[發明專利]熱處理爐的腔室冷卻單元

在審

• 申請號: 202010655539.6
• 申請日: 2020-07-09
• 公開（公告）號: CN113776340A
• 公開（公告）日: 2021-12-10
• 發明（設計）人: 金珉哲;中西識
• 申請（專利權）人: 韓國光洋熱電系統有限公司
• 主分類號: F27D1/12
• 分類號: F27D1/12;F26B25/12;H01L21/67
• 代理公司: 北京青松知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11384
• 代理人: 鄭青松

本發明公開熱處理爐的腔室冷卻單元。本發明的熱處理爐的腔室冷卻單元包括：熱處理爐，其具有為了加熱或干燥基板而容納基板的腔室，所述腔室內安裝有由加熱器組成的發熱體，從而利用所述加熱器的熱對基板進行加熱或者干燥；冷卻氣流通道，其沿著所述腔室的內外部盒體形成：以及至少一個冷卻外套，其以垂直方向位于所述腔室的外側面，從而在所述腔室內側形成的所述冷卻氣流通道中形成冷卻氣流。

技術領域

本發明涉及一種有效地冷卻熱處理爐腔室的熱處理爐的腔室冷卻單元。

背景技術

有機發光顯示裝置及LCD玻璃基板等正在圖像屏幕、TV、手機、顯示器等各種圖像裝置中使用。有機發光顯示裝置及LCD玻璃基板等作為下一代顯示器之一正用于各種領域，近來，為了提高性能和收率，該領域平板顯示器制造技術的開發正在不斷地進行。

制造作為典型的平板顯示器的有機發光顯示裝置或LCD玻璃基板(以下稱'基板'或者'玻璃基板')的過程中，溫度控制和溫度均勻性是確保優質的基板質量和收率必不可少的。

例如，在有機發光顯示裝置的制造工藝中，由于在基板表面形成有機物層，從而可能會包含一定量的水分，因此需要進行用于蒸發水分的干燥工藝。

LCD玻璃基板制造工藝中，在基板表面上涂布感光膜之前進行清洗過程，而在清洗過程之后執行用于去除水分的加熱干燥工藝。

此外，將感光膜涂布到LCD玻璃基板上之后執行曝光及顯影工藝。該曝光及顯影工藝之前和之后依序執行預烘干(pre-baking)和后烘干(post-baking)工藝。

如此，基板制造工藝的大部分執行加熱及干燥工藝，以此來制造基板。在基板制造工藝中產生的水分可通過紫外線或放入包括加熱器(sheath heater)等發熱體的熱處理爐的腔室內經加熱干燥后去除。

韓國授權專利公報第10-2094763號中已提出與此有關的基板的熱處理爐。

但是，現有的熱處理爐雖然在腔室利用加熱器系統去除基板上殘留的水分，但是難以有效地控制腔室的高溫、因此提高批量生成的產品品質受到限制，不能充分滿足高性能的工藝能力。

此外，現有的熱處理爐為了通過縮短工藝時間來提高產品的生產效率，在腔室冷卻時，在迅速降低溫度的同時結構上滿足腔室的耐久性的方面存在局限性。

因此，當前需要一種性能得到改善的熱處理爐，其滿足包括平板顯示器基板的熱處理工藝趨勢的變化在內的要求性能升級的用戶要求。

【在先技術文獻】

【專利文獻】

專利文獻1.韓國授權專利公報第10-2094763號(公告日期2020年03月31日)

發明內容

【技術問題】

本發明要解決的一技術問題是，提供一種滿足基板的熱處理工藝性能的熱處理爐。

本發明要解決的一技術問題是，提供一種縮短熱處理基板的熱處理工藝時間且結構上能夠加強腔室耐久性的熱處理爐。

【技術方案】

根據本發明，所述目的可通過熱處理爐的腔室冷卻單元來實現，所述冷卻單元包括：熱處理爐，其具有為了加熱或干燥基板而容納基板的腔室，所述腔室內安裝有由加熱器組成的發熱體，從而利用所述加熱器的熱對基板進行加熱或者干燥；冷卻氣流通道，其沿著所述腔室的內外部盒體形成：以及至少一個冷卻外套，其以垂直方向位于所述腔室的外側面，從而在所述腔室內側形成的所述冷卻氣流通道中形成冷卻氣流。

根據本發明的實施例，沿著所述腔室的內外部盒體形成的冷卻氣流通道可包括冷卻水管道。