[發(fā)明專利]一種芯片檢測系統(tǒng)和芯片檢測方法

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• 申請日: 2020-07-20
• 公開（公告）號: CN111982811A
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黎浩;陳鋒;許海明
• 申請（專利權(quán)）人: 湖北光安倫芯片有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/95
• 代理公司: 北京匯澤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11228
• 代理人: 吳靜

1.一種芯片檢測系統(tǒng)，用于檢測承載膜上的芯片的腔面，其特征在于，包括張緊裝置、折彎件和檢測裝置，所述折彎件具有第一支撐面和第二支撐面，所述第一支撐面和第二支撐面用于支撐所述承載膜，并與所述承載膜設(shè)置有芯片的一面的反面相接觸，所述張緊裝置用于張緊所述承載膜，所述第一支撐面和所述第二支撐面之間具有一夾角，所述第一支撐面和所述第二支撐面的相交線為第一折彎線，所述檢測裝置用于檢測所述第一支撐面上距離所述第一折彎線最近的芯片的腔面。

2.如權(quán)利要求1所述的芯片檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測裝置的光軸與所述第一支撐面平行，所述檢測裝置的光軸垂直于所述第一折彎線。

3.如權(quán)利要求1所述的芯片檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述第一支撐面和所述第二支撐面之間的夾角為145°。

4.如權(quán)利要求1所述的芯片檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述張緊裝置包括第一固定片、第二固定片、牽引裝置和隨動裝置，所述承載膜與所述芯片的腔面垂直的兩端分別與所述第一固定片和所述第二固定片固定連接，所述牽引裝置與所述第一固定片固定連接，所述隨動裝置與所述第二固定片固定連接，所述牽引裝置和所述隨動裝置用于張緊所述承載膜并牽引所述承載膜在所述第一支撐面和所述第二支撐面上滑動。

5.如權(quán)利要求4所述的芯片檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述第一固定片包括第一固定片主體，以及設(shè)置在所述第一固定片主體上的兩個第一定位凸起，所述牽引裝置上設(shè)置有兩個第一限位凸起，所述第一定位凸起與所述第一限位凸起相配合，用于將所述第一固定片主體卡在兩個所述第一限位凸起之間，所述第一固定片主體與所述第一限位凸起相配合，用于阻擋所述第一固定片向所述第二固定片靠攏。

6.如權(quán)利要求4所述的芯片檢測系統(tǒng)，其特征在于，還包括升降臺和折彎旋鈕，所述折彎件設(shè)置在所述升降臺上，所述折彎旋鈕用于使所述升降臺沿著垂直于所述第一支撐面的方向升降。

7.如權(quán)利要求4所述的芯片檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述牽引裝置用于牽拉所述第一固定片繞沿垂直于所述第一支撐面的方向轉(zhuǎn)動，或者牽拉所述第一固定片在平行于第一支撐面的平面內(nèi)移動，所述隨動裝置用于使所述第二固定片跟隨所述第一固定片運動。

8.如權(quán)利要求7所述的芯片檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述芯片檢測系統(tǒng)還包括基板，所述牽引裝置包括第一滑座、第一滑臺、第二滑臺、旋轉(zhuǎn)臺、承載座、第一旋鈕、第二旋鈕和第三旋鈕，所述第一滑座固定設(shè)置在所述基板上，所述第一滑臺設(shè)置在所述第一滑座上，且可相對所述第一滑座沿第一預(yù)定方向移動，所述第二滑臺設(shè)置在所述第一滑臺上，且可相對所述第一滑臺沿第二預(yù)定方向移動，所述第二預(yù)定方向垂直于所述第一預(yù)定方向，所述旋轉(zhuǎn)臺設(shè)置在所述第二滑臺上，且可相對所述第二滑臺繞第三預(yù)定方向轉(zhuǎn)動，所述第三預(yù)定方向與所述第一預(yù)定方向和所述第二預(yù)定方向垂直，所述承載座設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)臺上，所述第一旋鈕用于驅(qū)動所述第一滑臺相對所述第一滑座沿第一預(yù)定方向移動，所述第二旋鈕用于驅(qū)動所述第二滑臺相對所述第一滑臺沿第二預(yù)定方向移動，所述第三旋鈕用于驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)臺繞第三預(yù)定方向轉(zhuǎn)動，其中，所述第三預(yù)定方向為垂直于所述第一支撐面的方向，所述第一預(yù)定方向為沿所述第一折彎線的方向。

9.如權(quán)利要求8所述的芯片檢測系統(tǒng)，其特征在于，所述隨動裝置包括隨動底座、第一線性導(dǎo)軌、第二線性導(dǎo)軌、第一隨動臺、第二隨動臺、第一旋轉(zhuǎn)件、第二旋轉(zhuǎn)件、第二磁鐵和第三磁鐵，

所述隨動底座設(shè)置在所述第一滑臺上，所述第一線性導(dǎo)軌和所述第二線性導(dǎo)軌沿著垂直于所述第一支撐面的方向設(shè)置，所述第一隨動臺和所述第二隨動臺分別設(shè)置在所述第一線性導(dǎo)軌和所述第二線性導(dǎo)軌上，且可沿著所述第一線性導(dǎo)軌和所述第二線性導(dǎo)軌滑動，所述第一旋轉(zhuǎn)件和所述第二旋轉(zhuǎn)件分別設(shè)置在所述第一隨動臺和所述第二隨動臺上，且可相對所述第一隨動臺和所述第二隨動臺轉(zhuǎn)動，所述第二磁鐵和所述第三磁鐵分別設(shè)置在所述第一旋轉(zhuǎn)件和所述第二旋轉(zhuǎn)件上，所述第二磁鐵和所述第三磁鐵用于固定所述固定片。

10.一種芯片檢測方法，其特征在于，包括：

用張緊裝置張緊承載膜；

用折彎件的第一支撐面和第二支撐面支撐所述承載膜，并使第一支撐面和第二支撐面與所述承載膜設(shè)置有芯片的一面的反面相接觸，所述第一支撐面和第二支撐面之間具有一夾角，第一支撐面和第二支撐面的相交線為第一折彎線；

用檢測裝置檢測所述第一支撐面上距離所述第一折彎線最近的芯片的腔面。