[發明專利]線路板制作方法及線路板

在審

• 申請號: 202010630414.8
• 申請日: 2020-07-03
• 公開（公告）號: CN113891566A
• 公開（公告）日: 2022-01-04
• 發明（設計）人: 張禮冠;許建勇
• 申請（專利權）人: 南昌歐菲顯示科技有限公司
• 主分類號: H05K3/06
• 分類號: H05K3/06;H05K1/11
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 鄧云鵬

本申請涉及一種線路板制作方法及線路板。方法包括：提供底板，在底板上形成金屬層，在金屬層遠離所述底板的一側覆蓋干膜，利用光罩對干膜進行曝光顯影，蝕刻金屬層中未被干膜覆蓋的部分，形成金屬線路，光罩為線路邊緣部分遮射式光罩。上述線路板制作方法及線路板，因光罩邊緣只有部分光線能穿過，從而使被光罩邊緣遮住的干膜接收到的光線變弱，干膜顯影時只有表層曝光的被顯影，干膜底部的寬度大于頂部寬度，可形成平滑的干膜坡度，被蝕刻后的金屬線路也會有平滑坡度，底部的寬度大于頂部的寬度，避免了金屬線路出現斷差現象，從而提高了線路板的工作可靠性。

技術領域

本申請涉及器件制造技術領域，特別是涉及一種線路板制作方法及線路板。

背景技術

線路板是電子屏幕中常用的傳感器件之一，在制作線路板時，通常采用曝光機產生平行紫外光，用光罩遮擋住光線，紫外線穿透光罩照射到干膜層，使干膜層上形成與光罩圖形相應的圖形，然后處理掉沒有干膜保護的金屬結構，從而得到完整的金屬線路。

然而，傳統的光罩結構均一，在使用時，會使干膜層顯影有斷差，金屬線路被蝕刻時會從斷差處側面蝕刻，從而影響金屬線路的工作性能，造成線路板可靠性低。

發明內容

基于此，有必要針對傳統的線路板可靠性低的問題，提供一種線路板制作方法及線路板。

一種線路板制作方法，包括以下步驟：

提供底板，在所述底板上形成金屬層；

在所述金屬層遠離所述底板的一側覆蓋干膜；

利用光罩對所述干膜進行曝光顯影；

蝕刻所述金屬層中未被所述干膜覆蓋的部分，形成金屬線路；其中，所述光罩包括遮光結構和鏤空區域，所述遮光結構靠近所述鏤空區域的邊緣區域為部分遮光結構，所述遮光結構遠離所述鏤空區域的中間區域為全遮光結構。

一種線路板，包括底板和通過上述的方法提供的金屬線路，所述金屬線路設置在所述底板上。

上述線路板制作方法及線路板，光罩的全遮光結構不允許光線通過，光罩的部分遮光結構允許光線部分通過，當光罩應用在線路板制作上時，因光罩邊緣只有部分光線能穿過，從而使被光罩邊緣遮住的干膜接收到的光線變弱，干膜顯影時只有表層曝光的被顯影，干膜底部的寬度大于頂部寬度，可形成平滑的干膜坡度，使被蝕刻后的金屬線路也會有平滑坡度，金屬線路底部的寬度大于頂部的寬度，避免了金屬線路出現斷差現象，提高了金屬線路的工作性能，從而提高了線路板的工作可靠性。

在其中一個實施例中，所述底板包括層疊設置的基板和導電膜，所述提供底板，在所述底板上形成金屬層，包括：在所述導電膜遠離所述基板的一側形成金屬層。基板用于作為導電膜的載體，導電膜用于感應用戶的觸控操作，得到觸控的位置，實現觸控功能。

在其中一個實施例中，所述利用光罩對所述干膜進行曝光顯影，包括：將曝光機產生的光線透過光罩照射到所述干膜上；利用顯影液清除所述干膜中與所述光罩的透光區域對應的部分，使所述干膜保留與所述光罩的圖形相對應的圖案。該方法實施難度小，得到的干膜質量好。

在其中一個實施例中，所述蝕刻所述金屬層中未被所述干膜覆蓋的部分，形成金屬線路包括：采用蝕刻液蝕刻掉所述金屬層中沒有被所述干膜覆蓋的部分，形成金屬線路。該方法簡單易行，工作效率高，得到的金屬線路質量好。

在其中一個實施例中，所述部分遮光結構的寬度范圍為1-100μm。在該范圍內的寬度下制成的金屬線路可以應用于大部分的觸摸屏傳感裝置，使用范圍廣。

在其中一個實施例中，所述部分遮光結構的各個區域的寬度相等。部分遮光結構的各個區域的寬度相等可以使蝕刻得到的金屬線路保持較好的一致性，從而提高金屬線路的工作性能。