[發(fā)明專利]工件側周成像系統

在審

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• 申請日: 2020-07-24
• 公開（公告）號: CN111855695A
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發(fā)明（設計）人: 崔忠偉;陳鳴;崔凱翔
• 申請（專利權）人: 北京領邦智能裝備股份公司
• 主分類號: G01N21/952
• 分類號: G01N21/952;G01N21/88;G02B13/22;G03B15/06
• 代理公司: 北京律智知識產權代理有限公司 11438
• 代理人: 孫寶海;袁禮君

本公開提供了一種工件側周成像系統，包括：超遠心鏡頭；錐形杯，包括：可反射光線的內壁及第一開口，所述第一開口朝向所述超遠心鏡頭；以及發(fā)光體，設置于所述錐形杯內部。

技術領域

本公開涉及工件缺陷檢測技術領域，尤其涉及一種工件側周成像系統。

背景技術

目前，在對圓柱面(例如圓片形狀工件的側周)進行缺陷檢測時，通常需要采用多個相機分別對工件的側周進行成像，該方式導致系統過于復雜且成本高。或者，使用超遠心鏡頭，并通過平面板光源或普通環(huán)形光源進行打光的方式對工件側周進行成像，但該方式對于工件側周表面較小的缺陷無法清晰成像，導致較高的漏檢概率。

需要說明的是，在上述背景技術部分公開的信息僅用于加強對本公開的背景的理解，因此可以包括不構成對本領域普通技術人員已知的現有技術的信息。

發(fā)明內容

本公開的目的在于提供一種工件側面成像系統。

本公開的其他特性和優(yōu)點將通過下面的詳細描述變得顯然，或部分地通過本公開的實踐而習得。

根據本公開的一個方面，提供一種工件側周成像系統，包括：超遠心鏡頭；錐形杯，包括：可反射光線的內壁及第一開口，所述第一開口朝向所述超遠心鏡頭；以及發(fā)光體，設置于所述錐形杯內部。

根據本公開的一實施方式，所述超遠心鏡頭的光軸與所述錐形杯的中軸線在同一直線上；或者，所述超遠心鏡頭的光軸與所述錐形杯的中軸線形成的夾角小于或等于10度，所述錐形杯形成的錐尖點距離所述超遠心鏡頭的光軸小于或等于10毫米。

根據本公開的一實施方式，所述發(fā)光體的中心相對所述錐形杯形成環(huán)形虛像，所述環(huán)形虛像中心位于所述超遠心鏡頭的入瞳中心。

根據本公開的一實施方式，所述發(fā)光體包括兩個發(fā)光區(qū)或三個發(fā)光區(qū)，分別發(fā)射紅色、綠色或藍色光線。

根據本公開的一實施方式，所述發(fā)光體包括下述發(fā)光體中的一種：球形發(fā)光體、柱形發(fā)光體或平面發(fā)光體。

根據本公開的一實施方式，所述發(fā)光體包括兩個發(fā)光區(qū)或三個發(fā)光區(qū)，分別發(fā)射紅色、綠色或藍色光線。

根據本公開的一實施方式，所述發(fā)光體在所述錐形杯的周向上居中設置。

根據本公開的一實施方式，所述發(fā)光體的中心線與所述錐形杯的中軸線在同一直線上。

根據本公開的一實施方式，所述錐形杯的錐面與中軸線的夾角為45度。

根據本公開的一實施方式，所述錐形杯的內壁為鏡面。

根據本公開的一實施方式，所述錐形杯還包括第二開口，所述第二開口設置于所述錐形杯的底部，且所述第二開口的面積小于所述第一開口的面積。

根據本公開的一實施方式，所述工件側周成像系統還包括：玻璃臺，設置于所述超遠心鏡頭與所述錐形杯之間。

根據本公開的一實施方式，待成像表面為柱面且柱面軸線與所述超遠心鏡頭的光軸共線時，所述環(huán)形虛像的半徑設置為所述柱面曲率半徑的兩倍。