[發(fā)明專利]抗蝕劑剝離液組合物、平板顯示器基板及其制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010694093.8
• 申請(qǐng)日: 2016-08-31
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111781808A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李喻珍;高京俊;金圣植;金正鉉;崔漢永
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東友精細(xì)化工有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/42
• 分類號(hào): G03F7/42
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 金成哲;宋?；?/td>

本發(fā)明涉及包含(a)化學(xué)式1所表示的仲胺、(b)非質(zhì)子有機(jī)溶劑化合物和(c)伯醇化合物的抗蝕劑剝離液組合物，包括利用該抗蝕劑剝離液組合物對(duì)平板顯示器基板進(jìn)行清洗的工序的平板顯示器基板的制造方法，及由上述制造方法制造的平板顯示器基板?；瘜W(xué)式1中，R為C2～C20的直鏈或支鏈烷基、或者C5～C8的環(huán)烷基等。[化學(xué)式1]。

本申請(qǐng)是申請(qǐng)日為2016年8月31日、申請(qǐng)?zhí)枮?01610798259.4、發(fā)明名稱為《抗蝕劑剝離液組合物、平板顯示器基板及其制造方法》的中國(guó)專利申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種抗蝕劑剝離液組合物、使用其的平板顯示器基板制造方法以及平板顯示器基板。

背景技術(shù)

近年來(lái)，隨著對(duì)于實(shí)現(xiàn)平板顯示裝置的高分辨率的要求增多，一直進(jìn)行著旨在增加每單位面積的像素?cái)?shù)量的努力。在這樣的趨勢(shì)下，也要求配線寬度的減小，為了應(yīng)對(duì)該趨勢(shì)，導(dǎo)入了干式蝕刻工序等，因而工序條件也變得愈發(fā)苛刻。

此外，由于平板顯示裝置的大型化，也要求配線中的信號(hào)速度加快，因此，相比鋁，電阻率低的銅逐漸被用作配線材料。為了與之適應(yīng)，對(duì)于在作為抗蝕劑去除工序的剝離工序中使用的剝離液的需求性能也逐漸提高。

具體而言，對(duì)于針對(duì)干式蝕刻工序之后所產(chǎn)生的蝕刻殘?jiān)娜コ芰歪槍?duì)金屬配線的腐蝕抑制能力等，要求相當(dāng)水平的剝離特性。特別地，不僅要求對(duì)于鋁的腐蝕抑制能力，還要求對(duì)于銅的腐蝕抑制能力，并且為了確保價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)力，也要求如基板的處理張數(shù)增多這樣的經(jīng)濟(jì)性。

一般而言，為了去除抗蝕劑，會(huì)使用一乙醇胺、甲基氨基甲醇等胺等。然而，已知以往的光致抗蝕劑剝離液組合物在長(zhǎng)期保管以及高溫工序溫度條件下會(huì)因胺的揮發(fā)損失而發(fā)生胺的含量降低所導(dǎo)致的剝離性降低的問(wèn)題。例如，韓國(guó)公開(kāi)專利第10-2006-0048092號(hào)中公開(kāi)了包含烷醇胺的抗蝕劑剝離液組合物，但仍未解決長(zhǎng)期保管以及高溫工序溫度條件下發(fā)生由胺的揮發(fā)損失引起的剝離性降低的問(wèn)題。

為了解決如上所述的以往技術(shù)的問(wèn)題，需要開(kāi)發(fā)如下優(yōu)異的剝離液組合物，其具有優(yōu)異的防腐蝕能力和斑紋產(chǎn)生防止效果，并且長(zhǎng)期保管以及高溫工序溫度條件下抑制由胺的揮發(fā)損失引起的剝離性降低。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

韓國(guó)公開(kāi)專利第10-2006-0048092號(hào)

發(fā)明內(nèi)容

所要解決的課題

本發(fā)明的目的在于，提供一種抗蝕劑剝離液組合物，其具有優(yōu)異的防腐蝕能力和斑紋產(chǎn)生防止效果，并且改善長(zhǎng)期保管以及高溫工序溫度條件下發(fā)生由胺的揮發(fā)損失引起的剝離性降低的問(wèn)題。

此外，本發(fā)明的目的在于，提供使用上述組合物的平板顯示器基板的制造方法以及由上述制造方法制造的平板顯示器基板。

解決課題的方法

為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明提供一種抗蝕劑剝離液組合物，其包含：(a)化學(xué)式1所表示的仲胺、(b)非質(zhì)子有機(jī)溶劑化合物和(c)伯醇化合物。

[化學(xué)式1]

上述化學(xué)式1中，R為C2～C20的直鏈或支鏈烷基、或者C5～C8的環(huán)烷基、

上述C2～C20的直鏈或支鏈烷基、或者C5～C8的環(huán)烷基可被羥基、C1～C10的烷氧基、氰基或氟基取代或非取代，

n為0～3的整數(shù)。

此外，本發(fā)明提供一種平板顯示器基板的制造方法，其包括使用上述本發(fā)明的抗蝕劑剝離液組合物對(duì)平板顯示器基板進(jìn)行清洗的工序。

此外，本發(fā)明提供一種由上述制造方法制造的平板顯示器基板。