[發明專利]一種微米級定點定位納米材料轉移方法

在審

• 申請號: 202010628543.3
• 申請日: 2020-07-01
• 公開（公告）號: CN111717887A
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發明（設計）人: 劉金養;楊順航;朱星星;蔡宇珊;王夢龍;黃志高;賴發春
• 申請（專利權）人: 福建師范大學
• 主分類號: B82B3/00
• 分類號: B82B3/00;B82Y40/00
• 代理公司: 福州君誠知識產權代理有限公司 35211
• 代理人: 戴雨君

本發明公開一種微米級定點定位納米材料轉移方法，屬于低維納米材料領域，利用顯微鏡高空間分辨率的優點，結合三維光學移動平臺，應用有機聚合物作為待轉移納米材料的載體，在顯微鏡下精確地把待轉移材料定點定位轉移至目標，構建各種納米結構，應用于光電探測等器件。該方法能夠精確地定點定位形成各種納米結構，可構建各種微納器件，有廣闊的應用前景。

技術領域

本發明涉及納米材料技術領域，尤其涉及一種微米級定點定位納米材料轉移方法。

背景技術

在構筑新型功能材料納米器件中，通過兩種納米材料結合形成異質結構是一種常見的方法。然而，隨著功能材料尺寸的減小，構建異質結構變得更加困難。目前，主要有“自下而上”和“自上而下”兩種路徑來構建異質結構。“自下而上”的途徑主要有化學氣相沉積法、溶液合成法等，但是這些方法操作復雜、容易受外界環境影響，所獲得的異質結構難于精確控制等不足，影響了其進一步推廣應用。開發能夠大規模、普遍性、可精確控制的構筑異質結構的技術非常迫切。因此，先生長功能納米材料，再通過精確轉移的技術，構筑異質結構的方法具有廣闊的前景（即“自上而下”方法）。

發明內容

本發明的目的在于提供一種微米級定點定位納米材料轉移方法。

本發明采用的技術方案是：

一種微米級定點定位納米材料轉移方法，其包括以下步驟;

步驟1，待轉移材料轉移至聚合物載體：通過勻膠機在生長待轉移材料的襯底表面勻上聚合物膠，用表面加熱器烘干；通過技術手段去掉襯底，把含有待轉移材料的聚合物薄膜載體分離開來并轉移至多孔網表面。

步驟2，精確定位目標位置：將目標襯底置于含小型加熱平臺的三維光學移動平臺上，并把該平臺作為光學顯微鏡載物臺，通過顯微鏡結合三維光學移動平臺尋找到目標位置。

步驟3，待轉移材料定點定位轉移：把含有待轉移材料的多孔網固定在支架上并置于目標襯底上方，通過三維光學移動平臺移動待轉移材料，結合光學顯微鏡把待轉移材料置于目標襯底正上方；通過三維光學移動平臺向上移動使得待轉移材料和目標襯底緊密接觸，并用通過小型加熱平臺加熱，重新形成聚合物的玻璃化狀態后把含有待轉移材料的聚合物轉移至目標襯底的目標位置上。

步驟4，獲得定點定位轉移的樣品：含有待轉移材料的目標襯底放置于顯影劑中，去除聚合物，即可得到點定位轉移的樣品。

進一步地，步驟1中選用聚甲基丙烯酸甲酯作為聚合物載體。

進一步地，步驟1中應用刻蝕法或超聲剝離法去掉襯底。

進一步地，小型加熱平臺在180℃下加熱10分鐘。

進一步地，步驟2中的三維光學移動平臺包含轉動平臺，通過轉動平臺，目標位置可任意轉動，與待轉移材料形成合適的角度。

進一步地，步驟4中依據聚合物的不同選用不同的顯影劑顯影去除聚合物載體。

本發明采用以上技術方案，利用顯微鏡高空間分辨率的優點，結合三維光學移動平臺，應用有機聚合物作為待轉移納米材料的載體，在顯微鏡下精確地把待轉移材料定點定位轉移至目標，構建各種納米結構，應用于光電探測等設備。應用該技術，我們已成功構建了CdS/Sb₂Se₃納米帶異質結。該技術能夠精確地定點定位形成各種納米結構，可構建各種微納器件，有廣闊的應用潛力。

附圖說明

以下結合附圖和具體實施方式對本發明做進一步詳細說明；

圖1微米級定點定位納米材料轉移平臺的示意圖；

圖2在CdS納米帶上轉移Sb2Se3納米帶前的光學顯微鏡照片；

圖3在CdS納米帶上轉移Sb2Se3納米帶后的光學顯微鏡照片。