[發明專利]一種主動驅動器件及其制作方法

在審

• 申請號: 202010716201.7
• 申請日: 2020-07-23
• 公開（公告）號: CN113764463A
• 公開（公告）日: 2021-12-07
• 發明（設計）人: 張葳葳
• 申請（專利權）人: 張葳葳
• 主分類號: H01L27/32
• 分類號: H01L27/32;H01L51/00;H01L51/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

一種原始襯底上的主動驅動器件通過轉移和擴散分布到任意曲面襯底的各個像素所在位置，采用半導體工藝制作像素電極，再制作顯示或者傳感器件，形成任意曲面襯底上的主動驅動顯示器件或者傳感器件。

技術領域

本發明涉及一種主動驅動器件，特別是任意曲面襯底上的主動驅動器件。

背景技術

當前柔性襯底的有機電致發光顯示(Organic Light emitting diode，即OLED)技術是在玻璃襯底的透明聚合物上制作多晶硅薄膜晶體管形成有源矩陣電路，再沉積有機發光層形成有機發光器件，完成封裝工藝后，利用激光剝離技術，將聚合物和整個顯示器件從玻璃襯底上剝離下來。

現有的多晶硅薄膜晶體管的工藝中的高溫工藝，如等離子氣相沉積、濺射等對透明聚合物性能提出了較高的要求，增加了柔性顯示器件的成本。

發明內容

本發明提出了一種可以制作在任意曲面的一種主動驅動器件。

根據本發明的一個方面，主動驅動器件可以是硅基材料的場效應管、硅基材料的晶體管、氮化鎵基材料的場效應管、高電子遷移率晶體管(High Electron MobilityTransistor，即HEMT)等。

根據本發明的一個方面，主動驅動器件最初制作在原始襯底上，再轉移到所在襯底上。

根據本發明的一個方面，主動驅動器件所轉移的襯底上包括顯示器件，顯示器件可以是有機電致發光器件，也可以是液晶顯示器件。

根據本發明的一個方面，主動驅動器件所轉移的襯底上包括傳感器件，傳感器件可以是X光傳感器件、紅外傳感器件、指紋傳感器件、壓力傳感器件。

根據本發明的一個方面，顯示器件和傳感器件可以通過導線，也可以通過主動驅動器件連接在一起，傳感器件的信號可以傳到顯示器件。

根據本發明的一個方面，襯底上存在的導線可以是金屬材料構成，也可以是透明金屬化合物材料或者半導體化合物組成，如氧化銦錫、氮化鎵等。

根據本發明的一個方面，襯底上存在的導線采用光刻方法形成，也可以采用打印方法。

根據本發明的一個方面，襯底可以是剛性材料的，如玻璃、印刷電路板，襯底也可以是柔性材料的，如聚酰亞胺(polyimide)。

本發明的積極效果在于：

當前，有機電致發光平板顯示器件采用的低溫多晶硅晶體管技術難以實現大面積均勻性，而在柔性襯底上制作晶體管對整個器件工藝提出了很高的要求。而且，在柔性傳感器領域，平板顯示動輒幾百億的投資對柔性傳感器件并不適用，本發明可以采用芯片廠的工藝為柔性傳感器件制作主動驅動器件。采用氮化鎵基主動驅動器件，還可以提高耐擊穿電壓。

附圖說明

圖1-圖6表示任意曲面襯底上的主動驅動器件驅動傳感器件的制作流程。

圖1表示原始襯底上制作主動驅動器件的結構示意圖。

圖2表示主動驅動器件轉移到可以變形的柔性襯底20上，減薄原始襯底10切割的主動驅動器件的結構示意圖。

圖3表示擴展上述可以變形的柔性襯底20，將主動驅動器件單元分散開的結構示意圖。

圖4表示將分散后的主動驅動器件轉移到任意曲面襯底30的結構示意圖。

圖5表示制作導電像素電極的結構示意圖。

圖6表示制作傳感器件的結構示意圖。

圖7表示制作顯示器件的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖描述本發明的具體實施方式。