[發明專利]一種WTi靶材和銅背板的焊接方法有效
| 申請號： | 202010694658.2 | 申請日： | 2020-07-17 |
| 公開（公告）號： | CN111843161B | 公開（公告）日： | 2022-02-08 |
| 發明（設計）人： | 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學澤;廖培君;羅明浩 | 申請（專利權）人： | 寧波江豐電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | B23K20/00 | 分類號： | B23K20/00;B23K20/14;B23K20/24;C23G1/10;C23G1/20;B23K103/18 |
| 代理公司： | 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659 | 代理人： | 王巖 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波市*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 wti 背板 焊接 方法 | ||
1.一種WTi靶材和銅背板的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括：將WTi靶材、銅背板及蓋板進行組裝，之后置入包套中依次進行脫氣處理及焊接；
其中，所述WTi靶材的焊接面設置有槽；所述銅背板的焊接面依次進行酸處理和堿處理；所述組裝為銅背板和蓋板以WTi靶材為中心對稱組裝；
所述槽的最大寬度處為3-5mm；所述槽的垂直深度為1.2-2mm；所述槽的間距為6-8mm；所述焊接的方式為擴散焊接。
2.如權利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述酸處理為使用酸溶液對銅背板焊接面進行處理。
3.如權利要求2所述的焊接方法，其特征在于，所述酸溶液為濃鹽酸和/或濃硝酸。
4.如權利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述酸處理的時間為20-40min。
5.如權利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述堿處理為使用堿溶液對銅背板焊接面進行處理。
6.如權利要求5所述的焊接方法，其特征在于，所述堿溶液為氫氧化鈉溶液和/或氫氧化鉀溶液。
7.如權利要求5或6所述的焊接方法，其特征在于，所述堿溶液的濃度為3-5mol/L。
8.如權利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述堿處理的時間為30-60min。
9.如權利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述脫氣處理的溫度為400-600℃。
10.如權利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述脫氣處理的保溫時間≥2h。
11.如權利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述脫氣處理的終點真空度≤5×10-3Pa。
12.如權利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述焊接的溫度為650-950℃。
13.如權利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述焊接的壓力≥80MPa。
14.如權利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述焊接的保溫時間≥2h。
15.如權利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述焊接后進行降溫。
16.如權利要求15所述的焊接方法，其特征在于，當溫度＞200℃，所述降溫的速度≤5℃/min。
17.如權利要求15所述的焊接方法，其特征在于，當溫度≤200℃，所述降溫的速度≤10℃/min。
18.如權利要求17所述的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括：將WTi靶材、銅背板及蓋板進行組裝，之后置入包套中依次進行脫氣處理及焊接；
其中，所述酸處理為使用酸溶液對銅背板焊接面進行處理；所述酸溶液為濃鹽酸和/或濃硝酸；所述堿處理為使用堿溶液對銅背板焊接面進行處理；所述堿溶液為氫氧化鈉溶液和/或氫氧化鉀溶液；所述堿溶液的濃度為3-5mol/L。
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