[發(fā)明專利]點(diǎn)膠機(jī)及其點(diǎn)膠方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010694804.1 | 申請日： | 2020-07-17 |
| 公開（公告）號： | CN111889310B | 公開（公告）日： | 2023-05-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 郜福亮;周典虬;苗虎;林翔;曲東升;李長峰 | 申請（專利權(quán)）人： | 常州銘賽機(jī)器人科技股份有限公司 |
| 主分類號： | B05C5/02 | 分類號： | B05C5/02;B05C9/14;B05D3/02;B05C11/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 常州至善至誠專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32409 | 代理人： | 趙旭 |
| 地址： | 213100 江蘇省常州市武進(jìn)*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 點(diǎn)膠機(jī) 及其 方法 | ||
1.一種點(diǎn)膠機(jī)，其特征在于，包括：
晶圓加熱裝置，所述晶圓加熱裝置的上方承載有待點(diǎn)膠的晶圓；
點(diǎn)膠機(jī)本體，所述點(diǎn)膠機(jī)本體能夠?qū)λ鼍A進(jìn)行點(diǎn)膠；
紅外檢測模塊，所述紅外檢測模塊設(shè)于所述點(diǎn)膠機(jī)本體上，所述紅外檢測模塊能夠檢測所述晶圓的溫度，所述紅外檢測模塊與所述晶圓加熱裝置相配合以在所述晶圓的溫度低于設(shè)定溫度時(shí)通過晶圓加熱裝置提高所述晶圓的溫度；
點(diǎn)膠保溫平臺，所述點(diǎn)膠保溫平臺位于所述晶圓加熱裝置的一側(cè)，所述點(diǎn)膠保溫平臺的一部分形成為能夠?qū)λ鳇c(diǎn)膠機(jī)本體進(jìn)行加熱的保溫面；所述點(diǎn)膠機(jī)本體在點(diǎn)膠位置和保溫位置之間可活動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的點(diǎn)膠機(jī)，其特征在于，
所述點(diǎn)膠機(jī)本體包括：
膠筒，所述膠筒位于所述晶圓加熱裝置的上方；
點(diǎn)膠針頭，所述點(diǎn)膠針頭設(shè)于所述膠筒的下方且與其相連通，在所述點(diǎn)膠機(jī)本體位于所述點(diǎn)膠位置時(shí)，所述點(diǎn)膠針頭位于所述晶圓加熱裝置的上方，在所述點(diǎn)膠機(jī)本體位于所述保溫位置時(shí)，所述點(diǎn)膠針頭位于所述點(diǎn)膠保溫平臺的上方。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的點(diǎn)膠機(jī)，其特征在于，所述保溫面沿水平方向延伸。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的點(diǎn)膠機(jī)，其特征在于，還包括：
冷卻模塊，所述冷卻模塊設(shè)于所述點(diǎn)膠機(jī)本體的一側(cè)以對所述點(diǎn)膠機(jī)本體進(jìn)行降溫。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的點(diǎn)膠機(jī)，其特征在于，所述點(diǎn)膠機(jī)本體還能在保溫位置和排膠位置之間可活動，所述點(diǎn)膠機(jī)還包括：
廢料桶，所述廢料桶位于所述點(diǎn)膠保溫平臺的一側(cè)，在所述點(diǎn)膠機(jī)本體位于所述排膠位置時(shí)能夠向所述廢料桶內(nèi)排放膠水。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的點(diǎn)膠機(jī)，其特征在于，還包括：
三軸運(yùn)動平臺，所述三軸運(yùn)動平臺與所述點(diǎn)膠機(jī)本體相連以使所述點(diǎn)膠機(jī)本體在第一方向、第二方向和第三方向可活動，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向中的任意兩個(gè)相垂直。
7.一種根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一所述的點(diǎn)膠機(jī)的點(diǎn)膠方法，其特征在于，包括以下步驟：
將所述點(diǎn)膠機(jī)本體在所述點(diǎn)膠位置對位于所述晶圓加熱裝置上的所述晶圓進(jìn)行點(diǎn)膠；
通過紅外檢測模塊檢測所述晶圓的溫度，在所述晶圓的溫度低于設(shè)定溫度時(shí)通過晶圓加熱裝置提高所述晶圓的溫度。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，還包括以下步驟：
定期對所述點(diǎn)膠機(jī)本體內(nèi)的凝固的膠水進(jìn)行排放。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，通過調(diào)節(jié)所述晶圓與所述晶圓加熱裝置的距離來提高所述晶圓的溫度，當(dāng)溫度達(dá)到所述設(shè)定溫度時(shí)，所述晶圓吸附于所述晶圓加熱裝置。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，還包括以下步驟：
在點(diǎn)膠結(jié)束后，將所述點(diǎn)膠機(jī)本體從所述點(diǎn)膠位置移至所述保溫位置以調(diào)控所述點(diǎn)膠機(jī)本體的溫度。
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