[發明專利]一種分子泵動平衡調整裝置及調整方法

有效

• 申請號: 202010695942.1
• 申請日: 2020-07-20
• 公開（公告）號: CN111735571B
• 公開（公告）日: 2021-07-09
• 發明（設計）人: 項海銘;洪申平;沙宏磊;俞天野;王文建;趙明楊;沈虹;李魯楠
• 申請（專利權）人: 天津飛旋科技股份有限公司
• 主分類號: G01M1/36
• 分類號: G01M1/36
• 代理公司: 天津企興智財知識產權代理有限公司 12226
• 代理人: 蘇沖

本發明提供了一種分子泵動平衡調整裝置及調整方法，包括磁懸浮電機，磁懸浮電機一側安裝真空罩，真空罩通過真空管道連接至機械泵，真空罩內部設有葉輪和電磁主軸，磁懸浮電機的主軸連接至電磁主軸一端，電磁主軸另一端安裝葉輪，電磁主軸上設有上徑向軸承檢測位和下徑向軸承檢測位，葉輪的端部設有第一動平衡加重孔和第二動平衡加重孔，真空罩外部設有檢測單元，檢測單元用于檢測電磁主軸的不平衡量，并將信號傳遞給上位機。本發明所述的分子泵動平衡調整裝置及調整方法，極大的提高了分子泵的動平衡測試效率而且精度高，節省了大量的調試時間。

技術領域

本發明屬于真空獲得設備領域，尤其是涉及一種分子泵動平衡調整裝置的調整方法。

背景技術

分子泵屬于高精度精密儀器，是真空獲得設備里的高端產品，它的工作原理是通過高速旋轉的葉輪定向擊打工作環境中的氣體分子，使氣體分子按設計要求排出真空腔體從而獲得潔凈的高真空環境。因此分子泵葉輪的轉速要求很高，葉輪邊緣線速度要達到400m/s以上，同時要求分子泵不能有大幅的振動，需要將泵口的相對振動量控制在0.1μm以內。在這種要求下，分子泵葉輪的動平衡精度一般需要達到G0.4以上。現有的分子泵動平衡方法主要分兩種：一種是借用常規的動平衡機，在低速下比如3000rpm時做調整，這種方法操作簡單，但是效果不是很理想，因為分子泵的工作轉速一般都在20000rpm以上，此時的葉輪狀態和低速下的狀態不完全一樣，所以這種方法的動平衡精度很難達到G0.4，只能勉強使用。另外一種是本機動平衡，需要采用高精度動平衡儀或是磁懸浮分子泵的位移監控軟件進行操作，這種方法可以實現高速下動平衡，保證分子泵在額定轉速時的動平衡精度，一般都能輕松達到G0.4以上，但是這種方法非常耗時，因為分子泵本身升降速時間很長，一般一次升降速需要20分鐘左右，完成一個泵的動平衡差不多要半天時間；操作也是相對復雜，需要來回拆卸泵殼處理葉輪的不平衡質量。

發明內容

有鑒于此，本發明旨在提出一種分子泵動平衡調整裝置，以解決分子泵動平衡精度低、操作復雜、耗時長的問題。

為達到上述目的，本發明的技術方案是這樣實現的：

一種分子泵動平衡調整裝置，包括磁懸浮電機、機械泵、葉輪和電磁主軸，磁懸浮電機一側安裝真空罩，真空罩通過真空管道連接至機械泵，真空罩內部設有葉輪和電磁主軸，磁懸浮電機的主軸連接至電磁主軸一端，電磁主軸另一端安裝葉輪，電磁主軸上設有上徑向軸承檢測位和下徑向軸承檢測位，葉輪的端部設有第一動平衡加重孔和第二動平衡加重孔，真空罩外部設有檢測單元，檢測單元用于檢測電磁主軸的不平衡質量，并將信號傳遞給上位機。

進一步的，所述上位機為電腦。

進一步的，所述磁懸浮電機的主軸和磁懸浮電機的殼體之間設有真空密封裝置。

進一步的，所述機械泵為前級泵。

進一步的，所述真空管道為波紋管。

進一步的，所述檢測單元為電感式位移傳感器，電感式位移傳感器包括第一電感式位移傳感器和第二電感式位移傳感器，第一電感式位移傳感器對準下徑向軸承檢測位，第二電感式位移傳感器對準上徑向軸承檢測位。。

相對于現有技術，本發明所述的分子泵動平衡調整裝置具有以下優勢：

（1）本發明所述的分子泵動平衡調整裝置，將葉輪和電磁主軸作為整體進行動平衡調整，既可以實現將葉輪和電磁主軸單獨從泵體分離出來整體動平衡，又可以快速實現高速動平衡調整，極大的提高了動平衡效率。

（2）本發明所述的分子泵動平衡調整裝置，操作簡單，易于批量生產，有利于企業減少人力投入、降低生產成本和減少其他配套資源損耗。

本發明的另一目的在于提出一種分子泵動平衡調整方法，以解決分子泵動平衡精度低、操作復雜、耗時長的問題。

為達到上述目的，本發明的技術方案是這樣實現的：