[發明專利]一種酸性含銅蝕刻廢液處理工藝

在審

• 申請號: 202010631968.X
• 申請日: 2020-07-03
• 公開（公告）號: CN111925026A
• 公開（公告）日: 2020-11-13
• 發明（設計）人: 張建平;邱躍芹;吳芹;萬海濤
• 申請（專利權）人: 昆山中環實業有限公司
• 主分類號: C02F9/06
• 分類號: C02F9/06;C02F101/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種酸性含銅蝕刻廢液處理工藝，其特征在于包括以下步驟：

(1)提供pH為8～10的堿性溶液，并緩慢加入酸性含銅蝕刻廢液中，在溫度為30～40℃條件下攪拌1-2h，調節入酸性含銅蝕刻廢液的pH為8～10后過濾除雜；

(2)提銅工藝：將步驟(1)中調節pH后的溶液置于電解池中，加入電流密度為200A/m²-300A/m²，控制溫度為50-60℃條件下進行一次電解，待電解液中銅離子的濃度小于10g/L時，進行二次電解，二次電解的電流密度為100A/m²-200A/m²，二次電解的溫度為70-80℃，當電解液中銅離子的溶度小于2g/L時，電解過程結束并回收電解出的單質銅和清液；

(3)調配工藝：向步驟(2)回收的清液中加入鹽酸、氯化銨和銅離子，調節銅離子的濃度為20-30g/L，當清液中的氫離子、銨根離子和氯離子濃度與蝕刻子夜的濃度一致后，得到蝕刻子液并使用。

2.根據權利要求1所述的一種酸性含銅蝕刻廢液處理工藝，其特征在于：所述步驟(1)中采用濃度為0.5-3mol/L的NaHCO₃堿性溶液調節酸性含銅蝕刻廢液的pH。

3.根據權利要求1所述的一種酸性含銅蝕刻廢液處理工藝，其特征在于：采用離心過濾機進行離心過濾，濾布的目數為2000目到5000目。

4.根據權利要求1所述的一種酸性含銅蝕刻廢液處理工藝，其特征在于：所述步驟(2)中電解池分為陽極區與陰極區，所述陽極區與陰極區之間設置有聚合物隔膜。

5.根據權利要求1所述的一種酸性含銅蝕刻廢液處理工藝，其特征在于：所述步驟(2)中電解池陽極區的陰極為純銅制品。

6.根據權利要求1所述的一種酸性含銅蝕刻廢液處理工藝，其特征在于：所述步驟(2)中電解液包括硫酸溶液和硫酸銅溶液中的任意一種或兩種的組合。

7.根據權利要求1所述的一種酸性含銅蝕刻液處理工藝，其特征在于：所述步驟(2)中陽極區的陽極為以銥釕鍍層鈦板。

8.根據權利要求1所述的一種酸性含銅蝕刻廢液處理工藝，其特征在于：所述步驟(3)中所述蝕刻子液中氯離子的濃度為200g/L～240g/L。

9.根據權利要求1所述的一種酸性含銅蝕刻廢液處理工藝，其特征在于：所述步驟(3)中銨根離子的濃度為100g/L～300g/L。

10.根據權利要求1所述的一種酸性含銅蝕刻廢液處理工藝，其特征在于：所述步驟(3)中采用1mol/L～5mol/L鹽酸調節蝕刻子液的酸度。