[發(fā)明專(zhuān)利]一種微波等離子清洗機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010696231.6
• 申請(qǐng)日: 2020-07-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111785603B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-06-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉依婷;劉爭(zhēng)輝;萬(wàn)軍;蔡晉輝
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)計(jì)量大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): H01J37/18
• 分類(lèi)號(hào): H01J37/18;H01J37/32;H01L21/02;H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 北京眾達(dá)德權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11570
• 代理人: 劉杰

1.一種微波等離子清洗機(jī),其特征在于,它包括上料裝置﹑等離子清洗本體﹐所述的上料裝置包括門(mén)把手、電磁門(mén)、觀(guān)察窗、產(chǎn)品支架、載物板、真空吸盤(pán)、導(dǎo)軌,所述的等離子清洗本體包括外殼、微波屏蔽板﹑微波屏蔽罩、石英腔體、微波本體、微波腔、電源、PLC、氣體流量控制器、三通配管、真空計(jì)、電風(fēng)扇、微波開(kāi)關(guān)、電磁門(mén)開(kāi)關(guān)、控制面板、底座,石英腔體安裝在微波屏蔽罩內(nèi)部,微波腔固定在微波屏蔽板上,微波本體安裝在微波腔上部,三通配管固定于出氣法蘭,與石英腔體相通,真空計(jì)固定在三通配管上部,氣體流量控制器通過(guò)固定板固定在底座上；

載物板由一塊矩形薄板構(gòu)成，上面布滿(mǎn)了圓形小孔，下部安裝有真空吸盤(pán)；

石英腔體外部固定有圓柱形的多個(gè)加熱管﹐多個(gè)加熱管相對(duì)于石英腔體對(duì)稱(chēng)分布；

電磁門(mén)與石英腔體相配合的部位有多個(gè)圓形板﹐呈階梯分布,與前屏蔽板上呈階梯分布的圓形腔相配合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波等離子清洗機(jī),其特征是:進(jìn)氣孔位于進(jìn)氣法蘭的上部，進(jìn)氣孔與勻氣結(jié)構(gòu)相連。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微波等離子清洗機(jī)﹐其特征是:導(dǎo)軌固定在電磁門(mén)的底部﹐與底座的圓形通孔相配合。