[發明專利]薄膜晶體管及其制造方法、陣列基板、顯示面板及設備

在審

• 申請號: 202010714003.7
• 申請日: 2020-07-22
• 公開（公告）號: CN111834466A
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發明（設計）人: 李全虎
• 申請（專利權）人: OPPO廣東移動通信有限公司
• 主分類號: H01L29/786
• 分類號: H01L29/786;H01L21/336;H01L29/423;H01L27/12;G02F1/1362;G02F1/1368
• 代理公司: 深圳市威世博知識產權代理事務所(普通合伙) 44280
• 代理人: 唐雙

本申請涉及顯示技術領域，具體公開了一種薄膜晶體管及其制造方法、陣列基板、顯示面板及電子設備，該薄膜晶體管包括柵極、柵極絕緣層、有源層以及保護層；其中，有源層設置在柵極絕緣層的一側，柵極設置在柵極絕緣層背離有源層的另一側，柵極的方塊電阻值小于等于預設方塊電阻值，柵極至少包括第一金屬層；保護層至少覆蓋第一金屬層的裸露表面，以防止第一金屬層被氧化。通過上述方式，能夠減少柵極上的RC延遲，改善顯示裝置畫面閃爍不均勻的問題。

技術領域

本申請涉及顯示技術領域，特別是涉及一種薄膜晶體管及其制造方法、陣列基板、顯示面板及設備。

背景技術

現有技術中，低溫多晶硅(Low Temperature Poly-Silicon，LTPS)面板在智能手機、平板電腦上已獲得廣泛應用。由于柵極本身具有既定的電阻，而薄膜晶體管的柵極與漏極之間也會產生寄生電容，此電阻與電容將形成電阻-電容延遲(RC延遲)電路。

基于顯示面板朝著大尺寸、高分辨率方向的發展趨勢，對顯示面板內部的走線寬度提出了更高的要求——柵極寬度越來越小、柵極長度越來越長，這就造成了每根柵極的負載越來越大、充電時間越來越小、像素密度越來越大，顯示面板內部的RC延遲很難控制在很小的范圍內，在RC延遲過大的情況下，GOA電路無法正常輸入柵極掃描信號，從而造成顯示面板出現顯示不良的問題。

發明內容

基于此，本申請提供一種薄膜晶體管及其制造方法、陣列基板、顯示面板及電子設備，以減少柵極上的RC延遲，改善顯示裝置畫面閃爍不均勻的問題。

第一方面，本申請實施例提供了一種薄膜晶體管，包括柵極、柵極絕緣層、有源層以及保護層；其中，有源層設置在柵極絕緣層的一側，柵極設置在柵極絕緣層背離有源層的另一側，柵極的方塊電阻值小于等于預設方塊電阻值，柵極至少包括第一金屬層；保護層至少覆蓋第一金屬層的裸露表面，以防止第一金屬層被氧化。

第二方面，本申請實施例提供了一種薄膜晶體管的制造方法，該方法包括：提供柵極，其中，柵極的方塊電阻值小于等于預設方塊電阻值，柵極至少包括第一金屬層；在柵極一側形成柵極絕緣層；在柵極絕緣層背離柵極的一側形成有源層；在柵極上形成保護層，其中，保護層至少覆蓋第一金屬層的裸露表面，以防止第一金屬層被氧化。

第三方面，本申請實施例提供了一種陣列基板，包括基底以及設置在基底上的多個像素單元，多個像素單元陣列排列，且每個像素分別包括如前述的薄膜晶體管以及與薄膜晶體管電性連接的像素電極。

第四方面，本申請實施例提供了一種顯示面板，包括如前述的陣列基板、與陣列基板相對設置的彩膜基板以及設置于陣列基板與彩膜基板之間的間隔物；其中，間隔物用于支撐陣列基板和彩膜基板。

第五方面，本申請實施例提供了一種電子設備，包括后蓋、蓋板、如前述的顯示面板、用于驅動顯示面板的驅動電路以及用于向顯示面板提供背光源的背光模組；顯示面板、驅動電路以及背光模組安裝在后蓋上，蓋板覆蓋顯示面板。

本申請的有益效果是：區別于現有技術的情況，本申請提供一種薄膜晶體管及其制造方法、陣列基板、顯示面板及電子設備，其中，該薄膜晶體管的柵極的方塊電阻值小于等于預設方塊電阻值，即減少柵極的整體電阻，從而改進柵極信號線上的RC延遲，改善顯示裝置畫面閃爍不均勻的問題。此外，本申請采用保護層覆蓋第一金屬層的裸露表面，因此，在后續高溫制程中，第一金屬層由于受到保護層的保護而不會被環境中的氧氣以及其它氧化物氧化，最大程度地提高柵極的穩定性，保證柵極的低方塊電阻值。

附圖說明

圖1是本申請薄膜晶體管第一實施例的結構示意圖；

圖2是本申請薄膜晶體管第二實施例的結構示意圖；

圖3是本申請薄膜晶體管第三實施例的結構示意圖；

圖4是本申請薄膜晶體管第四實施例的結構示意圖；