[發明專利]一種襯底及其加工方法、發光二極管及其制造方法

有效

• 申請號: 202010670939.4
• 申請日: 2020-07-13
• 公開（公告）號: CN111785814B
• 公開（公告）日: 2021-10-26
• 發明（設計）人: 李瑞評;曾柏翔;張佳浩;陳銘欣;曾建堯
• 申請（專利權）人: 福建晶安光電有限公司
• 主分類號: H01L33/00
• 分類號: H01L33/00;H01L33/02;H01L33/12
• 代理公司: 北京漢之知識產權代理事務所(普通合伙) 11479
• 代理人: 高園園

1.一種呈現不對稱面型的襯底的加工方法，其特征在于，包括如下步驟：

提供襯底，并確定所述襯底呈現的不對稱面型，所述襯底具有第一表面和第二表面；

確定所述不對稱面型的不對稱的取向，并測量所述襯底在所述不對稱的取向上的彎曲度；

在所述不對稱的取向上，沿掃描線對所述襯底進行激光掃描，在所述襯底中形成改質點以使所述襯底由不對稱面型收斂為對稱面型，具體包括以下步驟：

根據所述襯底在所述不對稱的取向上的彎曲度，確定所述襯底的目標彎曲度bow₀；

計算所述底在所述不對稱的取向上的彎曲度值所述目標彎曲度的彎曲度差值Δbow；

根據所述彎曲度差值Δbow確定對所述襯底進行激光掃描的掃描深度；

根據所述彎曲度差值Δbow調整不同取向上的掃描線之間的間距。

2.根據權利要求1所述的呈現不對稱面型的襯底的加工方法，其特征在于，還包括：調整同一個取向上的掃描線相互平行。

3.根據權利要求1所述的呈現不對稱面型的襯底的加工方法，其特征在于，還包括：調整同一個取向上的掃描線之間的間距相同，不同取向上的掃描線之間的間距不同。

4.根據權利要求1所述的呈現不對稱面型的襯底的加工方法，其特征在于，確定所述不對稱面型的不對稱的取向，并測量所述襯底在所述不對稱的取向上的彎曲度，還包括如下步驟：

確定所述不對稱面型的第一取向和第二取向，所述第一取向與所述第二取向為相交的不對稱的取向；

沿所述第一表面，測量所述襯底在所述第一取向上的第一彎曲度bow₁；

沿所述第一表面，測量所述襯底在所述第二取向上的第二彎曲度bow₂；

計算所述襯底在所述第一取向上的所述第一彎曲度與所述目標彎曲度的第一彎曲度差值Δbow₁，以及所述襯底在所述第二取向上的第二彎曲度差值Δbow₂。

5.根據權利要求4所述的呈現不對稱面型的襯底的加工方法，其特征在于，在所述不對稱的取向上，沿掃描線對所述襯底進行激光掃描，還包括以下步驟：

根據所述第一彎曲度差值Δbow₁及所述第二彎曲度差值Δbow₂確定對襯底進行激光掃描的掃描深度；

根據所述第一取向上的第一彎曲度差值Δbow₁調整所述第一取向上的掃描線之間的第一間距；

根據所述第二取向上的第二彎曲度差值Δbow₂調整所述第二取向上的掃描線之間的第二間距。

6.根據權利要求1或5所述的呈現不對稱面型的襯底的加工方法，其特征在于，對所述襯底進行激光掃描的掃描深度為所述襯底2%~98%的厚度范圍內的任一深度。

7.根據權利要求1所述的呈現不對稱面型的襯底的加工方法，其特征在于，所述襯底呈現的不對稱面型包括以下面型中的任意一種：

同心橢圓型，所述襯底在不對稱方向上彎曲方向相同但彎曲度不同；

穿透型，所述襯底在一個方向上彎曲，在與該方向不對稱的另一方向上不彎曲；

馬鞍型，所述襯底在不對稱的方向上彎曲方向相反。

8.根據權利要求1所述的呈現不對稱面型的襯底的加工方法，其特征在于，所述改質點沿所述不對稱的取向分布，并且在所述襯底內部形成網格狀分布。

9.根據權利要求1所述的呈現不對稱面型的襯底的加工方法，其特征在于，所述改質點包括形成在所述襯底中的空洞。

10.根據權利要求1所述的呈現不對稱面型的襯底的加工方法，其特征在于，所述改質點包括形成在所述襯底中的空洞，所述空洞在所述襯底中形成溝槽。