[發明專利]一種基于紅外檢測技術的真空鍍膜基板溫度監控組件

在審

• 申請號: 202010685061.1
• 申請日: 2020-07-16
• 公開（公告）號: CN111647855A
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發明（設計）人: 謝斌;劉亮
• 申請（專利權）人: 合肥邦諾科技有限公司
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30;C23C14/54;G01J5/00
• 代理公司: 無錫堅恒專利代理事務所(普通合伙) 32348
• 代理人: 趙貴春

本發明公開了一種基于紅外檢測技術的真空鍍膜基板溫度監控組件，包括真空腔體，所述真空腔體內安裝有紅外探測器，所述真空腔體的腔壁上開設有信號傳輸窗口，所述信號傳輸窗口的內側安裝有內無線通信模塊，所述所述信號傳輸窗口的外側安裝有與內無線通信模塊配合傳輸的外無線通信模塊；所述內無線通信模塊與紅外探測器信號傳輸連接；所述外無線通信模塊與控制器信號傳輸連接。

技術領域

本發明涉及一種基于紅外檢測技術的真空鍍膜基板溫度監控組件。

背景技術

隨著科學技術的發展，世界各地許多科學家都在積極開展新材料尤其是薄膜材料的研究。薄膜材料科學成為材料科學中發展最迅速分支的原因：

(1)現代科學技術的發展，特別是微電子技術的發展，過去需要眾多材料組合才能實現的功能，現在僅僅需要少數幾個器件或一塊集成電路板就可以完成。薄膜技術正是實現器件和系統微型化的最有效的技術手段；

(2)器件的微小型化不僅可以保持器件原有的功能并使之更加強化，而且隨著器件的尺寸減小并接近了電子或其他粒子量子化運動的微觀尺度，薄膜材料或其器件將顯示出許多全新的物理現象。薄膜技術作為器件微型化的關鍵技術，是制備這類具有新型功能器件的有效手段；

(3)薄膜技術作為材料制備的有效手段，可以將各種不同材料靈活地復合在一起，構成具有優異特性的復雜材料體系，發揮每種材料各自的優勢，避免單一材料的局限性．薄膜材料學在科學技術以及國民經濟的各個領域發揮著越來越大的作用。

而薄膜材料是通過超高真空薄膜制備設備完成，基板的溫度的測量和控制是決定薄膜制備的結構和質量的重要因素。由于真空鍍膜要求有一定的真空度，必須在一個封閉的金屬空間里進行，再加上基板必須要通過旋轉來實現薄膜的均勻性，因此，目前只能用感溫貼片來完成。感溫貼片可視為是一種簡易型的黏貼式溫度計，它就像貼紙一樣，不需要電池或其它動能，只要溫度到達感溫貼片的額定溫度時，貼片就會開始變色，如此一來便能夠提醒用戶溫度的變化。感溫貼片可分兩種：可逆式－溫度組件變色，在冷卻后會回復原色。不可逆式－溫度組件變色，但在冷卻后不會回復原色。目前真空鍍膜就是用不可逆的溫度貼片，同時貼不同溫度的貼片，這樣就知道溫度超高了某個溫度，和沒有達到某個溫度，從而得到溫度的區間。

但是溫度貼片測量方式測量溫度不夠精確，測量的間隔比較大，一般都在20-30度的間隔，這樣，鍍膜過程中的溫度監控不夠準確對于高質量的尤其是功能性質的薄膜產生影響，降低了產品質量，和合格率，增加成本。現有技術急需一種測量精度高，測量覆蓋范圍大的基于紅外檢測技術的真空鍍膜基板溫度監控組件。

發明內容

本發明的目的在于克服現有技術中存在的缺陷，提供一種測量精度高，測量覆蓋范圍大的基于紅外檢測技術的真空鍍膜基板溫度監控組件。

為實現上述目的，本發明的技術方案是提供了一種基于紅外檢測技術的真空鍍膜基板溫度監控組件，其特征在于：包括真空腔體，所述真空腔體底部設置有坩堝，所述坩堝上方設置有旋轉傘架，所述旋轉傘架上均布有多個基板；

所述坩堝的側上方設置有電子槍，所述電子槍加熱端朝向坩堝方向；

所述真空腔體內安裝有紅外探測器，所述真空腔體的腔壁上開設有信號傳輸窗口，所述信號傳輸窗口的內側安裝有內無線通信模塊，所述所述信號傳輸窗口的外側安裝有與內無線通信模塊配合傳輸的外無線通信模塊；

所述內無線通信模塊與紅外探測器信號傳輸連接；所述外無線通信模塊與控制器信號傳輸連接。

通過使用本申請所述的測量組件，可以實現實時測量真空中薄膜生長的真實的溫度，并精度達到0.2攝氏度，比現有的溫感貼片的精度提高一個量級以上，其次真空腔內實現信號的短距離無線傳輸，為以后精確控制基板溫度奠定了基礎。

作為優選的，所述紅外探測器設置在旋轉傘架的上方。這樣的設計方便紅外探測器對準待測量基板。