[發明專利]熱處理爐的腔室冷卻單元

在審

• 申請號: 202010655539.6
• 申請日: 2020-07-09
• 公開（公告）號: CN113776340A
• 公開（公告）日: 2021-12-10
• 發明（設計）人: 金珉哲;中西識
• 申請（專利權）人: 韓國光洋熱電系統有限公司
• 主分類號: F27D1/12
• 分類號: F27D1/12;F26B25/12;H01L21/67
• 代理公司: 北京青松知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11384
• 代理人: 鄭青松

1.一種熱處理爐的腔室冷卻單元，包括：

熱處理爐，其具有為了加熱或干燥基板而容納基板的腔室，所述腔室內安裝有由加熱器組成的發熱體，從而利用所述加熱器的熱對基板進行加熱或者干燥；

冷卻氣流通道，其沿著所述腔室的內外部盒體形成：以及

至少一個冷卻外套，其以垂直方向位于所述腔室的外側面，從而在所述腔室內側形成的所述冷卻氣流通道中形成冷卻氣流。

2.如權利要求1所述的熱處理爐的腔室冷卻單元，其中，沿著所述腔室的內外部盒體形成的冷卻氣流通道包括冷卻水管道。

3.如權利要求1所述的熱處理爐的腔室冷卻單元，其中，所述冷卻氣流通道包括：

第一通道部，其形成在所述腔室的外部盒體和與其相隔的內部盒體之間；以及

第二通道部，其將由所述冷卻外套形成的冷卻氣流導入所述第一通道部，并排出從所述第一通道部排出的流體。

4.如權利要求3所述的熱處理爐的腔室冷卻單元，其中，所述第一通道部分別以水平方向形成于所述腔室的外部盒體和與其相隔的內部盒體的上下部。

5.如權利要求3所述的熱處理爐的腔室冷卻單元，其中，所述第一通道部中，冷卻管以內置形式布置在所述腔室的外部盒體和與其相隔的內部盒體之間。

6.如權利要求3所述的熱處理爐的腔室冷卻單元，其中，所述第二通道部沿著所述腔室的外部盒體和與其相隔的內部盒體的垂直壁面以垂直方向形成。

7.如權利要求1所述的熱處理爐的腔室冷卻單元，其中，所述冷卻外套沿著所述腔室的垂直方向布置以形成所述腔室的外壁。

8.如權利要求1所述的熱處理爐的腔室冷卻單元，其中，所述冷卻外套沿著所述腔室的垂直方向布置以多個小區單位組裝并形成所述腔室的外壁。

9.如權利要求1所述的熱處理爐的腔室冷卻單元，其中，所述冷卻外套包括主機殼體，所述主機殼體容納供冷卻水從外部導入并通過的冷卻管，且內部具有形成冷卻氣流從而沿著所述腔室的冷卻氣流通道供氣的空間，

所述主機殼體的上部和下部分別具有用于導入外部氣體的外部氣體導入口和用于排出冷卻氣流的排氣口。