[發明專利]工件側周成像系統在審
| 申請號： | 202010723160.4 | 申請日： | 2020-07-24 |
| 公開（公告）號： | CN111855695A | 公開（公告）日： | 2020-10-30 |
| 發明（設計）人： | 崔忠偉;陳鳴;崔凱翔 | 申請（專利權）人： | 北京領邦智能裝備股份公司 |
| 主分類號： | G01N21/952 | 分類號： | G01N21/952;G01N21/88;G02B13/22;G03B15/06 |
| 代理公司： | 北京律智知識產權代理有限公司 11438 | 代理人： | 孫寶海;袁禮君 |
| 地址： | 100000 北京市海淀區永*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 工件 成像 系統 | ||
1.一種工件側周成像系統，其特征在于，包括：
超遠心鏡頭；
錐形杯，包括：可反射光線的內壁及第一開口，所述第一開口朝向所述超遠心鏡頭；以及
發光體，設置于所述錐形杯內部。
2.根據權利要求1所述的工件側周成像系統，其特征在于，所述超遠心鏡頭的光軸與所述錐形杯的中軸線在同一直線上；或者，所述超遠心鏡頭的光軸與所述錐形杯的中軸線形成的夾角小于或等于10度，所述錐形杯形成的錐尖點距離所述超遠心鏡頭的光軸小于或等于10毫米。
3.根據權利要求2所述的工件側周成像系統，其特征在于，所述發光體的中心相對所述錐形杯形成環形虛像，所述環形虛像中心位于所述超遠心鏡頭的入瞳中心。
4.根據權利要求1-3任一項所述的工件側周成像系統，其特征在于，所述發光體包括兩個發光區或三個發光區，分別發射紅色、綠色或藍色光線。
5.根據權利要求1-3任一項所述的工件側周成像系統，其特征在于，所述發光體包括下述發光體中的一種：球形發光體、柱形發光體或平面發光體。
6.根據權利要求5所述的工件側周成像系統，其特征在于，所述發光體包括兩個發光區或三個發光區，分別發射紅色、綠色或藍色光線。
7.根據權利要求1-3所述的工件側周成像系統，其特征在于，所述發光體在所述錐形杯的周向上居中設置。
8.根據權利要求1-3任一項所述的工件側周成像系統，其特征在于，所述錐形杯的錐面與中軸線的夾角為45度。
9.根據權利要求1-3任一項所述的工件側周成像系統，其特征在于，所述錐形杯的內壁為鏡面。
10.根據權利要求1-3任一項所述的工件側周成像系統，其特征在于，所述錐形杯還包括第二開口，所述第二開口設置于所述錐形杯的底部，且所述第二開口的面積小于所述第一開口的面積。
11.根據權利要求1-3任一項所述的工件側周成像系統，其特征在于，還包括：玻璃臺，設置于所述超遠心鏡頭與所述錐形杯之間。
12.根據權利要求3所述的工件側周成像系統，其特征在于，待成像表面為柱面且柱面軸線與所述超遠心鏡頭的光軸共線時，所述環形虛像的半徑設置為所述柱面曲率半徑的兩倍。
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