[發明專利]一種分子泵動平衡調整裝置及調整方法

有效

• 申請號: 202010695942.1
• 申請日: 2020-07-20
• 公開（公告）號: CN111735571B
• 公開（公告）日: 2021-07-09
• 發明（設計）人: 項海銘;洪申平;沙宏磊;俞天野;王文建;趙明楊;沈虹;李魯楠
• 申請（專利權）人: 天津飛旋科技股份有限公司
• 主分類號: G01M1/36
• 分類號: G01M1/36
• 代理公司: 天津企興智財知識產權代理有限公司 12226
• 代理人: 蘇沖

1.一種分子泵動平衡調整裝置的調整方法，其特征在于：包括磁懸浮電機、機械泵、葉輪和電磁主軸，磁懸浮電機一側安裝真空罩，真空罩通過真空管道連接至機械泵，真空罩內部設有葉輪和電磁主軸，磁懸浮電機的主軸連接至電磁主軸一端，電磁主軸另一端安裝葉輪，電磁主軸上設有上徑向軸承檢測位和下徑向軸承檢測位，葉輪的端部設有第一動平衡加重孔和第二動平衡加重孔，真空罩外部設有檢測單元，檢測單元用于檢測電磁主軸的不平衡質量，并將信號傳遞給上位機，檢測單元為電感式位移傳感器，電感式位移傳感器包括第一電感式位移傳感器和第二電感式位移傳感器，第一電感式位移傳感器對準下徑向軸承檢測位，第二電感式位移傳感器對準上徑向軸承檢測位，

還包括如下步驟：

步驟一：將葉輪和電磁主軸作為一個整體固定在磁懸浮電機上；

步驟二：將電感式位移傳感器探頭對準電磁主軸的感應部位，并連接上位機；

步驟三：啟動磁懸浮電機，使葉輪和電磁主軸達到低速動平衡測試轉速，低速的轉速范圍為3000rpm至5000rpm；

步驟四：電感式位移傳感器將采集的數據傳遞給上位機，上位機判斷葉輪和電磁主軸這個整體的不平衡質量是否小于1克，如果不平衡質量大于1克，則進行動平衡調整，并對不平衡質量采用加重補償；如果不平衡質量小于1克，則直接進入步驟五；

步驟五：用機械泵對真空罩粗抽至10Pa的真空度，然后通過磁懸浮電機將葉輪和電磁主軸轉速達到額定運行轉速，經上位機計算得出不平衡質量分布，并判斷葉輪和電磁主軸這個整體的不平衡是否小于0.001克，如果小于0.001克，則測試結束；如果不平衡質量大于0.001克，則采用加重的方式對葉輪和電磁主軸進行不平衡質量調整，直至不平衡質量小于0.001克。

2.根據權利要求1所述的一種分子泵動平衡調整裝置的調整方法，其特征在于：上位機為電腦。

3.根據權利要求1所述的一種分子泵動平衡調整裝置的調整方法，其特征在于：磁懸浮電機的主軸和磁懸浮電機的殼體之間設有真空密封裝置。

4.根據權利要求1所述的一種分子泵動平衡調整裝置的調整方法，其特征在于：機械泵為前級泵。

5.根據權利要求1所述的一種分子泵動平衡調整裝置的調整方法，其特征在于：真空管道為波紋管。

6.根據權利要求1所述的一種分子泵動平衡調整裝置的調整方法，其特征在于：所述上位機內安裝的軟件為matlab計算軟件。