[發明專利]一種基于紅外檢測技術的真空鍍膜基板溫度監控組件

在審

• 申請號: 202010685061.1
• 申請日: 2020-07-16
• 公開（公告）號: CN111647855A
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發明（設計）人: 謝斌;劉亮
• 申請（專利權）人: 合肥邦諾科技有限公司
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30;C23C14/54;G01J5/00
• 代理公司: 無錫堅恒專利代理事務所(普通合伙) 32348
• 代理人: 趙貴春

1.一種基于紅外檢測技術的真空鍍膜基板溫度監控組件，其特征在于：包括真空腔體，所述真空腔體底部設置有坩堝，所述坩堝上方設置有旋轉傘架，所述旋轉傘架上均布有多個基板；

所述坩堝的側上方設置有電子槍，所述電子槍加熱端朝向坩堝方向；

所述真空腔體內安裝有紅外探測器，所述真空腔體的腔壁上開設有信號傳輸窗口，所述信號傳輸窗口的內側安裝有內無線通信模塊，所述所述信號傳輸窗口的外側安裝有與內無線通信模塊配合傳輸的外無線通信模塊；

所述內無線通信模塊與紅外探測器信號傳輸連接；所述外無線通信模塊與控制器信號傳輸連接。

2.如權利要求1所述的基于紅外檢測技術的真空鍍膜基板溫度監控組件，其特征在于：所述紅外探測器設置在旋轉傘架的上方。

3.如權利要求2所述的基于紅外檢測技術的真空鍍膜基板溫度監控組件，其特征在于：所述真空腔體為一體成型的鋼制罐體，所述信號傳輸窗口為石英玻璃窗，所述石英玻璃窗外緣與鋼制罐體密封連接。

4.如權利要求3所述的基于紅外檢測技術的真空鍍膜基板溫度監控組件，其特征在于：所述信號傳輸窗口為外凸型窗口，所述內無線通信模塊設置在外凸型窗口內。

5.如權利要求4所述的基于紅外檢測技術的真空鍍膜基板溫度監控組件，其特征在于：所述內無線通信模塊設置有多個，均設置在外凸型窗口內。

6.如權利要求1所述的基于紅外檢測技術的真空鍍膜基板溫度監控組件，其特征在于：所述旋轉傘架上方設置有與旋轉傘架弧度相適配的弧形導軌，所述弧形導軌上方設置有驅動絲桿，所述驅動絲桿與驅動組件驅動連接；

所述弧形導軌上滑動配合有紅外探測器安裝塊，所述紅外探測器固定于紅外探測器安裝塊底部，所述驅動絲桿上螺紋連接有紅外探測器調節塊，所述紅外探測器安裝塊與紅外探測器調節塊之間通過彈簧連接。

7.如權利要求6所述的基于紅外檢測技術的真空鍍膜基板溫度監控組件，其特征在于：所述驅動絲桿兩端通過軸承與驅動絲桿安裝座連接，所述驅動絲桿安裝座連接固定于真空腔體內壁上；所述弧形導軌兩端與真空腔體內壁固定；

所述驅動絲桿一端部固定有內磁吸塊；靠近內磁吸塊的真空腔體壁上開設有磁驅動窗口，所述磁驅動窗口外部設置有與內磁吸塊配合吸附的外磁吸塊，所述外磁吸塊固定于外磁吸塊軸，所述外磁吸塊軸與驅動絲桿同軸設置；所述外磁吸塊軸與伺服電機驅動連接。

8.如權利要求7所述的基于紅外檢測技術的真空鍍膜基板溫度監控組件，其特征在于：所述真空腔體為一體成型的鋼制罐體，所述磁驅動窗口為石英玻璃窗，所述石英玻璃窗外緣與鋼制罐體密封連接；所述內磁吸塊外端面和外磁吸塊內端面均包覆有聚四氟乙烯滑動層，所述包覆有聚四氟乙烯滑動層的內磁吸塊外端面和外磁吸塊內端面緊貼磁驅動窗口設置。

9.如權利要求8所述的基于紅外檢測技術的真空鍍膜基板溫度監控組件，其特征在于：所述紅外探測器安裝塊上開設有容納弧形導軌滑動的紅外探測器安裝塊滑孔，所述紅外探測器安裝塊滑孔內套接有彈性乳膠內管，所述彈性乳膠內管與弧形導軌滑動配合。

10.如權利要求1所述的基于紅外檢測技術的真空鍍膜基板溫度監控組件，其特征在于：所述旋轉傘架下部設置有離子槍。