[發(fā)明專利]超大基板補(bǔ)晶設(shè)備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010655708.6 | 申請日: | 2020-07-09 |
| 公開(公告)號(hào): | CN111769055B | 公開(公告)日: | 2021-03-02 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 胡新榮 | 申請(專利權(quán))人: | 深圳新益昌科技股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/67 | 分類號(hào): | H01L21/67;H01L33/48;B05C5/02;B05C13/02 |
| 代理公司: | 深圳中一聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44414 | 代理人: | 周偉鋒 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 超大 基板補(bǔ)晶 設(shè)備 | ||
本申請?zhí)峁┝艘环N超大基板補(bǔ)晶設(shè)備,包括輸送平臺(tái),用于運(yùn)送超大基板依次通過點(diǎn)膠工位和填晶工位;點(diǎn)膠機(jī)構(gòu),設(shè)于點(diǎn)膠工位處,并位于輸送平臺(tái)的頂側(cè),用于在超大基板的缺晶位置補(bǔ)膠;填晶機(jī)構(gòu),設(shè)于填晶工位處,并位于輸送平臺(tái)的頂側(cè),用于抓取晶片和將晶片填補(bǔ)在超大基板的缺晶位置上;以及供晶機(jī)構(gòu),用于存放晶圓和將晶片運(yùn)送到填晶工位處。本申請?zhí)峁┑某蠡逖a(bǔ)晶設(shè)備通過輸送平臺(tái)運(yùn)送超大基板,通過點(diǎn)膠機(jī)構(gòu)對超大基板的缺晶位置進(jìn)行補(bǔ)膠,通過供晶機(jī)構(gòu)向填晶機(jī)構(gòu)提供晶片,通過填晶機(jī)構(gòu)抓取晶片并且將晶片填補(bǔ)在超大基板的缺晶位置上,從而獨(dú)立完成超大基板的補(bǔ)晶作業(yè),填補(bǔ)了目前市場上沒有專門針對超大基板的補(bǔ)晶設(shè)備的技術(shù)空白。
技術(shù)領(lǐng)域
本申請屬于LED封裝技術(shù)領(lǐng)域,更具體地說,是涉及一種超大基板補(bǔ)晶設(shè)備。
背景技術(shù)
LED封裝的過程一般需要進(jìn)行固晶工序,固晶又稱為Die Bond或裝片,即通過膠體(導(dǎo)電膠、絕緣膠或錫膏)把晶片粘結(jié)在基板的指定區(qū)域,形成熱通路或電通路,為后序的打線連接提供條件的工序。而補(bǔ)晶是指在基板的漏固晶區(qū)域進(jìn)行補(bǔ)膠和填補(bǔ)晶片的工序。
隨著LED顯示技術(shù)的發(fā)展和人們生活水平的提高,市場上大尺寸的LED顯示器越來越受到人們的青睞;而大尺寸LED顯示器的生產(chǎn)需要超大基板。目前,市場上并沒有專門針對超大基板進(jìn)行補(bǔ)晶的設(shè)備。
發(fā)明內(nèi)容
本申請的目的在于提供一種超大基板補(bǔ)晶設(shè)備,來填補(bǔ)目前市場上沒有專門針對超大基板的補(bǔ)晶設(shè)備的技術(shù)空白。
為實(shí)現(xiàn)上述目的,本申請采用的技術(shù)方案是一種超大基板補(bǔ)晶設(shè)備,包括:
輸送平臺(tái),用于運(yùn)送超大基板依次通過點(diǎn)膠工位和填晶工位;
點(diǎn)膠機(jī)構(gòu),設(shè)于所述點(diǎn)膠工位處,并位于所述輸送平臺(tái)的頂側(cè),用于在所述超大基板的缺晶位置補(bǔ)膠;
填晶機(jī)構(gòu),設(shè)于所述填晶工位處,并位于所述輸送平臺(tái)的頂側(cè),用于抓取晶片和將所述晶片填補(bǔ)在所述超大基板的缺晶位置上;以及
供晶機(jī)構(gòu),設(shè)于所述填晶機(jī)構(gòu)的旁側(cè),用于存放晶圓和將所述晶片運(yùn)送到填晶工位處。
在一個(gè)實(shí)施例中,所述填晶機(jī)構(gòu)包括:
吸嘴單元,用于吸附和釋放所述晶片;
第一直線模組,與所述吸嘴單元傳動(dòng)連接,用于驅(qū)使所述吸嘴單元在所述輸送平臺(tái)的頂側(cè)和所述供晶機(jī)構(gòu)的頂側(cè)之間作往復(fù)移動(dòng);
第一圖像采集組件,固定于所述供晶機(jī)構(gòu)的頂側(cè),用于識(shí)別所述晶片的位置;
第二圖像采集組件,用于協(xié)助所述吸嘴單元進(jìn)行精確填晶;以及
第二直線模組,與所述第二圖像采集組件傳動(dòng)連接,用于驅(qū)使所述第二圖像采集組件朝靠近和遠(yuǎn)離所述第一圖像采集組件的方向移動(dòng)。
在一個(gè)實(shí)施例中,所述吸嘴單元包括:
吸嘴組件;
交叉導(dǎo)軌,固定于所述第一直線模組上,并沿豎直方向延伸,所述吸嘴組件滑動(dòng)連接于所述交叉導(dǎo)軌上;
第一驅(qū)動(dòng)組件,設(shè)于所述第一直線模組上,并與所述吸嘴組件傳動(dòng)連接,用于驅(qū)使所述吸嘴組件沿所述交叉導(dǎo)軌滑動(dòng);以及
檢測組件,固定于所述第一直線模組上,并位于所述吸嘴組件的旁側(cè),用于檢測所述吸嘴組件的位置。
在一個(gè)實(shí)施例中,所述點(diǎn)膠機(jī)構(gòu)包括:
供膠單元,用于存放膠體;
點(diǎn)膠單元,用于沾取所述膠體并將所述膠體沾附在所述超大基板的缺晶位置上;以及
第三直線模組,與所述供膠單元和所述點(diǎn)膠單元傳動(dòng)連接,用于驅(qū)使所述供膠單元和所述點(diǎn)膠單元沿第一方向移動(dòng)。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
- 傳感設(shè)備、檢索設(shè)備和中繼設(shè)備
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