[發明專利]激光加工裝置

有效

• 申請號: 202010645562.7
• 申請日: 2020-07-07
• 公開（公告）號: CN112207463B
• 公開（公告）日: 2022-12-06
• 發明（設計）人: 植木篤;小林豊
• 申請（專利權）人: 株式會社迪思科
• 主分類號: B23K26/53
• 分類號: B23K26/53;B23K26/02;B23K26/046;B23K26/70
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;黃綸偉

1.一種激光加工裝置，其具有：

加工單元，其將利用聚光透鏡使對于被加工物具有透過性的波長的激光光線聚光而得的聚光點定位在被加工物的內部，通過該聚光點在被加工物的內部形成改質層；

卡盤工作臺，其具有對被加工物進行保持的保持面；

加工進給單元，其將該卡盤工作臺和該加工單元在與該保持面平行的方向上相對地進行加工進給；

升降構件，其使該聚光透鏡在與該保持面垂直的方向上移動；以及

控制單元，

該控制單元包含：

設定部，其設定規定的高度位置的距離下表面的高度值，使得在被加工物的內部的從下表面起的該規定的高度位置形成改質層；以及

計算部，其使用該設定部所設定的該高度值以及包含常數a和常數b的以下的(1)式來計算該聚光透鏡的高度位置Defocus，

Defocus＝(被加工物的厚度-高度值-b)/a··(1)

該計算部一邊使該聚光透鏡的聚光點從被加工物的上表面階段性地下降，一邊將該聚光透鏡定位在高度不同的至少2個點處，在被加工物中形成深度不同的至少2個改質層，

在設從改質層到被加工物的上表面的距離Depth為縱軸、設該聚光透鏡的高度位置Defocus為橫軸的坐標系中，繪制與該至少2個改質層對應的點，

求出通過與各改質層對應的點的近似直線的以下的(2)式所示的一次函數中的作為斜率的常數a和作為截距的常數b，

Depth＝a×Defocus+b··(2)

通過將該(2)式應用在與從改質層到被加工物的上表面的距離Depth相關的以下的(3)式中，求出所述(1)式，

Depth＝被加工物的厚度-高度值··(3)

通過所述升降構件使該聚光透鏡移動到由所述(1)式求出的Defocus的位置，從而在該設定部所設定的從被加工物的下表面起的高度位置形成改質層。

2.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其中，

所述計算部根據從改質層到被加工物的上表面的距離Depth來切換在所述(1)式中使用的該常數a和該常數b。