[發(fā)明專利]微型麥克風防塵裝置及MEMS麥克風有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010623056.8 | 申請日： | 2020-06-30 |
| 公開（公告）號： | CN111654796B | 公開（公告）日： | 2021-12-28 |
| 發(fā)明（設計）人： | 游振江;林育菁 | 申請（專利權）人： | 歌爾微電子有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/04 | 分類號： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京鴻元知識產(chǎn)權代理有限公司 11327 | 代理人： | 溫劍;王迎 |
| 地址： | 266000 山東省*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微型 麥克風 防塵 裝置 mems | ||
1.一種微型麥克風防塵裝置，其特征在于，包括托架以及設置在所述托架上的防護膜；其中，
在所述防護膜遠離所述托架一側設置有形變抑制層；
在垂直于所述防護膜設置方向的方向上，所述形變抑制層的縱截面面積大于所述托架的縱截面面積，所述形變抑制層與所述托架關于所述防護膜呈非對稱分布；
所述形變抑制層與所述托架配合對所述防護膜的邊緣進行應力調整。
2.如權利要求1所述的微型麥克風防塵裝置，其特征在于，
所述形變抑制層與所述托架的熱膨脹系數(shù)的差值在預設范圍內。
3.如權利要求1所述的微型麥克風防塵裝置，其特征在于，
所述形變抑制層與所述托架的材質相同。
4.如權利要求1所述的微型麥克風防塵裝置，其特征在于，
所述形變抑制層與所述托架的結構相同。
5.如權利要求1所述的微型麥克風防塵裝置，其特征在于，
所述形變抑制層和/或所述托架為聚合物結構件。
6.如權利要求1所述的微型麥克風防塵裝置，其特征在于，
所述防護膜為金屬膜或者金屬與聚合物的結合膜。
7.如權利要求1所述的微型麥克風防塵裝置，其特征在于，
所述形變抑制層與所述托架的厚度相同。
8.如權利要求1所述的微型麥克風防塵裝置，其特征在于，
所述防護膜為網(wǎng)格結構。
9.一種MEMS麥克風，其特征在于，包括如權利要求1至8任一項所述的微型麥克風防塵裝置；其中，
所述微型麥克風防塵裝置設置在所述MEMS麥克風的出聲孔處；或者，所述微型麥克風防塵裝置設置在所述MEMS麥克風的芯片處。
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