[發明專利]微型麥克風防塵裝置及MEMS麥克風

有效

• 申請號: 202010623056.8
• 申請日: 2020-06-30
• 公開（公告）號: CN111654796B
• 公開（公告）日: 2021-12-28
• 發明（設計）人: 游振江;林育菁
• 申請（專利權）人: 歌爾微電子有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04
• 代理公司: 北京鴻元知識產權代理有限公司 11327
• 代理人: 溫劍;王迎

本發明提供一種微型麥克風防塵裝置及MEMS麥克風，微型麥克風防塵裝置包括托架以及設置在托架上的防護膜；其中，在防護膜遠離托架一側設置有形變抑制層；形變抑制層與托架配合對防護膜的邊緣進行應力調整。利用上述發明能夠平衡防護膜受到的熱應力并減輕其高溫下的變形。

技術領域

本發明涉及電子產品技術領域，更為具體地，涉及一種微型麥克風防塵裝置及設置有該微型麥克風防塵裝置的MEMS麥克風。

背景技術

隨著社會的進步和技術的發展，近年來，手機、筆記本電腦等電子產品體積不斷減小，人們對這些便攜電子產品的性能要求也越來越高，從而也要求與之配套的電子零件的體積不斷減小、性能和一致性不斷提高。MEMS (Micro-Electro-Mechanical-System，簡稱MEMS)工藝集成的MEMS麥克風開始被批量應用到手機、筆記本電腦等電子產品中，其封裝體積比傳統的駐極體麥克風小，因此受到大部分麥克風生產商的青睞。

現有的MEMS麥克風通常設置有防塵結構，防塵結構主要包括支撐件和防護膜，可用于阻止外界粉塵、顆粒等污染物進入麥克風內部，進而確保麥克風產品的聲學性能。

但是，目前的防護膜與支撐件的結構會由于熱膨脹系數的失配，在高溫下引入熱應力的問題。對于防護膜這種薄膜結構而言，熱應力的產生會導致屈曲及不可逆的變形，從而影響產品性能及用戶體驗。

發明內容

鑒于上述問題，本發明的目的是提供一種微型麥克風防塵裝置及MEMS 麥克風，以解決在目前傳統的防塵結構中，防護膜容易受溫度影響產生屈曲或不可逆形變，而影響產品性能等問題。

本發明提供的微型麥克風防塵裝置，包括托架以及設置在托架上的防護膜；其中，在防護膜遠離托架一側設置有形變抑制層；形變抑制層與托架配合對防護膜的邊緣進行應力調整。

此外，優選的技術方案是，形變抑制層與托架的熱膨脹系數的差值在預設范圍內。

此外，優選的技術方案是，形變抑制層與托架的材質相同。

此外，優選的技術方案是，形變抑制層與托架的結構相同。

此外，優選的技術方案是，在垂直于防護膜的設置方向上，形變抑制層的縱截面積大于托架的縱截面積。

此外，優選的技術方案是，形變抑制層和/或托架為聚合物結構件。

此外，優選的技術方案是，防護膜為金屬膜或金屬與聚合物的結合膜。

此外，優選的技術方案是，形變抑制層與托架的厚度相同。

此外，優選的技術方案是，防護膜為網格結構。

根據本發明的另一方面，提供一種MEMS麥克風，包括上述微型麥克風防塵裝置；其中，微型麥克風防塵裝置設置在MEMS麥克風的出聲孔處；或者，微型麥克風防塵裝置設置在MEMS麥克風的芯片處。

利用上述微型麥克風防塵裝置及MEMS麥克風，通過托架和形變抑制層對防護膜進行應力調整，能夠通過層狀結構的設置，平衡熱應力對防護膜造成的影響，確保產品在高溫下的穩定性能。

為了實現上述以及相關目的，本發明的一個或多個方面包括后面將詳細說明的特征。下面的說明以及附圖詳細說明了本發明的某些示例性方面。然而，這些方面指示的僅僅是可使用本發明的原理的各種方式中的一些方式。此外，本發明旨在包括所有這些方面以及它們的等同物。

附圖說明

通過參考以下結合附圖的說明，并且隨著對本發明的更全面理解，本發明的其它目的及結果將更加明白及易于理解。在附圖中：

圖1為根據本發明實施例的微型麥克風防塵裝置的剖面結構示意圖。

其中的附圖標記包括：防護膜101、托架102、形變抑制層103。