[發明專利]一種漸進式烘烤加熱裝置

在審

• 申請號: 202010641505.1
• 申請日: 2020-07-06
• 公開（公告）號: CN111524842A
• 公開（公告）日: 2020-08-11
• 發明（設計）人: 耿克濤;劉金
• 申請（專利權）人: 寧波潤華全芯微電子設備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 寧波高新區永創智誠專利代理事務所(普通合伙) 33264
• 代理人: 胡小永

1.一種漸進式烘烤加熱裝置，其特征在于：包括加熱機構（1）、驅動機構（7）、提升機構、托板（17）、頂針（18），所述托板（17）連接頂針（18），所述頂針（18）伸入加熱機構（1）中，所述驅動機構（7）用于驅動所述提升機構，所述提升機構驅動托板（17）作漸進式升降運動，所述提升機構包括側板（10），所述側板（10）上端固定連接有固定座（12），所述固定座（12）上轉動連接有帶輪（13），側板（10）上設置有直線導軌（11），所述直線導軌（11）上滑動連接有滑動座（15），所述驅動機構（7）固定安裝在滑動座（15）上，驅動機構（7）上固定連接有轉筒，所述轉筒上連接有皮帶（14），所述皮帶（14）繞設在帶輪（13）上，所述滑動座（15）上固定連接有托板（17），托板（17）位于加熱機構（1）的下方。

2.根據權利要求1所述的一種漸進式烘烤加熱裝置，其特征在于：所述加熱機構（1）為加熱盤（5）。

3.根據權利要求2所述的一種漸進式烘烤加熱裝置，其特征在于：所述驅動機構（7）為伺服電機（16）。

4.根據權利要求3所述的一種漸進式烘烤加熱裝置，其特征在于：所述伺服電機（16）的輸出軸上固定連接有轉筒。

5.根據權利要求2所述的一種漸進式烘烤加熱裝置，其特征在于：所述加熱盤（5）上方設置有盤蓋（3），所述盤蓋（3）轉動連接在底板（9）上，所述盤蓋（3）由氣缸（4）驅動轉動。

6.根據權利要求5所述的一種漸進式烘烤加熱裝置，其特征在于：所述盤蓋（3）上設置有盤蓋板（2）。

7.根據權利要求1所述的一種漸進式烘烤加熱裝置，其特征在于：所述固定座（12）上設置有帶座（19），所述皮帶（14）從帶座（19）上的一對穿帶孔中穿過。

8.根據權利要求5所述的一種漸進式烘烤加熱裝置，其特征在于：所述底板（9）上設置有溫控器（6），所述溫控器（6）與加熱盤（5）通過電路連接。

9.根據權利要求8所述的一種漸進式烘烤加熱裝置，其特征在于：所述底板（9）上設置還有控制器（8），所述控制器（8）通過電路與伺服電機（16）相連。