[發明專利]一種微波等離子清洗機

有效

• 申請號: 202010696231.6
• 申請日: 2020-07-20
• 公開（公告）號: CN111785603B
• 公開（公告）日: 2023-06-13
• 發明（設計）人: 劉依婷;劉爭輝;萬軍;蔡晉輝
• 申請（專利權）人: 中國計量大學
• 主分類號: H01J37/18
• 分類號: H01J37/18;H01J37/32;H01L21/02;H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 北京眾達德權知識產權代理有限公司 11570
• 代理人: 劉杰

本發明公開了一種微波等離子清洗機，包括上料裝置、等離子清洗本體，所述的上料裝置包括門把手，電磁門、觀察窗、產品支架、載物板、真空吸盤、導軌，所述的等離子清洗本體包括外殼、微波屏蔽板、微波屏蔽罩，石英腔體、微波本體、微波腔、電源、PLC、氣體流量控制器、三通配管、真空計、電風扇、微波開關、電磁門開關，控制面板，底座，石英腔體安裝在微波屏蔽罩內部，微波腔固定在微波屏蔽板上，微波本體安裝在微波腔上部，三通配管固定于出氣法蘭，與石英腔體相通，真空計固定在三通配管上部，氣體流量控制器通過固定板固定在底座上。將待清洗產品放置在產品架上，送入石英腔體，對電子產品進行清洗，清洗效率高。

技術領域

本發明涉及清洗裝置技術領域，特別是一種微波等離子清洗機。

背景技術

隨著電子電路集成化程度的提高，芯片特征尺寸變小以及新型材料的研發與使用，對其表面處理和清洗的要求也越來越高，等離子體表面清洗工藝已經成為提高產品可靠性和成品率的重要手段，是生產工藝中不可缺少的步驟。在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下產生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產品表面．以達到清洗目的。等離子清洗是一種全新的高科技技術，利用等離子體可以清洗常規清洗方法難以清洗的電子產品，且可以滿足無損傷和抑制腐蝕的新工藝要求。目前等離子清洗設備按照激勵頻率的不同分為低頻、射頻（中頻）和微波等離子清洗機三種類型。其中微波的放電頻率最高，氣體電離度最大，自偏壓極小，離子沖擊小，對器件的損傷小，不產生紫外線輻射。由于具有以上優點，微波等離子在一些工藝中具有不可替代性。目前已有的微波等離子清洗機存在密封體制造成本高，工藝氣體充入不均以及產品得不到有效固定等不足。

發明內容

針對現有技術存在的不足，本發明的目的是提供一種微波等離子清洗機，解決了密封體制造成本較高，工藝氣體充入不均以及產品固定不牢的問題。

本發明的目的通過以下方式來實現：

本發明公開了一種微波等離子清洗機，包括上料裝置、等離子清洗本體，所述的上料裝置包括門把手，電磁門、觀察窗、產品支架、載物板、真空吸盤、導軌，所述的等離子清洗本體包括外殼、微波屏蔽板、微波屏蔽罩，石英腔體、微波本體、微波腔、電源、PLC、氣體流量控制器、三通配管、真空計、電風扇、微波開關、電磁門開關，控制面板，底座，石英腔體安裝在微波屏蔽罩內部，微波腔固定在微波屏蔽板上，微波本體安裝在微波腔上部，三通配管固定于出氣法蘭，與石英腔體相通，真空計固定在三通配管上部，氣體流量控制器通過固定板固定在底座上。

進一步的，所述載物板由一塊矩形薄板構成，上面布滿了圓形小孔，下部安裝有真空吸盤,待被清洗產品放置于產品支架后，真空吸盤開始作用，以固定產品。

進一步的，所述進氣孔位于進氣法蘭的上部，進氣口與勻氣結構相連，勻氣結構能使工藝氣體充入時更加均勻。

進一步的，石英腔體外部固定有圓柱形的加熱管，加熱管對稱分布，能夠加快工藝氣體的電離過程。

進一步的，所述導軌固定在電磁門的底部，與底座的圓形通孔相配合，待清洗產品在產品架上放置好后，用手推動門把手可以簡單快捷地關上電磁門。

進一步的，所述電磁門與石英腔體相配合的部位有多個圓形板，呈階梯分布，與前屏蔽板上呈階梯分布的圓形腔相配合，可以有效地加強密封性，防止微波泄露及保持真空。

進一步的，所述電風扇固定在底座的后部，可以及時且有效地將等離子清洗機內部產生的熱量去除，保持較合適的工作環境溫度。

相較于現有技術，本發明的有益效果如下：本發明的微波等離子清洗機密封裝置簡單有效，可操作性強，將待清洗的電子產品放置于產品架上后，真空吸盤可有效固定住產品，電磁門上的多個呈階梯分布的圓形板與與前屏蔽板上呈階梯分布的圓形腔相配合，加強了密封性，防止微波泄露及保持真空。利用三通配管端部的多孔結構，可加快抽真空進程，同時使充入工藝氣體時更加均勻。

附圖說明