[發明專利]一種LCD平面靶材側邊拋光工藝在審
| 申請號： | 202010626350.4 | 申請日： | 2020-07-01 |
| 公開（公告）號： | CN111775030A | 公開（公告）日： | 2020-10-16 |
| 發明（設計）人： | 姚力軍;竇興賢;王學澤;王青松;吳先幫 | 申請（專利權）人： | 合肥江豐電子材料有限公司 |
| 主分類號： | B24B29/02 | 分類號： | B24B29/02;B24B27/033 |
| 代理公司： | 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659 | 代理人： | 王巖 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 lcd 平面 側邊 拋光 工藝 | ||
【權利要求書】：
1.一種LCD平面靶材側邊拋光工藝，其特征在于，所述拋光工藝為，將IPA液涂于百潔布上，對LCD平面靶材的側邊進行拋光。
2.根據權利要求1所述的拋光工藝，其特征在于，所述IPA液的用量為80～100mL。
3.根據權利要求1或2所述的拋光工藝，其特征在于，所述IPA液分批次涂于百潔布使用；
優選地，所述IPA液分三次涂于百潔布使用。
4.根據權利要求1-3之一所述的拋光工藝，其特征在于，所述百潔布的材質為氧化鋁。
5.根據權利要求1-4之一所述的拋光工藝，其特征在于，所述百潔布的型號為800#。
6.根據權利要求1-5之一所述的拋光工藝，其特征在于，所述拋光的時間為0.8～1h；所述拋光的溫度為30℃以下。
7.根據權利要求1-6之一所述的拋光工藝，其特征在于，所述LCD靶材材質為鋁或銅。
8.根據權利要求1-7之一所述的拋光工藝，其特征在于，所述LCD靶材為分體型LCD平面靶材。
9.根據權利要求1-8之一所述的拋光工藝，其特征在于，所述LCD平面靶材為G8.5、G10.5或G11分體型LCD平面靶材中的一種。
10.根據權利要求1-9之一所述的拋光工藝，其特征在于，所述拋光工藝為，將IPA液涂于分三次涂于百潔布，分別對LCD平面靶材的側邊進行0.8～1h拋光；其中，IPA液的總用量為80～100mL。
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