[發明專利]一種半導體元件封裝用多軸自動抓料設備有效
| 申請號: | 202010626034.7 | 申請日: | 2020-07-01 |
| 公開(公告)號: | CN111640701B | 公開(公告)日: | 2023-03-21 |
| 發明(設計)人: | 蔣振榮;周海生 | 申請(專利權)人: | 安徽富信半導體科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683;H01L21/677 |
| 代理公司: | 合肥正則元起專利代理事務所(普通合伙) 34160 | 代理人: | 韓立峰 |
| 地址: | 243000 安徽省馬鞍山*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 半導體 元件 封裝 用多軸 自動 設備 | ||
1.一種半導體元件封裝用多軸自動抓料設備,其特征在于,包括兩個支撐側架(1),兩個所述支撐側架(1)的頂部通過螺栓固定安裝有第一安裝板(2),所述第一安裝板(2)的一側活動安裝有第一移動座(3),所述第一移動座(3)遠離第一安裝板(2)的一端通過螺栓固定安裝有第二安裝板(4),所述第二安裝板(4)的一側活動安裝有第二移動座(5),所述第二移動座(5)遠離第二安裝板(4)的一端固定安裝有氣缸安裝座(8),所述氣缸安裝座(8)上沿豎直方向固定安裝有第三氣缸(10),所述第三氣缸(10)的輸出桿底端固定安裝有抓料機構(9);
所述第一安裝板(2)的一側固定安裝有第一氣缸(6),所述第一氣缸(6)的輸出桿端部與第一移動座(3)固定連接,所述第二安裝板(4)的一側固定安裝有第二氣缸(7),所述第二氣缸(7)的輸出桿與第二移動座(5)固定連接;
所述抓料機構(9)包括連接臂(12),所述連接臂(12)的頂部與第三氣缸(10)的輸出桿底端固定連接,所述連接臂(12)的底端通過螺栓固定安裝有固定板(13),所述固定板(13)的一側表面活動安裝有若干個豎桿(17),所述豎桿(17)的底端固定安裝有安裝桿(18),所述安裝桿(18)的一側固定安裝有吸嘴安裝座(15),所述吸嘴安裝座(15)上固定安裝有吸嘴(16);
所述豎桿(17)的一側沿豎直方向活動安裝有升降板(14),所述固定板(13)的一側固定安裝有第一電機(19),所述第一電機(19)的輸出軸端固定安裝有第一皮帶輪(22),所述固定板(13)的一側還固定安裝有兩個絲杠安裝板(21),兩個絲杠安裝板(21)上豎直設置有絲杠(20),所述絲杠(20)通過軸承與絲杠安裝板(21)轉動連接,所述絲杠(20)的頂端固定安裝有第二皮帶輪(23),所述第一皮帶輪(22)、第二皮帶輪(23)之間通過皮帶傳動連接,所述絲杠(20)上螺紋連接有連接螺母(24),所述連接螺母(24)與升降板(14)的一側固定連接,若干個所述豎桿(17)的一側表面中部均轉動安裝有滑輪(25),所述升降板(14)上開設有若干個通槽(141),若干個所述通槽(141)與若干個豎桿(17)一一對應,且所述滑輪(25)滑動安裝在對應的通槽(141)內;
若干個所述豎桿(17)在固定板(13)的一側表面呈等間距線性陣列分布,所述豎桿(17)的一側固定安裝有滑塊,所述固定板(13)的一側橫向固定有滑軌,所述豎桿(17)通過滑塊、滑軌與固定板(13)滑動連接;
所述固定板(13)的一側表面豎直固定有兩個滑軌,所述升降板(14)的一側表面的兩端均固定安裝有兩個滑塊,所述升降板(14)通過滑塊、滑軌與固定板(13)滑動連接;
2.根據權利要求1所述的一種半導體元件封裝用多軸自動抓料設備,其特征在于,所述第一安裝板(2)的一側固定安裝有兩個滑軌,所述第一移動座(3)的一側固定安裝有兩個滑塊,所述第一移動座(3)通過滑塊、滑軌與第一安裝板(2)滑動連接。
3.根據權利要求1所述的一種半導體元件封裝用多軸自動抓料設備,其特征在于,所述第二安裝板(4)的一側固定安裝有兩個滑軌,所述第二移動座(5)的一側固定安裝有兩個滑塊,所述第二移動座(5)通過滑塊、滑軌與第二安裝板(4)滑動連接。
4.根據權利要求1所述的一種半導體元件封裝用多軸自動抓料設備,其特征在于,所述氣缸安裝座(8)上設置設置有兩個導向桿(11),兩個所述導向桿(11)分別位于第三氣缸(10)的兩側,所述導向桿(11)貫穿氣缸安裝座(8),且所述導向桿(11)與氣缸安裝座(8)滑動配合,所述導向桿(11)的底端與抓料機構(9)固定連接。
5.根據權利要求1所述的一種半導體元件封裝用多軸自動抓料設備,其特征在于,該多軸自動抓料設備的工作步驟為:
步驟一、啟動第一氣缸(6),第一氣缸(6)帶動第一移動座(3)在第一安裝板(2)上滑動,并帶動第二安裝板(4)移動,并帶動抓料機構(9)沿平行第一安裝板(2)的方向移動,啟動第二氣缸(7),第二氣缸(7)帶動第二移動座(5)在第二安裝板(4)的一側滑動,并帶動抓料機構(9)沿垂直第一安裝板(2)的方向移動,使抓料機構(9)移動到半導體元件上方;
步驟二、啟動第一電機(19),第一電機(19)帶動第一皮帶輪(22)轉動,第一皮帶輪(22)通過皮帶帶動第二皮帶輪(23)轉動,第二皮帶輪(23)帶動絲杠(20)轉動,并帶動連接螺母(24)進行升降,連接螺母(24)帶動升降板(14)進行升降,并帶動各個滑輪(25)在對應的通槽(141)內滑動,并帶動各個豎桿(17)在固定板(13)的一側滑動,并通過安裝桿(18)帶動吸嘴安裝座(15)和吸嘴(16)移動,調節各個吸嘴(16)的間距;
步驟三、啟動第三氣缸(10),第三氣缸(10)帶動抓料機構(9)下降,并使吸嘴(16)靠近半導體元件上表面,通過吸嘴(16)吸住半導體元件,第三氣缸(10)帶動半導體元件上升,并通過第一氣缸(6)、第二氣缸(7)帶動半導體元件移動到指定位置。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
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H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





