[發明專利]直接成像光學設備

在審

• 申請號: 202010723082.8
• 申請日: 2020-07-24
• 公開（公告）號: CN111736438A
• 公開（公告）日: 2020-10-02
• 發明（設計）人: 祝鎖;陶帥洋;熊讓安;曹葵康;溫延培
• 申請（專利權）人: 蘇州天準科技股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B26/08;G02B27/09
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 徐穎聰

本發明提供一種直接成像光學設備，包括：光源，用于提供散射光；準直透鏡，所述準直透鏡接收自所述光源的所述散射光，并將所述散射光轉換為平行光；復眼透鏡，所述復眼透鏡接收來自所述準直透鏡的所述平行光，并對所述平行光進行勻光；中繼透鏡，所述中繼透鏡接收來自所述復眼透鏡經過勻光后的所述平行光，并對所述平行光的進行延伸和聚焦；空間光調制器，所述空間光調制器接收來自所述中繼透鏡的所述平行光，并將所述平行光進行空間光調制；光刻成像鏡頭，所述光刻成像鏡頭接收來自所述空間光調制器經過空間光調制的光并將其在預定位置成像。根據本發明的直接成像光學設備，結構簡便、光學質量較佳、光刻效果較好且節約成本。

技術領域

本發明涉及直接成像領域，具體涉及一種直接成像光學設備。

背景技術

直接成像設備是近年來逐步發展起來的，應用于PCB(印刷電路板)、FPC(柔性電路板)、FPD(平板顯示器)、IC(集成電路)等行業的，取代傳統菲林及Mask(掩膜)等接觸式成像工藝的一種新型技術。

但是現有的直接成像設備存在結構復雜臃腫、成本較高的問題。

發明內容

有鑒于此，本發明提供一種直接成像光學設備，結構簡便、光學質量較佳、光刻效果較好且節約成本。

為解決上述技術問題，一方面，本發明提供一種直接成像光學設備，包括：

光源，用于提供散射光；

準直透鏡，所述準直透鏡接收自所述光源的所述散射光，并將所述散射光轉換為平行光；

復眼透鏡，所述復眼透鏡接收來自所述準直透鏡的所述平行光，并對所述平行光進行勻光；

中繼透鏡，所述中繼透鏡接收來自所述復眼透鏡經過勻光后的所述平行光，并對所述平行光的進行延伸和聚焦；

空間光調制器，所述空間光調制器接收來自所述中繼透鏡的所述平行光，并將所述平行光進行空間光調制；

光刻成像鏡頭，所述光刻成像鏡頭接收來自所述空間光調制器經過空間光調制的光并將其在預定位置成像。

進一步地，所述空間光調制器為數字微鏡器件組件。

進一步地，直接成像光學設備還包括：

上位機，所述上位機連接所述數字微鏡器件組件，所述上位機接收圖形文件，并將所述圖形文件處理為圖形數據，并將所述圖形數據傳遞至所述數字微鏡器件組件，以使得所述數字微鏡器件組件根據所述圖形數據進行空間光調制。

進一步地，所述數字微鏡器件組件包括：

數字微鏡器件芯片，所述數字微鏡器件芯片包括多個角度可調整的微鏡片，所述數字微鏡器件組件通過數字微鏡器件芯片接收所述平行光并通過調整所述微鏡片的角度實現所述空間光調制。

進一步地，所述數字微鏡器件組件還包括：

芯片控制器，所述芯片控制器連接所述數字微鏡器件芯片和所述上位機，所述芯片控制器接收來自所述上位機傳遞的所述圖形數據，所述芯片控制器根據所述圖形數據控制所述數字微鏡器件芯片的所述微鏡片進行角度調整。

進一步地，所述光源為激光器、發光二極管及鹵素燈中的任一種。

進一步地，所述光刻成像鏡頭包括光闌及成像物鏡，所述平行光依次穿過所述光闌及所述成像物鏡，以在所述預定位置成像。

進一步地，直接成像光學設備還包括：

反光鏡，所述反光鏡設置在所述準直透鏡和所述復眼透鏡之間，所述反光鏡接收來自所述準直透鏡的所述平行光，并將所述平行光反射至所述復眼透鏡。

進一步地，所述光源橫向設置；