[發明專利]物料調度方法

在審

• 申請號: 202010628425.2
• 申請日: 2020-07-02
• 公開（公告）號: CN111882168A
• 公開（公告）日: 2020-11-03
• 發明（設計）人: 吳潔
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: G06Q10/06
• 分類號: G06Q10/06;G06Q50/04;H01L21/67
• 代理公司: 北京思創畢升專利事務所 11218
• 代理人: 孫向民;廉莉莉

1.一種物料調度方法，用于半導體設備，所述半導體設備包括多個工藝模塊，每個所述工藝模塊包括至少一個工藝腔室，其特征在于，所述方法包括：

根據所有所述工藝模塊中所述工藝腔室的當前屬性對物料隊列中的物料依次進行分組，并標記每個所述物料所要進入的工藝模塊標識，其中，所述當前屬性包括可用和禁用，分組形成的每個物料組中的物料個數對應所標記工藝模塊中所述當前屬性為可用的工藝腔室的個數；

根據分組結果將被標記為同一工藝模塊標識的物料同時傳入對應工藝模塊中當前屬性為可用的工藝腔室中；

在傳入過程中，實時監測每個所述工藝腔室的占用狀態變化，根據每個所述工藝腔室的當前占用狀態對未被傳入所述工藝腔室的物料重新分組并重新標記所要進入的工藝模塊標識，重復執行所述根據分組結果將所述物料傳入所標記工藝模塊中當前屬性為可用的工藝腔室中進行加工的操作，直至所述物料隊列中的所有物料均被傳入所述工藝腔室。

2.根據權利要求1所述的物料調度方法，其特征在于，在所述根據所有所述工藝模塊中所述工藝腔室的當前屬性對物料隊列中的物料依次進行分組之前，還包括：

接收輸入的配置信息，并根據所述配置信息對每個所述工藝腔室的屬性進行配置，其中，不同所述工藝模塊的不同所述工藝腔室的屬性互不沖突。

3.根據權利要求1所述的物料調度方法，其特征在于，所述根據所有所述工藝模塊中所述工藝腔室的當前屬性對物料隊列中的物料依次進行分組，并標記每個所述物料所要進入的工藝模塊標識，包括：

從所述物料隊列中選擇一個物料作為當前物料；

根據所有所述工藝模塊中每個所述工藝腔室的當前屬性，標記所述當前物料所要進入的工藝模塊標識；

根據所標記工藝模塊中當前屬性為可用的工藝腔室的數量，確定所述所標記工藝模塊能夠同時加工的物料個數；

基于所述所標記工藝模塊能夠同時加工的物料個數對包含所述當前物料的物料進行分組。

4.根據權利要求3所述的物料調度方法，其特征在于，所述基于所述所標記工藝模塊能夠同時加工的物料個數對包含所述當前物料的物料進行分組，包括：

若所述所標記工藝模塊中當前屬性為可用的工藝腔室的數量為一個，則將所述當前物料單獨成組，并更新所述物料隊列；

若所述所標記工藝模塊中當前屬性為可用的工藝腔室的數量為多個，則根據所述當前物料所在的位置，將其他物料與所述當前物料成組，并為所述其他物料標記對應的工藝模塊標識，同時更新所述物料隊列。

5.根據權利要求4所述的物料調度方法，其特征在于，所述根據所述當前物料所在的位置，將其他物料與所述當前物料成組，包括：

判斷所述當前物料是否已經離開源端存放位置，若是，則遍歷所述物料隊列，將與所述當前物料位于傳輸路徑中相同位置的其他物料與所述當前物料成組，否則，從所述開源端存放位置中獲取其他物料與所述當前物料成組。

6.根據權利要求3所述的物料調度方法，其特征在于，所述根據所有所述工藝模塊的每個工藝腔室的當前屬性，標記當前物料所要進入的工藝模塊標識，包括：

判斷所述當前物料是否已經標記有工藝模塊標識；

若未標記有所述工藝模塊標識，則為所述當前物料標記加工物料時長最短的工藝模塊標識。

7.根據權利要求1所述的物料調度方法，其特征在于，所述占用狀態包括空閑和非空閑，所述根據每個所述工藝腔室的當前占用狀態對未被加工的物料重新分組并重新標記所要進入的工藝模塊標識包括：

判斷所標記的工藝模塊中是否存在當前占用狀態為空閑的工藝腔室，若存在，則直接創建將所述當前物料傳入標記的工藝模塊的動作，若不存在，則將其他包括當前屬性為可用的工藝腔室的工藝模塊標識標記給所述當前物料，并更新所述當前物料的標記。