[發(fā)明專利]抗蝕劑剝離液組合物、平板顯示器基板及其制造方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010694093.8
• 申請(qǐng)日: 2016-08-31
• 公開（公告）號(hào): CN111781808A
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李喻珍;高京俊;金圣植;金正鉉;崔漢永
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東友精細(xì)化工有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/42
• 分類號(hào): G03F7/42
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 金成哲;宋海花

1.一種抗蝕劑剝離液組合物，其包含：

(a)下述化學(xué)式1所表示的仲胺、

(b)非質(zhì)子有機(jī)溶劑化合物、和

(c)伯醇化合物，

[化學(xué)式1]

上述化學(xué)式1中，R為C2～C20的直鏈或支鏈烷基、或者C5～C8的環(huán)烷基、

所述C2～C20的直鏈或支鏈烷基、或者C5～C8的環(huán)烷基可被羥基、C1～C10的烷氧基、氰基或氟基取代或非取代，

n為0～3的整數(shù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗蝕劑剝離液組合物，所述(a)化學(xué)式1所表示的仲胺是選自2-羥甲基氨基乙醇、2-(2-(羥甲基氨基)乙氧基)乙醇、2-(2-(2-(羥甲基氨基)乙氧基)乙氧基)乙醇、乙基氨基甲醇、N-羥甲基丙胺、丁基氨基甲醇、異丁基氨基甲醇和N-(2-羥丙基)氨基甲醇中的一種以上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗蝕劑剝離液組合物，所述(b)非質(zhì)子有機(jī)溶劑化合物是選自吡咯烷酮化合物、咪唑烷酮化合物、亞砜化合物、磷酸酯化合物及酰胺化合物中的一種以上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗蝕劑剝離液組合物，所述(b)非質(zhì)子有機(jī)溶劑化合物是選自1-乙酰基吡咯烷、2-吡咯烷酮、N-甲基吡咯烷酮、1,3-二甲基-2-咪唑烷酮、1,3-二丙基-2-咪唑烷酮、二甲亞砜、環(huán)丁砜、磷酸三乙酯、磷酸三丁酯、N-甲基甲酰胺、N-乙基甲酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二乙基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰基乙酰胺、N,N-叔丁基甲酰胺、乙酰胺、N-甲基乙酰胺、N-乙基乙酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N,N-二乙基乙酰胺、N-(2-羥乙基)乙酰胺、N,N-二甲基丙酰胺、3-甲氧基-N,N-二甲基丙酰胺、N,N-二甲基丁酰胺、3-(2-乙基己基氧基)-N,N-二甲基丙酰胺和3-丁氧基-N,N-二甲基丙酰胺中的一種以上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗蝕劑剝離液組合物，所述(c)伯醇化合物是選自四氫糠醇、羥甲基環(huán)戊烯、4-羥甲基-1,3-二氧戊環(huán)、2-甲基-4-羥甲基-1,3-二氧戊環(huán)、2,2-二甲基-1,3-二氧戊環(huán)-4-甲醇、1,3-丙二醇、1,3-丁二醇、1,4-丁二醇、2-甲氧基乙醇、二乙二醇、三乙二醇、異丙二醇、二乙二醇單甲醚、二乙二醇乙醚、三乙二醇單甲醚、三乙二醇單乙醚、乙二醇單異丙醚、乙二醇單丁醚、單異丙醚、二乙二醇單丁醚、聚乙二醇、聚乙二醇單甲醚、聚乙二醇單丁醚、丙二醇單甲醚、二丙二醇單甲醚、三丙二醇單甲醚和丙二醇單甲醚乙酸酯中的一種以上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗蝕劑剝離液組合物，相對(duì)于抗蝕劑剝離液組合物總重量，包含：

(a)所述化學(xué)式1所表示的仲胺0.01至20重量％、

(b)非質(zhì)子有機(jī)溶劑化合物10至70重量％、和

(c)伯醇化合物20至80重量％。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的抗蝕劑剝離液組合物，相對(duì)于抗蝕劑剝離液組合物總重量，進(jìn)一步包含(d)防腐蝕劑0.001至0.5重量％和(e)去離子水0.01至30重量％中的一種以上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的抗蝕劑剝離液組合物，(d)防腐蝕劑是選自4-甲基-1H-苯并三唑、5-甲基-1H-苯并三唑和甲苯基三唑中的一種以上。

9.一種平板顯示器基板的制造方法，其包括使用權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的抗蝕劑剝離液組合物對(duì)平板顯示器基板進(jìn)行清洗的工序。

10.由權(quán)利要求9所述的制造方法制造的平板顯示器基板。