[發(fā)明專利]一種主動驅(qū)動器件及其制作方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202010716201.7
• 申請日: 2020-07-23
• 公開（公告）號: CN113764463A
• 公開（公告）日: 2021-12-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張葳葳
• 申請（專利權(quán)）人: 張葳葳
• 主分類號: H01L27/32
• 分類號: H01L27/32;H01L51/00;H01L51/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種任意曲面襯底上的主動驅(qū)動器件，包括襯底和位于襯底上的主動驅(qū)動器件，其特征在于：制作在原始襯底上，再轉(zhuǎn)移到所在襯底上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的任意曲面襯底上的主動驅(qū)動器件，其特征在于：所述的主動驅(qū)動器件單元在所在襯底分散到一定距離。

3.根據(jù)權(quán)利要求1、2任一項所述的任意曲面襯底上的主動驅(qū)動器件，其特征在于：所述每個主動驅(qū)動器件包括一個或者一個以上的開關(guān)器件。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項所述的任意曲面襯底上的主動驅(qū)動器件，其特征在于：所述每個主動驅(qū)動器件的構(gòu)成材料包括硅、氧化物、氮化鎵。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項所述的任意曲面襯底上的主動驅(qū)動器件，其特征在于：所述每個主動驅(qū)動器件包括常開型的開關(guān)器件。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項所述的任意曲面襯底上的主動驅(qū)動器件，其特征在于：所述每個主動驅(qū)動器件包括常開型和常關(guān)型的開關(guān)器件。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項所述的任意曲面襯底上的主動驅(qū)動器件，其特征在于：所述襯底存在像素電極，像素電極不是從原始襯底轉(zhuǎn)移來的。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項所述的任意曲面襯底上的主動驅(qū)動器件，其特征在于：所述襯底存在傳感器件。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項所述的任意曲面襯底上的主動驅(qū)動器件，其特征在于：所述襯底存在顯示器件。

10.根據(jù)權(quán)利要求1-9任一項所述的任意曲面襯底上的主動驅(qū)動器件，其制作方法包括：

(1)在原始襯底上制作主動驅(qū)動器件；

(2)將原始襯底轉(zhuǎn)移到一個可以變形的襯底上，再拋光研磨原始襯底，切割成主動驅(qū)動器件的單元；

(3)擴展上述可以變形的襯底，使每個主動驅(qū)動器件分散開，離開一定的距離；

(4)轉(zhuǎn)移到另一個任意曲面的襯底上。

(4)制作導(dǎo)線；

(5)制作像素電極；

(6)制作顯示器件或者傳感器件；

(7)完成封裝。