[發明專利]一種用于芯片粘貼的銀漿回溫液化裝置在審
| 申請號: | 202010712148.3 | 申請日: | 2020-07-22 |
| 公開(公告)號: | CN111933548A | 公開(公告)日: | 2020-11-13 |
| 發明(設計)人: | 楊昌禮 | 申請(專利權)人: | 蒼南樹蒙機械科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 325800 浙江省溫*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 芯片 粘貼 銀漿回溫 液化 裝置 | ||
1.一種用于芯片粘貼的銀漿回溫液化裝置,包括加熱容器(1),所述加熱容器內轉動連接有外齒圈(2),所述外齒圈連接有轉動驅動機構(3),其特征在于:外齒圈(2)的中心成型有安裝槽(21),豎直的加熱棒(4)的下端插接在所述安裝槽內,安裝槽的內壁上設有磁鐵層(5),所述加熱棒的下端吸附在所述磁鐵層上,外齒圈上設有存放座(6),所述存放座包括圓形的頂板(61)、底板(62)和連接在所述頂板和底板之間的連接管(63),頂板上成型有多個插孔(611),底板的上端面上成型有多個與所述插孔對應的安置孔(621),頂板的中心成型有上通孔(612),底板的中心成型有下通孔(622),所述連接管(63)的上端固定連接在所述上通孔四周的頂板底面上,連接管的下端固定連接在所述下通孔四周的底板頂面上,加熱棒(4)插接在上通孔、連接管和下通孔內,安裝槽(21)四周的外齒圈(2)上端面上成型有環形的插接槽(22),所述插接槽的內壁上成型有多個鍵槽(221),底板(62)的邊緣處成型有環形的連接板(623),所述連接板插接在插接槽內,連接板的側壁上成型有多個定位鍵(624),所述定位鍵對應插接在所述鍵槽內,加熱棒(4)的上端面上成型有凹槽,所述凹槽內插接有支軸(7),凹槽的內壁上螺接有若干球頭柱塞(8),支軸的側壁上成型有若干凹孔(71),所述球頭柱塞的球頭對應嵌置在所述凹孔內,支軸的上端穿出凹槽并插套固定有葉輪(72)。
2.根據權利要求1所述的用于芯片粘貼的銀漿回溫液化裝置,其特征在于:所述加熱容器(1)呈圓筒形,加熱容器的內壁上固定有圓形的支撐板(12),外齒圈(2)抵靠在所述支撐板的上端面上,外齒圈的下端面上成型有連接套(23),所述連接套穿過支撐板并插套固定有限位套(24)。
3.根據權利要求2所述的用于芯片粘貼的銀漿回溫液化裝置,其特征在于:所述轉動驅動機構(3)包括與外齒圈(2)嚙合的齒輪(31)、與所述齒輪連接的驅動電機(32),支撐板(12)的一側成型有支板(121),加熱容器(1)的側壁上成型有槽口(13),所述支板穿過所述槽口并固定有罩殼(9),所述罩殼固定在加熱容器的外壁上,齒輪(31)設置在支板(121)上,所述驅動電機(32)固定在罩殼內。
4.根據權利要求2所述的用于芯片粘貼的銀漿回溫液化裝置,其特征在于:所述連接套(23)的下端面中心固定有中心桿(10),所述中心桿的下端成型有若干輻桿(101),所述輻桿繞中心桿的中心軸線呈環形均勻分布。
5.根據權利要求1所述的用于芯片粘貼的銀漿回溫液化裝置,其特征在于:所述鍵槽(221)的上端貫穿插接槽(22)的上端,鍵槽繞插接槽的圓心呈環形均勻分布,定位鍵(624)繞連接板(623)的圓心呈環形均勻分布,插接槽和連接板的圓心重合。
6.根據權利要求1所述的用于芯片粘貼的銀漿回溫液化裝置,其特征在于:所述存放座(6)的底板(62)的直徑大于頂板(61)的直徑。
7.根據權利要求1所述的用于芯片粘貼的銀漿回溫液化裝置,其特征在于:所述插孔(611)均勻分布在頂板(61)上,所述安置孔(621)均勻分布在底板(62)上。
8.根據權利要求1所述的用于芯片粘貼的銀漿回溫液化裝置,其特征在于:所述加熱容器(1)的上端插套有容器蓋(11)。
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
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H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





