[發(fā)明專利]一種晶圓清洗設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010637937.5
• 申請(qǐng)日: 2020-07-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111968930A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-11-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔣錫兵;張為強(qiáng);尹影;孫銘澤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京爍科精微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京三聚陽(yáng)光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11250
• 代理人: 劉林濤

本發(fā)明提供了一種晶圓清洗設(shè)備，屬于晶圓清洗潔凈系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域，包括：清洗腔室，所述清洗腔室上連接有排風(fēng)管道，所述清洗腔室適于與送風(fēng)裝置連接；執(zhí)行部件，設(shè)置在排風(fēng)管道上，所述執(zhí)行部件適于調(diào)節(jié)排風(fēng)管道中排風(fēng)量的大??；第一壓差檢測(cè)裝置，設(shè)在排風(fēng)管道上，位于所述執(zhí)行部件與清洗腔室之間；控制器，分別與執(zhí)行部件和第一壓差檢測(cè)裝置通訊連接；本發(fā)明提供的晶圓清洗設(shè)備，第一壓差檢測(cè)裝置實(shí)時(shí)對(duì)清洗腔室和排風(fēng)管道之間壓差進(jìn)行檢測(cè)，并將檢測(cè)到的數(shù)據(jù)傳輸至控制器，控制器對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，判斷此時(shí)壓差是否滿足預(yù)設(shè)壓差值，若不滿足，控制器通過(guò)控制執(zhí)行部件調(diào)節(jié)排風(fēng)量的大小，進(jìn)而保證清洗腔室對(duì)排風(fēng)管道的壓差處于穩(wěn)定的狀態(tài)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶圓清洗潔凈系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種晶圓清洗設(shè)備。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體集成電路(Integrated circuit，IC)制造技術(shù)的不斷發(fā)展，最小線寬越來(lái)越小，互連層數(shù)越來(lái)越多，晶圓直徑不斷增大。要實(shí)現(xiàn)多層布線，晶圓表面必須具有極高的平整度、光滑度和潔凈度，現(xiàn)有技術(shù)一般采用化學(xué)機(jī)械拋光(Chemical mechanicalpolishing，CMP)對(duì)晶圓進(jìn)行全局平坦化處理。

在經(jīng)過(guò)CMP工藝后，還需要對(duì)晶圓進(jìn)行清洗，清洗腔室的潔凈度會(huì)影響晶圓的顆粒度。清洗腔室一般采用潔凈空氣經(jīng)過(guò)空氣過(guò)濾器進(jìn)入清洗腔室，然后進(jìn)入排風(fēng)管道，使清洗腔室室內(nèi)對(duì)排風(fēng)管道形成壓差，清洗出來(lái)的顆粒通過(guò)風(fēng)壓進(jìn)入排風(fēng)管道，進(jìn)而保證清洗腔室的潔凈度，排風(fēng)管道與廠務(wù)排風(fēng)系統(tǒng)直連，而廠務(wù)排風(fēng)系統(tǒng)與廠區(qū)內(nèi)多臺(tái)設(shè)備連接，且廠務(wù)排風(fēng)的壓力也可能不穩(wěn)定，會(huì)使清洗腔室的排風(fēng)壓力出現(xiàn)波動(dòng)，嚴(yán)重的會(huì)在腔室內(nèi)形成紊流，造成清洗腔室環(huán)境變差，影響晶圓清洗效果。

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明提供了一種便于調(diào)節(jié)壓差的晶圓清洗設(shè)備。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種晶圓清洗設(shè)備，包括：

清洗腔室，所述清洗腔室上連接有排風(fēng)管道，所述清洗腔室適于與送風(fēng)裝置連接；

執(zhí)行部件，設(shè)置在排風(fēng)管道上，所述執(zhí)行部件適于調(diào)節(jié)排風(fēng)管道中排風(fēng)量的大小；

第一壓差檢測(cè)裝置，設(shè)在排風(fēng)管道上，位于所述執(zhí)行部件與清洗腔室之間；

控制器，分別與執(zhí)行部件和第一壓差檢測(cè)裝置通訊連接。

作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案，還包括有數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，分別與第一壓差檢測(cè)裝置、控制器通訊連接。

作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案，所述執(zhí)行部件為排風(fēng)扇，所述排風(fēng)扇上設(shè)有轉(zhuǎn)速控制系統(tǒng)，所述轉(zhuǎn)速控制系統(tǒng)與控制器通訊連接。

作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案，所述執(zhí)行部件為閥門，所述閥門上具有驅(qū)動(dòng)裝置，所述驅(qū)動(dòng)裝置適于調(diào)節(jié)閥門的開(kāi)度；

所述驅(qū)動(dòng)裝置上設(shè)有信號(hào)接收器，所述信號(hào)接收器與控制器通訊連接。

作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案，所述清洗腔室具有若干個(gè)，多個(gè)所述清洗腔室彼此并聯(lián)設(shè)置，且每個(gè)所述清洗腔室分別設(shè)置有排風(fēng)管道；

所述排風(fēng)管道適于與廠務(wù)排風(fēng)系統(tǒng)連接，所述廠務(wù)排風(fēng)系統(tǒng)適于調(diào)節(jié)廠區(qū)內(nèi)排風(fēng)管道的排風(fēng)量。

作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案，還包括有第二壓差檢測(cè)裝置，設(shè)在排風(fēng)管道上，所述第二壓差檢測(cè)裝置位于執(zhí)行部件與廠務(wù)排風(fēng)系統(tǒng)之間。

作為一種優(yōu)選的技術(shù)方案，所述送風(fēng)裝置上設(shè)置有空氣過(guò)濾器。

本發(fā)明技術(shù)方案，具有如下優(yōu)點(diǎn)：