[發(fā)明專(zhuān)利]一種硅片激光標(biāo)識(shí)生產(chǎn)線

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010711067.1
• 申請(qǐng)日: 2020-07-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111799202A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-10-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黎功成
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 黎功成
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/677
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本發(fā)明公開(kāi)了一種硅片激光標(biāo)識(shí)生產(chǎn)線，包括基座，所述基座上端豎直固接有支架和兩根支柱，其中兩根所述支柱上端固定支撐有水平設(shè)置的平臺(tái)，所述支架上端安裝有機(jī)械臂，且機(jī)械臂位于平臺(tái)的正上方，所述平臺(tái)的兩側(cè)邊沿均固接有限位擋板，所述平臺(tái)的中間開(kāi)設(shè)有一條橫向設(shè)置的貫穿孔，位于所述貫穿孔一端正上方的平臺(tái)上固接有一個(gè)上下開(kāi)口的放料箱，其中所述放料箱的前后側(cè)板與兩塊限位擋板平齊，所述放料箱內(nèi)堆疊有多塊硅片。本發(fā)明可將放料箱內(nèi)堆疊的硅片逐塊推出并逐步向左推送，機(jī)械臂可在硅片的運(yùn)動(dòng)間歇內(nèi)對(duì)其進(jìn)行激光標(biāo)識(shí)，標(biāo)識(shí)完成后的硅片可自動(dòng)滑入收納盒內(nèi)進(jìn)行收納，自動(dòng)化程度更高，能夠極大程度節(jié)約人力成本，使用十分方便。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體材料技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種硅片激光標(biāo)識(shí)生產(chǎn)線。

背景技術(shù)

硅是最主要的半導(dǎo)體原材料，硅片是由硅棒切割打磨而成的片狀材料，硅片的在半導(dǎo)體領(lǐng)域及電子領(lǐng)域的應(yīng)用極為廣泛。硅片加工完成后需要對(duì)其進(jìn)行激光標(biāo)識(shí)，現(xiàn)有的硅片激光標(biāo)識(shí)生產(chǎn)線通常是通過(guò)人工將硅片逐塊擺放至機(jī)械臂下端，再由機(jī)械臂完成激光標(biāo)識(shí)工作，自動(dòng)化程度較低，需要耗費(fèi)較高人力成本。

為此，我們提出了一種硅片激光標(biāo)識(shí)生產(chǎn)線。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中現(xiàn)有的硅片激光標(biāo)識(shí)生產(chǎn)線自動(dòng)化程度較低，需要耗費(fèi)較高人力成本的問(wèn)題，而提出的一種硅片激光標(biāo)識(shí)生產(chǎn)線。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案：一種硅片激光標(biāo)識(shí)生產(chǎn)線，包括基座，所述基座上端豎直固接有支架和兩根支柱，其中兩根所述支柱上端固定支撐有水平設(shè)置的平臺(tái)，所述支架上端安裝有機(jī)械臂，且機(jī)械臂位于平臺(tái)的正上方，所述平臺(tái)的兩側(cè)邊沿均固接有限位擋板，所述平臺(tái)的中間開(kāi)設(shè)有一條橫向設(shè)置的貫穿孔，位于所述貫穿孔一端正上方的平臺(tái)上固接有一個(gè)上下開(kāi)口的放料箱，其中所述放料箱的前后側(cè)板與兩塊限位擋板平齊，所述放料箱內(nèi)堆疊有多塊硅片，且放料箱的尺寸恰好與硅片的尺寸適配，所述放料箱的左右側(cè)板底部還開(kāi)設(shè)有缺口，且缺口的高度恰好與一塊硅片的厚度相等，所述平臺(tái)的底部還設(shè)有配合硅片使用的推送機(jī)構(gòu)。

在上述的硅片激光標(biāo)識(shí)生產(chǎn)線中，所述推送機(jī)構(gòu)包括其中一塊所述限位擋板下端側(cè)壁上轉(zhuǎn)動(dòng)連接的兩根支撐桿，其中兩根所述支撐桿始終平行，兩根所述支撐桿的下端分別轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一擺動(dòng)塊和第二擺動(dòng)塊，所述第一擺動(dòng)塊與第二擺動(dòng)塊的下端共同活動(dòng)連接有一根水平設(shè)置的第二連接桿，所述第一擺動(dòng)塊與第二擺動(dòng)塊還共同活動(dòng)連接有傳動(dòng)塊，所述傳動(dòng)塊的上表面始終保持水平且其上端還等距固定連接有五個(gè)推送塊，其中所述傳動(dòng)塊和推送塊均恰好位于貫穿孔的正下方，兩根所述支柱間還固接有一塊水平設(shè)置的支撐板，所述支撐板上端豎直固接有一個(gè)安裝座，所述安裝座上端側(cè)壁上轉(zhuǎn)動(dòng)連接驅(qū)動(dòng)把，所述驅(qū)動(dòng)把的另一端與第一擺動(dòng)塊活動(dòng)連接，所述支撐板上端還固定安裝有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出桿上固定套接有第一同步輪，所述驅(qū)動(dòng)把還同軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二同步輪，且第一同步輪與第二同步輪間嚙合有同步帶。

在上述的硅片激光標(biāo)識(shí)生產(chǎn)線中，兩個(gè)相鄰所述推送塊的間距大于硅片的寬度。

在上述的硅片激光標(biāo)識(shí)生產(chǎn)線中，所述平臺(tái)遠(yuǎn)離放料箱的一端還固接有向下傾斜設(shè)置的滑板，所述滑板的底端設(shè)有收納盒。

與現(xiàn)有的技術(shù)相比，本硅片激光標(biāo)識(shí)生產(chǎn)線的優(yōu)點(diǎn)在于：通過(guò)設(shè)置受電機(jī)傳動(dòng)后循環(huán)逆時(shí)針升降擺動(dòng)的傳動(dòng)塊和推送塊配合放料箱內(nèi)的硅片以及機(jī)械臂使用，傳動(dòng)塊及其上端的五個(gè)推送塊可將放料箱內(nèi)堆疊的硅片逐塊推出并逐步向左推送，機(jī)械臂可在硅片的推送間歇內(nèi)對(duì)其進(jìn)行激光標(biāo)識(shí)，標(biāo)識(shí)完成后的硅片可自動(dòng)滑入收納盒內(nèi)進(jìn)行收納，自動(dòng)化程度更高，能夠極大程度節(jié)約人力成本，使用十分方便。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明提出的一種硅片激光標(biāo)識(shí)生產(chǎn)線的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明提出的一種硅片激光標(biāo)識(shí)生產(chǎn)線中平臺(tái)上方的結(jié)構(gòu)俯視圖。