[發(fā)明專利]襯底搬送裝置及襯底搬送方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010694136.2
• 申請日: 2020-07-17
• 公開（公告）號: CN112530847A
• 公開（公告）日: 2021-03-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 桒原丈二
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社斯庫林集團(tuán)
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 陳甜甜

本發(fā)明提供一種能高精度地檢測襯底收容器內(nèi)的襯底在前后方向上的位置的襯底搬送裝置。本發(fā)明涉及一種襯底搬送裝置及襯底搬送方法。襯底搬送裝置(TID)具有機(jī)械手(1)、進(jìn)退機(jī)構(gòu)(31)、升降機(jī)構(gòu)((32))、移動機(jī)構(gòu)(33)及檢測部(2)。進(jìn)退機(jī)構(gòu)(31)使機(jī)械手(1)在前后方向移動，從而使機(jī)械手(1)進(jìn)入到襯底收容器及從襯底收容器收回機(jī)械手(1)。升降機(jī)構(gòu)(32)使機(jī)械手(1)上升，利用機(jī)械手(1)從下方托起襯底(W)。移動機(jī)構(gòu)(33)使機(jī)械手移動到與襯底收容器相對的位置。檢測部(2)與機(jī)械手(1)一體移動，在進(jìn)退機(jī)構(gòu)(31)已使機(jī)械手(1)進(jìn)入到襯底收容器內(nèi)部的進(jìn)入狀態(tài)下，該檢測部(2)在與前后方向(D1)交叉的測量方向(D2)上，設(shè)置在與襯底(W)相鄰的位置處，并在該進(jìn)入狀態(tài)下檢測襯底(W)在前后方向(D1)上的位置。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請案涉及一種襯底搬送裝置及襯底搬送方法。

背景技術(shù)

目前已提出了從收納有襯底的盒體中取出襯底的襯底搬送裝置(例如專利文獻(xiàn)1～3)。襯底搬送裝置包含載置襯底的機(jī)械手。襯底搬送裝置實(shí)施下文將說明的動作而從盒體中取出襯底。即，首先，襯底搬送裝置將機(jī)械手的高度位置調(diào)整到與盒體相向的位置。具體而言，襯底搬送裝置調(diào)整機(jī)械手的高度位置，使其位于作為搬出對象的襯底的略微下方。之后，襯底搬送裝置使機(jī)械手沿前后方向朝盒體內(nèi)部移動。襯底搬送裝置使機(jī)械手停止在襯底正下方的預(yù)定位置后，使機(jī)械手上升。由此，機(jī)械手能托起襯底。接著，襯底搬送裝置從盒體收回機(jī)械手。由此，能從盒體中取出襯底。

[現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)1]日本專利特開2019-33220號公報

[專利文獻(xiàn)2]日本專利特開2010-287783號公報

[專利文獻(xiàn)3]日本專利特開2009-88222號公報

發(fā)明內(nèi)容

[發(fā)明要解決的問題]

然而，在盒體內(nèi)部，襯底的載置位置有時會發(fā)生偏離。具體而言，襯底在前后方向上的載置位置會偏離指定的基準(zhǔn)位置。當(dāng)襯底的載置位置偏離基準(zhǔn)位置時，機(jī)械手與襯底的相對位置關(guān)系也發(fā)生偏離。于是，對于機(jī)械手而言，襯底并非載置于恰當(dāng)?shù)奈恢谩Ｒ簿褪钦f，機(jī)械手無法在恰當(dāng)?shù)奈恢猛衅鹨r底，從而無法恰當(dāng)?shù)厝〕鲆r底。

因此，本申請案的目的在于提供一種能高精度地檢測襯底收容器內(nèi)的襯底在前后方向上的位置的襯底搬送裝置及襯底搬送方法。

[解決問題的技術(shù)手段]

襯底搬送裝置的第1形態(tài)中，從襯底收容器中取出襯底并將該襯底搬送到襯底保持部，該襯底收容器的內(nèi)部構(gòu)造為，將多個該襯底以水平姿勢且在鉛垂方向上隔著間隔層疊的狀態(tài)收納，該襯底搬送裝置具有：機(jī)械手；進(jìn)退機(jī)構(gòu)，使所述機(jī)械手在前后方向上移動，從而使所述機(jī)械手進(jìn)入到所述襯底收容器及從所述襯底收容器收回所述機(jī)械手；升降機(jī)構(gòu)，使所述機(jī)械手上升，利用所述機(jī)械手從下方托起所述襯底；移動機(jī)構(gòu)，使所述機(jī)械手移動到與所述襯底收容器相對的位置；及檢測部，與所述機(jī)械手一體移動，在所述進(jìn)退機(jī)構(gòu)已使所述機(jī)械手進(jìn)入到所述襯底收容器內(nèi)部的進(jìn)入狀態(tài)下，該檢測部在與前后方向交叉的測量方向上，設(shè)置在與所述襯底相鄰的位置處，并在所述進(jìn)入狀態(tài)下檢測所述襯底在前后方向上的位置。

根據(jù)第1形態(tài)的襯底搬裝置，襯底搬送裝置的第2形態(tài)中，還具有：存儲介質(zhì)，存儲著所述襯底收容器內(nèi)部的所述襯底在前后方向上的基準(zhǔn)位置；及控制部，基于所述檢測部檢測到的所述襯底在前后方向上的位置、與所述存儲介質(zhì)中存儲的所述基準(zhǔn)位置的對比，使所述進(jìn)退機(jī)構(gòu)調(diào)整所述進(jìn)入狀態(tài)下的所述機(jī)械手在前后方向上的位置。

根據(jù)第1或第2形態(tài)的襯底搬送裝置，襯底搬送裝置的第3形態(tài)中，所述檢測部包括：發(fā)光部及受光部，在測量方向上彼此相向而配置；以及運(yùn)算部；所述發(fā)光部向所述受光部照射以前后方向?yàn)閷挾确较虻膸罟猓鲞\(yùn)算部根據(jù)所述受光部接收到的光的受光量，求出所述襯底在前后方向上的位置。