觀測的照明光源是采用波長450~465nm的藍光；而前述曝光工藝中在光阻層上的圖案是曝光后固化光阻材料所形成，尚未經顯影工藝處理，在實務上，由于所述固化光阻材料對藍光光源的反射率較差，因此該CCD觀測裝置對于在光阻層上曝光后的靶標圖案TX有辨識率不佳的問題(請參閱圖15)，導致難以準確定位，造成合并完成后的整體觸控感應圖案產生誤差。

發明內容

鑒于上述狀況，有必要提供一種可在小尺寸曝光機臺上制作大尺寸曝光圖案的方法，其通過分次曝光圖案及準確定位的手段，將多個小面積的曝光分圖精準地并接組成一個大面積的曝光圖案，據此制作大型觸控感應圖案。