[發(fā)明專(zhuān)利]直接成像光學(xué)設(shè)備

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010723082.8
• 申請(qǐng)日: 2020-07-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111736438A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-10-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 祝鎖;陶帥洋;熊讓安;曹葵康;溫延培
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 蘇州天準(zhǔn)科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/20
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/20;G02B26/08;G02B27/09
• 代理公司: 上海華誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31300
• 代理人: 徐穎聰

1.一種直接成像光學(xué)設(shè)備，其特征在于，包括：

光源(1)，用于提供散射光；

準(zhǔn)直透鏡(2)，所述準(zhǔn)直透鏡(2)接收自所述光源(1)的所述散射光，并將所述散射光轉(zhuǎn)換為平行光；

復(fù)眼透鏡(4)，所述復(fù)眼透鏡(4)接收來(lái)自所述準(zhǔn)直透鏡(2)的所述平行光，并對(duì)所述平行光進(jìn)行勻光；

中繼透鏡(5)，所述中繼透鏡(5)接收來(lái)自所述復(fù)眼透鏡(4)經(jīng)過(guò)勻光后的所述平行光，并對(duì)所述平行光的進(jìn)行延伸和聚焦；

空間光調(diào)制器(6)，所述空間光調(diào)制器(6)接收來(lái)自所述中繼透鏡(5)的所述平行光，并將所述平行光進(jìn)行空間光調(diào)制；

光刻成像鏡頭，所述光刻成像鏡頭接收來(lái)自所述空間光調(diào)制器(6)經(jīng)過(guò)空間光調(diào)制的光并將其在預(yù)定位置成像。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直接成像光學(xué)設(shè)備，其特征在于，所述空間光調(diào)制器(6)為數(shù)字微鏡器件組件。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的直接成像光學(xué)設(shè)備，其特征在于，還包括：

上位機(jī)，所述上位機(jī)連接所述數(shù)字微鏡器件組件，所述上位機(jī)接收?qǐng)D形文件，并將所述圖形文件處理為圖形數(shù)據(jù)，并將所述圖形數(shù)據(jù)傳遞至所述數(shù)字微鏡器件組件，以使得所述數(shù)字微鏡器件組件根據(jù)所述圖形數(shù)據(jù)進(jìn)行空間光調(diào)制。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的直接成像光學(xué)設(shè)備，其特征在于，所述數(shù)字微鏡器件組件包括：

數(shù)字微鏡器件芯片，所述數(shù)字微鏡器件芯片包括多個(gè)角度可調(diào)整的微鏡片，所述數(shù)字微鏡器件組件通過(guò)數(shù)字微鏡器件芯片接收所述平行光并通過(guò)調(diào)整所述微鏡片的角度實(shí)現(xiàn)所述空間光調(diào)制。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的直接成像光學(xué)設(shè)備，其特征在于，所述數(shù)字微鏡器件組件還包括：

芯片控制器，所述芯片控制器連接所述數(shù)字微鏡器件芯片和所述上位機(jī)，所述芯片控制器接收來(lái)自所述上位機(jī)傳遞的所述圖形數(shù)據(jù)，所述芯片控制器根據(jù)所述圖形數(shù)據(jù)控制所述數(shù)字微鏡器件芯片的所述微鏡片進(jìn)行角度調(diào)整。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直接成像光學(xué)設(shè)備，其特征在于，所述光源(1)為激光器、發(fā)光二極管及鹵素?zé)糁械娜我环N。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直接成像光學(xué)設(shè)備，其特征在于，所述光刻成像鏡頭包括光闌(7)及成像物鏡(8)，所述平行光依次穿過(guò)所述光闌(7)及所述成像物鏡(8)，以在所述預(yù)定位置成像。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的直接成像光學(xué)設(shè)備，其特征在于，還包括：

反光鏡(3)，所述反光鏡(3)設(shè)置在所述準(zhǔn)直透鏡(2)和所述復(fù)眼透鏡(4)之間，所述反光鏡(3)接收來(lái)自所述準(zhǔn)直透鏡(2)的所述平行光，并將所述平行光反射至所述復(fù)眼透鏡(4)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的直接成像光學(xué)設(shè)備，其特征在于，

所述光源(1)橫向設(shè)置；

所述準(zhǔn)直透鏡(2)面對(duì)所述光源(1)設(shè)置，所述準(zhǔn)直透鏡(2)的光軸與所述光源(1)的光軸共線；

所述反光鏡(3)的鏡面法線與所述準(zhǔn)直透鏡(2)的光軸成銳角；

所述復(fù)眼透鏡(4)設(shè)置在所述反光鏡(3)的前上方；

所述中繼透鏡(5)面對(duì)所述復(fù)眼透鏡(4)設(shè)置；

所述空間光調(diào)制器(6)橫向設(shè)置在所述中繼透鏡(5)的前上方；

所述光刻成像鏡頭設(shè)置在所述空間光調(diào)制器(6)的下方。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直接成像光學(xué)設(shè)備，其特征在于，所述中繼透鏡(5)包括多組光軸共線的透鏡，每組所述透鏡包括鏡像對(duì)稱(chēng)的兩個(gè)所述透鏡。