[發明專利]一種銅基鈀涂層復合鍵合材料

在審

• 申請號: 202010696825.7
• 申請日: 2020-07-20
• 公開（公告）號: CN111945082A
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發明（設計）人: 田鵬
• 申請（專利權）人: 山東贏耐鑫電子科技有限公司
• 主分類號: C22C47/08
• 分類號: C22C47/08;C22C49/02;C22C49/14;H01L23/49;C22C101/10
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1.一種銅基鈀涂層復合鍵合材料，其特征在于，由以下重量份的原料組成：包括銅70～90份、銀30～40份、鈀10～20份、鋅5～11份、碳纖維增強體9～11份、鉻0.3～1.6份、鋰0.3～1.6份、鈣0.2～2份、鋁0.3～1.6份、釔0.05～0.15份。

2.根據權利要求1所述的銅基鈀涂層復合鍵合材料，其特征在于，由以下重量份的原料組成：包括銅70份、銀40份、鈀10份、鋅5份、碳纖維增強體9份、鉻0.3份、鋰0.3份、鈣2份、鋁1.6份、釔0.15份。

3.根據權利要求1所述的銅基鈀涂層復合鍵合材料，其特征在于，由以下重量份的原料組成：包括銅90份、銀30份、鈀20份、鋅11份、碳纖維增強體11份、鉻1.6份、鋰6份、鈣0.2份、鋁0.3份、釔0.05份。

4.根據權利要求1所述的銅基鈀涂層復合鍵合材料，其特征在于，由以下重量份的原料組成：包括銅80份、銀35份、鈀15份、鋅8份、碳纖維增強體10份、鉻0.8份、鋰3份、鈣1.5份、鋁1.2份、釔0.09份。

5.根據權利要求1-4任一所述的銅基鈀涂層復合鍵合材料的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一：按比例稱取各原料；

步驟二：將上述各材料用質量濃度為5%～8%的氫氧化鈉水溶液清洗，再用去離子水清洗，烘干，得到預處理坯料；

步驟三：將上述預處理坯料將上述預處理坯料中的銅錠投放于真空熔鑄爐中，以40～50℃/min的速度升溫至500～600℃，保溫30min，再以40～50℃/min的速度升溫至1100～1200℃，保溫30min；后續關閉電源，再將合金熔體冷卻，得合金坯塊；

步驟四:將上述合金坯塊B投入至真空下拉連鑄爐中，以50℃/min的速度升溫至1100～1200℃，持續加熱至完全熔化，精煉30min，靜置保溫10-25min，得到金屬熔融液；

步驟五:采用定向凝固的技術方法，將金屬熔融液澆入到模具內，然后通過風冷的方式進行冷卻，冷卻速度控制在20-25℃/min，當材料溫度降至80℃以下時，置于室溫下進行自然冷卻，得到成品。

6.根據權利要求5所述的銅基鈀涂層復合鍵合材料的制備方法，其特征在于，步驟三與步驟四均要求于真空環境下作業，待真空度高于5×10^-2Pa后，充入高純氬氣。

7.根據權利要求5所述的銅基鈀涂層復合鍵合材料的制備方法，其特征在于，步驟五金屬熔融液澆鑄冷卻時，采用變向式風冷作業方式。